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Fluke 435 II 係列電能質量和能量分析儀對半導體工廠的電壓暫降監測與分析應用
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當dang代dai的de電dian力li供gong應ying已yi經jing變bian得de很hen可ke靠kao,長chang時shi間jian的de電dian力li中zhong斷duan非fei常chang少shao見jian,但dan隨sui著zhe設she備bei變bian得de更geng加jia敏min感gan,電dian壓ya暫zan降jiang問wen題ti越yue來lai越yue受shou關guan注zhu。現xian在zai工gong業ye界jie麵mian臨lin的de最zui大da電dian能neng質zhi量liang問wen題ti是shi電dian壓ya暫zan降jiang事shi件jian,據ju美mei國guo電dian科ke院yuan統tong計ji,電dian壓ya暫zan降jiang占zhan據ju了le超chao過guo92%的電能質量事件,工廠無法事先得到即將到來的電壓暫降的警告。雷擊、短路故障和大電機啟動都是引起電壓暫降的主要原因,其他如大風、下雪、車禍、建築施工、挖掘機挖斷電纜、動物觸線、線路切換、配(pei)電(dian)裝(zhuang)置(zhi)故(gu)障(zhang)等(deng)也(ye)會(hui)導(dao)致(zhi)產(chan)生(sheng)電(dian)壓(ya)暫(zan)降(jiang)。因(yin)此(ci)無(wu)論(lun)電(dian)力(li)公(gong)司(si)花(hua)多(duo)少(shao)代(dai)價(jia)來(lai)改(gai)善(shan)電(dian)網(wang),但(dan)是(shi)還(hai)是(shi)無(wu)法(fa)避(bi)免(mian)電(dian)壓(ya)暫(zan)降(jiang)或(huo)暫(zan)升(sheng)等(deng)電(dian)力(li)品(pin)質(zhi)問(wen)題(ti)的(de)發(fa)生(sheng),給(gei)電(dian)力(li)用(yong)戶(hu)帶(dai)來(lai)不(bu)良(liang)影(ying)響(xiang)。

現代化的半導體生產設備對電力品質問題非常敏感,相對於傳統工業來說,半導體,LCD製造具有超微細加工及高潔淨度生產環境要求的特點,除需要有極其純淨而且穩定的供水、供氣等等之外,對供電質量的要求也非常之高,僅僅是瞬間的電壓暫降都可以使產線停機並導致巨大的經濟損失。

停機的概念在傳統產業中隻是生產暫時的中斷,而對半導體,LCD生產來說就是一次災難。因為半導體,LCD生產設備的停機會造成大量直接損失和間接損失。

這些損失包括:

●直接損失:半導體產品矽片損壞和浪費、設備壽命縮短甚至損壞、清理產線的人工成本等。

●間接的損失:重新啟動生產線需要的時間、降低產品品質、延誤交貨時間等。

每一次停機所造成的經濟損失在半導體行業不是以千元萬元計算而是以幾十萬、幾ji百bai萬wan甚shen至zhi上shang千qian萬wan計ji算suan。所suo以yi電dian壓ya暫zan降jiang已yi上shang升sheng為wei影ying響xiang半ban導dao體ti製zhi造zao廠chang最zui為wei重zhong要yao的de電dian能neng質zhi量liang問wen題ti,加jia強qiang對dui電dian壓ya暫zan降jiang等deng電dian壓ya事shi件jian的de監jian測ce與yu分fen析xi就jiu具ju有you十shi分fen重zhong要yao的de現xian實shi意yi義yi。

實際上在半導體行業,有專門針對工藝設備電壓暫降容限的標準SEMI F47。SEMI F47標準是由半導體工業協會(SEMI)zhidingde,taduibandaotishebeinengchengshoudedianyazanjiangdengjidetongyongmianyinenglizuochuledingyi。gaibiaozhunyaoqiucileishebeizaizaoyudianyazanjiangshizaihongsequxianshangfangnenggouzhengchanggongzuo。bandaotishebeiyaoqiuanzhaocibiaozhunlaijinxingsheji。

QQ截圖1

由於電壓暫降的定義是指在工頻下,電壓的有效值短時間內下降,然後再很短的時間內恢複正常。典型的電壓暫降值為額定電壓的90%~1%,持續時間為0.5個周期到幾秒。電壓暫降的兩個基本指標是壓降幅值和持續時間,電壓暫降事件的測算方法(半周期刷新RMS)和偶然性使得普通儀器無法準確測量記錄,因此一款高精度、高采樣率、能夠長期監測的記錄分析儀器顯得尤為重要。

福祿克公司最新推出的F435Ⅱ高級電能質量分析儀提供了最新的測量技術來幫助監測電壓暫降事件以查明故障原因,它具有以下特點:

●電壓暫降的測算符合IEC 61000-4-30標準的要求

●電壓測量準確度達到0.1%(IEC 61000-4-30 A級標準)

●采樣率高達25kHz(500個采樣點/周期)

●電壓暫降記錄內容包括:事件發生的時間、持續的時間、電壓幅值

●記錄形式:事件有效值趨勢圖和波形圖

●內存高達8G,支持長期記錄

●電池運行時間超過8h

●具有行業內最高的安全等級600V CAT IV/1000V CAT III

以下就是使用F435Ⅱ在上海某半導體工廠針對產線發生的電壓暫降事件的測試記錄:

客戶使用F435Ⅱ對於單相生產設備進行了長達1周的電壓暫降事件捕捉(使用“暫降與暫升”功能),期間有發生設備無故停機,隨即趕到測試點查看F435Ⅱ記錄的數據,發現了記錄了1次事件(EVENTS)。

QQ截圖2

以上圖“EVENTS”一欄中出現了數字1,說明發生了1次事件。

QQ截圖3

按下對應的F4按鈕,出現了右圖所顯示的事件列表,從中可以看出在09:29:56:214發生了一次DIP事件(電壓暫降事件),並列明了最低電壓幅值(164.6V)和持續時間(270ms)

首先查看波形,按下對應的F1按鈕(WAVE EVENTS),可以看到事件發生時的電壓波形。

QQ截圖4

anxiashangxiajiankeyisuofangboxing,anxiazuoyoujiankeyiyidongheiseguangbiaoxian,yibiankeyiguanchaboxingshuju,yibiankeyiyidongjiludeboxing,jinerzhakandianyazanjiangshijianjieshushideboxing。

QQ截圖5

通過按向右鍵,可以查看到電壓暫降事件結束時的波形。

QQ截圖6

然後返回事件列表,按下F2按鈕(RMS EVENTS)查看電壓暫降事件有效值趨勢圖。

另外可以通過Powerlog3.X的分析軟件把事件數據下載到電腦,並使用Powerlog3.X軟件來具體觀察事件波形和RMS趨勢圖,對於分析事件原因和製做報告非常有幫助。

QQ截圖7

QQ截圖8

通過數據分析發現,此次電壓暫降事件持續時間為270ms,電壓幅值降到額定電壓的71.6%,導致了生產設備的停機,對照SEMI F47曲線(持續時間和電壓百分比),證明此設備不符合SEMI F47標準。

綜上所述,F435Ⅱ高級電能質量分析儀非常適合監測半導體工廠的電壓暫降/暫升事件。


 

狀 態: 離線

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公司名稱: 福祿克測試儀器(上海)有限公司
聯 係 人: 福祿克
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