應用描述
采用線陣16K相機、背光加拱形光方式,對芯片表麵進行拍攝,然後軟件找直線、幾何關係測量尺寸。視野大小:60 mm 。精度要求: 0.005 mm 。
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拱形光源
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OPT-FLP9090-B
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