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概述
無(wu)塵(chen)室(shi)是(shi)半(ban)導(dao)體(ti)生(sheng)產(chan)的(de)關(guan)鍵(jian)設(she)施(shi)。不(bu)對(dui)生(sheng)產(chan)過(guo)程(cheng)進(jin)行(xing)嚴(yan)格(ge)的(de)控(kong)製(zhi)將(jiang)產(chan)生(sheng)有(you)缺(que)陷(xian)的(de)芯(xin)片(pian)並(bing)且(qie)浪(lang)費(fei)寶(bao)貴(gui)的(de)資(zi)源(yuan)。對(dui)無(wu)塵(chen)室(shi)環(huan)境(jing)的(de)監(jian)控(kong)包(bao)括(kuo)管(guan)理(li)空(kong)氣(qi)過(guo)濾(lv)係(xi)統(tong)、控製係統以及監測室內的溫度、濕度、壓力、氣qi體ti成cheng分fen和he其qi它ta參can數shu。為wei半ban導dao體ti製zhi造zao商shang工gong作zuo的de現xian場chang工gong程cheng師shi希xi望wang能neng夠gou連lian續xu簡jian單dan地di使shi用yong無wu塵chen室shi環huan境jing監jian控kong係xi統tong。這zhe樣yang的de係xi統tong應ying該gai能neng夠gou收shou集ji數shu據ju進jin行xing分fen析xi，確que保bao製zhi造zao過guo程cheng在zai可ke接jie受shou的de參can數shu下xia進jin行xing，從cong而er防fang止zhi問wen題ti的de發fa生sheng。係xi統tong應ying該gai確que保bao加jia工gong過guo程cheng符fu合he半ban導dao體ti工gong業ye標biao準zhun - 一個非常重要的因素。用DAM-3000 係列數據采集模塊構成一個全麵的無塵室監測係統的核心。它們提供了一個經濟的、易於實施的解決方案。
係統要求
半導體製造商需要靈活、易yi於yu使shi用yong的de係xi統tong。操cao作zuo員yuan需xu要yao獲huo取qu和he分fen析xi整zheng個ge工gong廠chang的de信xin息xi，這zhe些xie信xin息xi通tong過guo輪lun流liu查zha詢xun詢xun遍bian布bu工gong廠chang的de遠yuan程cheng傳chuan感gan器qi而er得de到dao。他ta們men想xiang將jiang一yi個ge新xin的de係xi統tong增zeng加jia到dao現xian有you的de加jia工gong過guo程cheng和he設she備bei中zhong，而er不bu幹gan擾rao或huo修xiu改gai已yi經jing建jian設she好hao的de控kong製zhi係xi統tong。自zi然ran地di，製zhi造zao商shang想xiang要yao一yi個ge低di成cheng本ben的de解jie決jue方fang案an，並bing且qie在zai理li想xiang狀zhuang況kuang下xia應ying該gai是shi一yi個ge總zong監jian管guan係xi統tong。
阿爾泰解決方案
我們開發了一個基於 RS-485多點網絡的解決方案。為保護無塵室，係統必須有效可靠地監視過濾器風扇。DAM-3027 數字量輸入輸出模塊可以很好地執行這項重要任務。DAM-3058 具有 8 路模擬量輸入處理能力，能夠精確地監視空氣溫度、壓力和濕度，防止塵埃的增加。
fenglinshishiweigongzuorenyuanjinchujiejingqusuoshezhidezhuanyongtongdao，keyiyouxiaodejiangdiwaiburenyuanjinrujiejingqusuodailaidewuranwenti，bingtongshiqidaoqizhashimibijiejingshidezuoyong。fenglinshitongyongxingqiang，keyusuoyoudejiejingshiyujiejingchangfangpeitaoshiyong。shiyongDAM-3062模塊來控製風淋室和貨料進入的門禁係統，防止外來人員的入內，增加無塵室的塵埃，影響生產。DAM-3018來控製鼓風機的運轉，一般的風淋室的風速要達到20m/s左右，普通的風扇達不到這種要求，所以需要風機來操作。
結論
集ji成cheng係xi統tong能neng夠gou提ti供gong連lian續xu不bu斷duan的de監jian視shi。能neng夠gou對dui數shu據ju進jin行xing獨du立li的de監jian控kong。還hai可ke以yi大da大da減jian少shao設she備bei管guan理li人ren員yuan，降jiang低di運yun作zuo成cheng本ben，方fang便bian客ke戶hu的de使shi用yong，減jian少shao不bu必bi要yao的de損sun失shi。
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