智能潔淨室技術為IC製造保駕護航
——訪中電四公司市場管理中心總經理張琪
隨著市場環境的優化升級和國家政策的有利驅動，新能源汽車、智能駕駛、智能終端和5G等(deng)下(xia)遊(you)行(xing)業(ye)對(dui)集(ji)成(cheng)電(dian)路(lu)的(de)需(xu)求(qiu)激(ji)增(zeng)。而(er)作(zuo)為(wei)典(dian)型(xing)的(de)高(gao)精(jing)尖(jian)產(chan)業(ye)，集(ji)成(cheng)電(dian)路(lu)的(de)製(zhi)造(zao)對(dui)生(sheng)產(chan)環(huan)境(jing)和(he)工(gong)藝(yi)的(de)要(yao)求(qiu)極(ji)為(wei)苛(ke)刻(ke)。其(qi)中(zhong)，潔(jie)淨(jing)室(shi)的(de)建(jian)設(she)是(shi)集(ji)成(cheng)電(dian)路(lu)製(zhi)造(zao)中(zhong)的(de)關(guan)鍵(jian)環(huan)節(jie)，對(dui)最(zui)終(zhong)產(chan)品(pin)的(de)性(xing)能(neng)具(ju)有(you)至(zhi)關(guan)重(zhong)要(yao)的(de)影(ying)響(xiang)。
作為我國最早專業從事潔淨室機電設備安裝的工程公司之一，中國電子係統工程第四建設有限公司（以下簡稱“中電四公司”）可為集成電路製造企業提供設計、采購、項目管理、施工、設施管理、潔淨室配套產品製造等一體化“交鑰匙”工程服務。
2021年，在為北京集電控股有限公司（以下簡稱“北京集電”）建jian設she集ji成cheng電dian路lu車che間jian潔jie淨jing室shi項xiang目mu中zhong，中zhong電dian四si公gong司si為wei滿man足zu客ke戶hu對dui環huan境jing監jian測ce的de高gao精jing度du和he高gao穩wen定ding性xing要yao求qiu，選xuan擇ze與yu維wei薩sa拉la合he作zuo，將jiang工gong業ye用yong溫wen濕shi度du變bian送song器qiHMT330、本質安全型溫濕度變送器HMT370EX和溫濕度變送器HMT120等係列產品，成功應用於北京集電廠房潔淨室。自應用以來，相關儀表和變送器運行穩定，測量準確。
纖毫必顯 打造高標準的潔淨車間
穿chuan戴dai嚴yan密mi封feng閉bi的de特te製zhi防fang護hu服fu和he鞋xie套tao，經jing過guo嚴yan格ge的de車che間jian消xiao殺sha流liu程cheng，再zai通tong過guo數shu道dao相xiang互hu獨du立li隔ge離li的de車che間jian閘zha門men，操cao作zuo員yuan方fang能neng進jin入ru標biao準zhun嚴yan苛ke的de集ji成cheng電dian路lu廠chang房fang潔jie淨jing室shi。不bu同tong於yu一yi般ban工gong業ye品pin，集ji成cheng電dian路lu從cong單dan晶jing矽gui片pian製zhi造zao到daoIC製造再到IC封裝的重要步驟，均需在潔淨室中完成。無論是微小的粉塵和碎屑，還是無形的環境溫度和濕度等，都將對製造過程產生重大影響。
“集成電路的製造對生產環境的要求非常高，需要對溫度、濕度等參數進行極為精確、穩定的測量，從而確保生產環境的穩定可靠。”中電四公司市場管理中心總經理張琪表示，“2020年nian，早zao在zai北bei京jing集ji電dian潔jie淨jing室shi項xiang目mu的de投tou標biao階jie段duan，我wo們men知zhi道dao維wei薩sa拉la的de相xiang關guan產chan品pin可ke完wan全quan滿man足zu客ke戶hu對dui溫wen濕shi度du測ce量liang的de苛ke刻ke需xu求qiu。於yu是shi，我wo們men決jue定ding采cai用yong維wei薩sa拉la產chan品pin作zuo為wei測ce量liang儀yi表biao進jin行xing投tou標biao，由you此ci也ye開kai啟qi了le與yu維wei薩sa拉la一yi係xi列lie的de深shen度du合he作zuo。”
隨(sui)著(zhe)我(wo)國(guo)集(ji)成(cheng)電(dian)路(lu)製(zhi)造(zao)工(gong)藝(yi)的(de)升(sheng)級(ji)，其(qi)製(zhi)造(zao)過(guo)程(cheng)需(xu)要(yao)的(de)潔(jie)淨(jing)程(cheng)度(du)也(ye)水(shui)漲(zhang)船(chuan)高(gao)，這(zhe)對(dui)於(yu)潔(jie)淨(jing)室(shi)的(de)建(jian)設(she)提(ti)出(chu)了(le)越(yue)來(lai)越(yue)高(gao)的(de)要(yao)求(qiu)。據(ju)介(jie)紹(shao)，北(bei)京(jing)集(ji)電(dian)所(suo)製(zhi)造(zao)的(de)集(ji)成(cheng)電(dian)路(lu)工(gong)藝(yi)目(mu)前(qian)已(yi)突(tu)破(po)28納米，對應的潔淨室環境溫度誤差為±0.3°C，濕度誤差為±3%。一旦溫度和濕度突破限定誤差，將顯著影響產品的良品率、使用性能和可靠性。
針對上述應用環境，維薩拉的多款產品如HMT330、HMT120和HMT370EX在其中扮演重要角色。其中，HMT330可在惡劣環境中和苛刻需求下實現精準測量，還可針對不同的應用環境實現定製，從而滿足多樣的客戶需求。HMT120則是一款專為潔淨室等環境打造的溫濕度變送器，智能測量探頭可現場更換，輕鬆實現測量的可追溯性。
值得一提的是具有“本質安全”功能的溫濕度變送器HMT370EX。即ji使shi在zai誤wu操cao作zuo或huo發fa生sheng故gu障zhang的de情qing況kuang下xia，這zhe款kuan產chan品pin也ye不bu會hui造zao成cheng事shi故gu或huo設she備bei損sun壞huai。截jie至zhi目mu前qian，該gai產chan品pin已yi獲huo得de多duo項xiang本ben質zhi安an全quan認ren證zheng。除chu測ce量liang相xiang對dui濕shi度du和he溫wen度du外wai，HMT370EX還支持輸出其他濕度參數，如露點溫度、濕球溫度、絕對濕度、混合比、水濃度、水質量分數、水汽壓和焓值。
“維薩拉產品的測量精度不僅完全滿足了潔淨室的設計標準，更大幅壓縮了標準誤差的範圍：將其降低至標杆誤差的三分之一，達到了濕度±1%、溫度±0.1°C，充分保障了潔淨室的可靠運行。”張琪補充道，“出於項目整體精度和穩定性的考慮，維薩拉的測量儀表成為我們這個項目的理想選擇。”
MAU係統中的 HMT330
擊破阻隔 跨越重洋的迅疾響應
duiyugaojingjiandegongchengjiansheeryan，shixiaodezhongyaoxingbuyaneryu。xiangmusuoxudegexiangchanpinhecailiaowangwangyouzheyangedegonghuozhouqi，mouxiangguanjiancailiaodequeshi，jiangzhijieyingxiangxiangmudejindu。erquanqiuyiqingdeqifubuding，geichanpindegonghuoshixiaozengtianleyimobuquedingxing。
“國際物流需提前預定，疊加疫情影響，一些稀缺的材料和產品需要提前半年甚至更久預定。”張琪表示，“然而北京集電的項目周期非常緊張，高質量的測量產品對項目的完成意義重大，我們一度非常擔心維薩拉的產品能否及時到貨。”
事急從權。在產品供貨緊張的背景下，維薩拉及其代理商積極配合，在與中電四公司達成初步購買意向、尚未簽署正式購買合同時，提前鎖定了項目所需的產品，並充分協調內外部資源，將產品如期送抵客戶手中。
具有“本質安全”功能的溫濕度變送器HMT370EX
“北(bei)京(jing)集(ji)電(dian)的(de)項(xiang)目(mu)如(ru)期(qi)竣(jun)工(gong)，各(ge)項(xiang)指(zhi)標(biao)均(jun)達(da)到(dao)了(le)預(yu)期(qi)水(shui)平(ping)。截(jie)至(zhi)目(mu)前(qian)，相(xiang)關(guan)項(xiang)目(mu)設(she)備(bei)運(yun)行(xing)穩(wen)定(ding)，客(ke)戶(hu)未(wei)反(fan)饋(kui)任(ren)何(he)售(shou)後(hou)需(xu)求(qiu)。而(er)沒(mei)有(you)售(shou)後(hou)需(xu)求(qiu)，也(ye)是(shi)對(dui)我(wo)們(men)產(chan)品(pin)質(zhi)量(liang)的(de)高(gao)度(du)認(ren)可(ke)。”談及雙方的合作過程，張琪感觸良多，“為(wei)了(le)我(wo)們(men)的(de)項(xiang)目(mu)，維(wei)薩(sa)拉(la)的(de)對(dui)接(jie)同(tong)事(shi)克(ke)服(fu)了(le)很(hen)多(duo)困(kun)難(nan)，給(gei)予(yu)了(le)最(zui)大(da)的(de)支(zhi)持(chi)。這(zhe)增(zeng)進(jin)了(le)我(wo)們(men)雙(shuang)方(fang)的(de)信(xin)任(ren)，讓(rang)我(wo)們(men)很(hen)感(gan)動(dong)，也(ye)為(wei)後(hou)續(xu)的(de)合(he)作(zuo)奠(dian)定(ding)了(le)良(liang)好(hao)的(de)基(ji)礎(chu)。”
每年，像潔淨室建設之類的專業承包約占中電四公司總工程量的50%。特別是在超大麵積潔淨室、超淨潔淨室、超高空間潔淨室、超精度潔淨室的建設方麵，中電四公司有著豐富的工程經驗和相關工程技術。
與此同時，維薩拉也憑借著穩定可靠的產品性能、guoyingdechanpinhekuaisuxiangyingdefuwu，yingdelezhongdiansigongsideqinglaiyuxinren。xiangxinzaibuyuandeweilai，weisalajiangyuzhongdiansigongsikaizhangengweishenrudezhanlvehezuo，zhulishuangfangdepinpaichuxianzaigengduogaojingjianchanpindedazaoheyingyongchangjingzhizhong。
溫濕度變送器 HMT120