圖爾克基於RFID係統的自動化晶圓倉庫管理
圖爾克的BL ident RFID係統幫助中國半導體生產企業協調基於機器人的中間庫拾取與放置
一yi家jia全quan球qiu領ling先xian的de中zhong國guo半ban導dao體ti廠chang商shang在zai晶jing圓yuan封feng裝zhuang測ce試shi過guo程cheng中zhong遇yu到dao了le難nan題ti。這zhe些xie敏min感gan元yuan器qi件jian必bi須xu在zai下xia一yi工gong序xu之zhi前qian儲chu存cun在zai物wu料liao貨huo架jia上shang。該gai工gong序xu之zhi前qian都dou依yi靠kao人ren工gong搬ban運yun在zai製zhi品pin,並bing通tong過guo紙zhi質zhi料liao單dan進jin行xing記ji錄lu。這zhe不bu僅jin耗hao時shi,而er且qie易yi出chu錯cuo,隻zhi能neng跟gen蹤zong很hen小xiao一yi部bu分fen物wu料liao流liu。該gai工gong廠chang急ji需xu可ke靠kao且qie高gao效xiao的de自zi動dong化hua解jie決jue方fang案an。
因此,客戶目前在倉儲管理上使用RFID技術來實現準確無誤且透明的生產。RFID載碼體儲存物料信息,貨架頂部的讀寫頭識別RFID載碼體來監測拾放物料期間晶圓的儲存位置。因此,必要時可立即找到所有儲存的晶圓。

機器人確保可靠拾取和放置貨架上的晶圓

RFID載碼體位於晶圓載具的頂部RFID載碼體位於晶圓載具的頂部

圖爾克BL20 RFID和I/O係統確保了與PLC的可靠通訊

物料貨架頂部的RFID高頻讀寫頭可在物料拾放期間讀取晶圓載具的載碼體
基於機器人的RFID解決方案
特製的高性能搬運機器人在將未處理晶圓自動化加工成集成電路的過程中發揮了重要作用。這些自動導引車(AGV)帶(dai)有(you)集(ji)成(cheng)的(de)機(ji)械(xie)手(shou)臂(bi),可(ke)以(yi)自(zi)動(dong)導(dao)航(hang)並(bing)保(bao)證(zheng)可(ke)靠(kao)處(chu)理(li)不(bu)同(tong)工(gong)藝(yi)車(che)間(jian)的(de)元(yuan)器(qi)件(jian)。在(zai)與(yu)一(yi)家(jia)中(zhong)國(guo)機(ji)器(qi)人(ren)公(gong)司(si)的(de)合(he)作(zuo)過(guo)程(cheng)中(zhong),圖(tu)爾(er)克(ke)開(kai)發(fa)了(le)一(yi)套(tao)完(wan)整(zheng)的(de)RFID解決方案,可使用AGV進行物料運輸。該解決方案可顯著減少晶圓的供應時間,並充分減少該工序的工作量。倉儲管理係統將RFID的信息與生產控製係統(MES)的信息關聯在一起,可實時監測所有晶圓。
BL ident RFID解決方案贏得認可
圖爾克的BL20網關非常適合整潔的生產環境。它可將現場RFID和I/O模塊采集的數據轉發至更高層級的控製器。RFID載碼體固定在晶圓載具的頂端。安裝在晶圓貨架頂部的RFID讀寫頭會自動識別載具,從而保證在AGV拾放物料期間的可靠識別。
LED顯示器可始終清晰提供有關讀寫頭和RFID模塊的工作狀態信息。由於讀寫頭讀取距離較大,機械手臂有足夠的空間拾取和放置載具。載碼體的環氧樹脂外殼防護等級達到IP68,即使表麵有劃痕、汙漬,也不會影響正常識讀。此外,載碼體可以重複利用,這對於閉環應用而言非常合適。張亦?同樣對其他優勢印象深刻:“預製電纜可以快速安裝,保證安全的數據傳輸。總的來說,圖爾克的RFID產品可以在運行期間快速更換,因此可以顯著減少停機時間,並使設備維護變得簡單快速。”

