近年來
，集成電路的應用呈現多元化發展，智能手機
、物聯網

、汽車電子、高性能計算、5G
、人工智能等新興領域對芯片的需求量呈指數級增長，對芯片的質量和可靠性也提出了更高要求。

​

同tong時shi
，受shou產chan品pin微wei型xing化hua的de發fa展zhan趨qu勢shi要yao求qiu
，晶jing圓yuan的de尺chi寸cun不bu斷duan縮suo小xiao，缺que陷xian就jiu變bian得de更geng為wei微wei小xiao，給gei晶jing圓yuan的de生sheng產chan過guo程cheng產chan生sheng了le更geng大da的de挑tiao戰zhan。為wei了le減jian少shao在zai後hou道dao封feng裝zhuang過guo程cheng中zhong的de不bu良liang品pin出chu現xian
，在zai生sheng產chan過guo程cheng中zhong對dui芯xin片pian進jin行xing缺que陷xian檢jian查zha
、尺寸測量等，成為提供優質芯片、提高產品良率的關鍵技術。

明治傳感器為各個細分場景打造了優質的產品和解決方案，實現與產線
、質檢線的智能對接，使得晶圓製造廠實現智能質檢，助力檢測效率和準確率實現躍升
，涵蓋產品多至12種缺陷檢測
，快速推進生產商實現智能化轉型！

▲缺陷定位算法體係

▲缺陷像素級分割算法體係

▲缺陷多分類算法體係

應用場景

方案優勢

✔ 高精度測量

配合高精度線掃相機
，多次掃描大幅麵晶圓，測量相應尺寸。

✔高精度算法分割能力

在細微缺陷的精細化分割上，可做到極致4像素缺陷檢出。

✔高穩定性視覺輪廓提取

對於工業場景中被檢對象整體和背景完全類似的缺陷檢測難題
，可做到高穩定性的視覺輪廓提取，檢測髒汙、灰塵簇等難檢缺陷。

成功案例

✅ 某半導體巨頭公司藍寶石LED晶圓檢測項目
，兼容不同晶圓規格的檢測
，係統無縫切換。

✅  華東某龍頭動態隨機存取存儲器(DRAM)設計製造一體化 ，企業矽片缺陷檢測項目,算法檢測準確率99.5%
，大大縮短項目周期。

✅  華東某半導體科技有限公司-矽片缺陷檢測項目
，效率提高50%,實現100%全檢。

✅  某全國電子信息百強企業半導體芯片計數項目，實現了對芯片的檢測和計數
，達到98.5%準確率。