如果把芯片比作一幅平麵雕刻作品
，那麼光刻機是打草稿的畫筆

；刻蝕機則是雕刻刀；沉(chen)積(ji)的(de)薄(bo)膜(mo)則(ze)是(shi)用(yong)來(lai)雕(diao)刻(ke)的(de)材(cai)料(liao)。光(guang)刻(ke)的(de)精(jing)度(du)直(zhi)接(jie)決(jue)定(ding)了(le)元(yuan)器(qi)件(jian)刻(ke)畫(hua)的(de)尺(chi)寸(cun)，而(er)刻(ke)蝕(shi)和(he)薄(bo)膜(mo)沉(chen)積(ji)的(de)精(jing)度(du)則(ze)決(jue)定(ding)了(le)光(guang)刻(ke)的(de)尺(chi)寸(cun)能(neng)否(fou)實(shi)際(ji)加(jia)工(gong)
，因(yin)此(ci)光(guang)刻(ke)
、刻蝕和薄膜沉積設備是芯片加工過程中最重要的三類主設備，占前道設備的近 70%。

近jin些xie年nian來lai我wo國guo已yi經jing開kai始shi在zai各ge類lei設she備bei中zhong開kai展zhan追zhui趕gan式shi研yan發fa

，在zai技ji術shu難nan度du最zui高gao的de這zhe些xie主zhu設she備bei中zhong，刻ke蝕shi機ji走zou在zai國guo產chan替ti代dai的de最zui前qian列lie。今jin天tian
，小xiao明ming就jiu來lai分fen享xiang一yi下xia
，半ban導dao體ti刻ke蝕shi設she備bei上shang的de傳chuan感gan器qi應ying用yong方fang案an。

載體ID管理

智能讀碼器  RCD-AI100-S

通過將 FOUP liaoheshangzhantiedetongyongtiaomabiaoqianzaijiazaiduanshangzidongduqu，keyijiandandishixiandianduidianjingqueguanli，bingqiekeyijiangdichengben，suanfaqiangda，ketongshiduquduogetiaoma。

檢測上端晶片有無

光纖傳感器   PG1+PT-32-DQ

jiancezuishangfangjingpianshifoucunzai
，yipanduanshifoumanliao，zaixiaxiaodegongweijiegouzhong，xuyaoxuanzexianxideguangxianyibianyuanzhuang
，duisheshiyuanlishidejiancedewendingxinggengjia
，dapeiPG1放大器，可進行13us的超高速檢測。

控製化學品液位高度

液位傳感器  CE30-26NO

dangcaoguanneicunzaiqipaoshi，shiyongguangxuechuanganqikenenghuizaochengwupan，yincikecaiyongzhuanyongyuguandaoyeweijiancededianrongshijiejinchuanganqi

，jishiguandaoneichanshengqipaoyikewendingjiance


，qiebushouyetideyansehemiduyingxiang

，feijiechushijianceyerangchuanganqibubikaolvhuaxuepinyuchuanganqifashengfanying。

目標定位和距離測量

激光位移傳感器  MLD23-100N

此工位上需要實時精確測量每一片晶片高度，明治的這款激光位移傳感器有著65-135mm的大量程檢測距離，滿足實時監測晶片的任意位置，精度達到0.01mm，軟件功能輕鬆示教，提高了調試的便捷性。