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係統背景
電dian阻zu率lv是shi決jue定ding半ban導dao體ti材cai料liao電dian學xue特te性xing的de重zhong要yao參can數shu，為wei了le表biao征zheng工gong藝yi質zhi量liang以yi及ji材cai料liao的de摻chan雜za情qing況kuang，需xu要yao測ce試shi材cai料liao的de電dian阻zu率lv。半ban導dao體ti材cai料liao電dian阻zu率lv測ce試shi方fang法fa有you很hen多duo種zhong，其qi中zhong四si探tan針zhen法fa具ju有you設she備bei簡jian單dan、操作方便、測量精度高以及對樣品形狀無嚴格要求的特點。因此，目前檢測半導體材料電阻率，尤其對於薄膜樣品來說，四探針是較常用的方法。
sitanzhenjishuyaoqiushiyongsigentanzhendengjianjudejiechudaocailiaobiaomian。zaiwaibianlianggentanzhenzhijianshuchudianliudetongshi，ceshizhongjianlianggentanzhendedianyacha。zuihou，dianzulvtongguoyangpindejihecanshu，shuchudianliuyuanhecedaodedianyazhilaijisuandechu。
四探針法測量半導體電阻率測試方案，使用美國吉時利公司開發的高精度源測量單元（SMU），既ji可ke以yi在zai輸shu出chu電dian流liu時shi測ce試shi電dian壓ya，也ye可ke以yi在zai輸shu出chu電dian壓ya時shi測ce試shi電dian流liu。輸shu出chu電dian流liu範fan圍wei從cong皮pi安an級ji到dao安an培pei級ji可ke控kong，測ce量liang電dian壓ya分fen辨bian率lv高gao達da微wei伏fu級ji。支zhi持chi四si線xian開kai爾er文wen模mo式shi，因yin此ci適shi用yong於yu四si探tan針zhen測ce試shi，可ke以yi簡jian化hua測ce試shi連lian接jie，得de到dao準zhun確que的de測ce試shi結jie果guo
不同材料的電阻率特性
方案特點
●● 係xi統tong提ti供gong上shang位wei機ji軟ruan件jian，內nei置zhi電dian阻zu率lv計ji算suan公gong式shi，符fu合he國guo標biao矽gui單dan晶jing電dian阻zu率lv測ce試shi標biao準zhun，測ce試shi結jie束shu後hou直zhi接jie從cong電dian腦nao端duan讀du取qu計ji算suan結jie果guo，方fang便bian後hou續xu數shu據ju的de處chu理li分fen析xi。
●● 提供正向 / 反向電流換向測試，可以通過電流換向消除熱電勢誤差影響，提高測量精度值
●● 四探針頭采用碳化鎢材質，間距 1 毫hao米mi，探tan針zhen位wei置zhi精jing確que穩wen定ding。采cai用yong懸xuan臂bi式shi結jie構gou，探tan針zhen具ju有you壓ya力li行xing程cheng。針zhen對dui不bu同tong材cai料liao的de待dai測ce件jian，提ti供gong多duo種zhong不bu同tong間jian距ju，不bu同tong針zhen尖jian直zhi徑jing的de針zhen頭tou選xuan項xiang
●● 探針台具備粗 / 細兩級高度調整，細微調整時，高度分辨率高達 2 微米，精密控製探針頭與被測物之間的距離，防止頭對被測物的損害
●● 載物盤表麵采用絕緣特氟龍圖層，降低漏電流造成的測試誤差
軟件功能
●● 輸出電流並測試電壓，電阻，電阻率，電導率，薄層電阻等，記錄數據，並根據測試結果繪製曲線
●● 軟件在 Windows 7/8/10 平台下使用，測試方法符合 GB/T 1551/1552 等國家測試標準
●● 提供多種修正參數幫助提高電阻率測試精度
●● 配合吉時利 2450/2460/2461 高精度源表使用，確保測試精度和一致性
係統結構：
●● 係統主要由吉時利源表（SMU）、四探針台和上位機軟件組成。四探針可以通過前麵板香蕉頭或後麵板排線接口連接到源表上。
係統指標
●● 電阻率測試範圍：0.001Ω • cm ~ 1MΩ • cm
●● 探針頭壓力合力：S 型懸臂式彈簧，合力 6~10 N
●● 絕緣電阻：500V 下 > 1GΩ
●● 係統誤差：< 2% (<1Ω • cm 時，誤差小於 0.5%)
●● 探針頭間距：1mm, 1.27mm, 1.59mm 可選，使用紅寶石套軸，探針遊移率 < 0.2%
●● 針尖壓痕直徑：25 um~450um 不同規格可選
●● 通信接口：LAN/USB/GPIB
●● 探針台尺寸：240mm x 160mm x 280mm
係統配置
●● 2450/2460
●● 四探針探針台
●● 四探針針頭
●● 源表端四線香蕉頭連接線
●● 四探針測試軟件
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