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堡盟XF工業相機,晶圓質量的守門員
--堡盟XF工業相機在晶圓製造中的應用
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      一(yi)顆(ke)小(xiao)小(xiao)的(de)芯(xin)片(pian)就(jiu)能(neng)彙(hui)聚(ju)地(di)球(qiu)人(ren)類(lei)最(zui)尖(jian)端(duan)的(de)智(zhi)慧(hui),芯(xin)片(pian)已(yi)經(jing)成(cheng)為(wei)科(ke)技(ji)行(xing)業(ye)炙(zhi)手(shou)可(ke)熱(re)的(de)產(chan)品(pin),芯(xin)片(pian)的(de)製(zhi)造(zao)需(xu)要(yao)通(tong)過(guo)大(da)晶(jing)圓(yuan)的(de)切(qie)割(ge)再(zai)製(zhi)成(cheng)一(yi)各(ge)個(ge)小(xiao)片(pian),再(zai)進(jin)行(xing)封(feng)裝(zhuang)。

  晶圓的製作過程中有一步非常關鍵的步驟——CMP機械化學拋光,它能夠有效提高晶圓的表麵光潔度從而提升導電率,而堡盟XF100M03W10EP工業相機就工作在這步關鍵CMP工藝中。

  

  監測芯片拋光,守護晶圓質量

  芯片產品的製作離不開晶圓材料的支持,晶圓則需要CMP機械化學拋光來提高其表麵的電導率,通過CMP可以得到像鏡子一樣光閃閃的晶圓表麵。

  但(dan)是(shi)由(you)於(yu)晶(jing)圓(yuan)在(zai)拋(pao)光(guang)時(shi)表(biao)麵(mian)最(zui)初(chu)沒(mei)有(you)那(na)麼(me)平(ping)整(zheng),因(yin)此(ci)摩(mo)擦(ca)過(guo)程(cheng)中(zhong)會(hui)產(chan)生(sheng)殘(can)存(cun)矽(gui)片(pian)滯(zhi)留(liu)在(zai)拋(pao)光(guang)布(bu)上(shang),如(ru)果(guo)沒(mei)有(you)能(neng)及(ji)時(shi)檢(jian)測(ce)並(bing)清(qing)理(li)這(zhe)些(xie)碎(sui)片(pian),會(hui)對(dui)晶(jing)圓(yuan)產(chan)品(pin)的(de)質(zhi)量(liang)造(zao)成(cheng)損(sun)害(hai),影(ying)響(xiang)到(dao)最(zui)終(zhong)產(chan)品(pin)良(liang)率(lv)。

  

  堡盟XF100M03W10EP在這個晶圓拋光的監測項目中充當了守門員的角色,展現出了強大的設備優勢:

  •   采用集成式相機不僅安裝簡便,而且成像清晰檢測穩定,最小可檢測1.5*1.5mm碎片;
  •   擁有缺陷存儲報警功能,可以追溯碎片發生瞬時情況,有利於追溯碎片原因;
  •   XF相機可以采用頂部懸掛的方式,貼邊安裝,進一步節約解決方案的節空間;
  •   由於采用一體式智能相機硬件檢測,接線方便,後續維護方便。

  

  實際工作過程也相當順暢,當拋光布工作高速旋轉時,其設計速度達到了80r/min,堡盟XF相(xiang)機(ji)在(zai)監(jian)測(ce)中(zhong)的(de)第(di)一(yi)次(ci)拍(pai)攝(she)上(shang)隻(zhi)選(xuan)擇(ze)了(le)一(yi)小(xiao)部(bu)分(fen)區(qu)域(yu),多(duo)次(ci)拍(pai)攝(she)可(ke)以(yi)完(wan)成(cheng)整(zheng)張(zhang)布(bu)的(de)監(jian)測(ce),拋(pao)光(guang)布(bu)有(you)白(bai)色(se)與(yu)黑(hei)色(se)兩(liang)種(zhong)顏(yan)色(se),在(zai)實(shi)際(ji)拍(pai)照(zhao)檢(jian)測(ce)中(zhong)不(bu)會(hui)受(shou)到(dao)顏(yan)色(se)的(de)影(ying)響(xiang),並(bing)且(qie)結(jie)果(guo)輸(shu)出(chu)很(hen)快(kuai),拋(pao)光(guang)布(bu)表(biao)麵(mian)的(de)水(shui)膜(mo)也(ye)不(bu)會(hui)影(ying)響(xiang)檢(jian)測(ce)過(guo)程(cheng)與(yu)結(jie)果(guo)。

  

  繼承家族優良設計,技術賣點全麵  

  堡盟XF100M03W10EP,是堡盟VeriSens工業相機家族中的產品,繼承了一貫的優良設計,擁有出色的性能,小巧的外觀和較好的耐用性,XF字頭代表“擴展功能”寓意,該係列產品功能強大,一旦部署就相當於立刻擁有了圖像處理所需要的一切。

  

  XF 係列擁有很高的靈活性,專門應對不同顏色的圖像分析,包括黑白或彩色圖像,其包含所有 VeriSens® 的特征監測功能有22 項之多,並且始終提供適用的圖像工具。隻需一個傳感器就足以同時完成多項檢查,比如物體特征與位置檢查以及文本(OCR /OCV)和一維/二維碼讀取等等。

  它集成了光學元件:8 | 10 | 12 | 16mm,還集成了 LED 光源(白光或紅外線)。其自身集成的日光濾光片的紅外光源具有多項應用優勢,能夠盡可能地抑製環境光的影響,從而突顯物體的特征。

  外殼采用鋁IP67或不鏽鋼 IP69K的高防護等級的材質。

  XF 係列的所有產品均集成 FEXLoc® 360° 目標定位功能,確保可靠的目標識別。

  此外,VeriSens® 光源頻閃不會幹擾附近的工作人員。

  芯片行業火爆,行業前景不容置疑

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狀 態: 離線

公司簡介
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供應信息

公司名稱: 堡盟電子(上海)有限公司
聯 係 人: 龔晶華
電  話: 021-37011509
傳  真:
地  址: 上海鬆江工業區民強路1525號(申田高科園)11幢
郵  編: 201612
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