化學機械研磨 (CMP) 用於研磨半導體晶圓的表麵並去除多餘的材料。CMP 工藝中使用的研磨液既具有機械特性（研磨），又具有化學特性。如果研磨液成分不一致，晶圓質量就會受到影響。維薩拉的原位在線折光儀特別適合用於研磨液監測、控製批次間變化、稀釋和混合，以保障晶圓質量和產量。
研磨液一致性至關重要
研磨液密度和成分是 CMP gongyizhiliangdeguanjiancanshu，danyoubuxiangshizhongshiyongxiangtongdeyanmoyehunhewunamejiandan。zhizaoshangyinongsuoxingshijiaofuyanmoye，bingqiebutongpicideyanmoyekenenghuiyousuobutong。bandaotizhizaochangyongqulizishuixishinongsuoyanmoye，bingtianjiayanghuaji，tongchangshiguoyanghuaqing (H2O2)。這需要在 CMP 工藝之前完成，因為 H2O2 隨著時間的推移會降解為水和氧氣。
這zhe種zhong降jiang解jie有you一yi個ge有you限xian的de時shi間jian窗chuang口kou，在zai此ci期qi間jian可ke以yi保bao持chi一yi致zhi的de表biao麵mian研yan磨mo質zhi量liang並bing最zui大da限xian度du地di減jian少shao晶jing圓yuan缺que陷xian和he廢fei品pin。為wei了le確que保bao晶jing圓yuan質zhi量liang，晶jing圓yuan廠chang需xu要yao能neng夠gou全quan天tian連lian續xu監jian測ce研yan磨mo液ye成cheng分fen。原yuan位wei在zai線xian折zhe光guang儀yi提ti供gong了le一yi種zhong簡jian單dan且qie經jing濟ji高gao效xiao的de方fang法fa來lai執zhi行xing此ci監jian測ce。折zhe光guang儀yi可ke以yi安an裝zhuang在zai以yi下xia位wei置zhi：
在供給管線上監測進入的研磨液和 H2O2，並確定研磨液稀釋目標濃度水平。
在研磨液混合罐中實時控製 H2O2 的混合，以確保正確的濃度和混合時間。
在 CMP 工具中，確保研磨液成分在與晶圓接觸之前處於設定的限度內。
通過在線折射率 (RI) 測量獲得實時結果
在線折光儀的作用就是測量研磨液的 RI。每種混合物都有獨特的成分，因此也有獨特的 RI，可(ke)以(yi)使(shi)用(yong)折(zhe)光(guang)儀(yi)進(jin)行(xing)驗(yan)證(zheng)和(he)表(biao)征(zheng)。使(shi)用(yong)在(zai)線(xian)折(zhe)光(guang)儀(yi)進(jin)行(xing)實(shi)時(shi)測(ce)量(liang)，比(bi)任(ren)何(he)離(li)散(san)采(cai)樣(yang)方(fang)法(fa)都(dou)能(neng)更(geng)準(zhun)確(que)地(di)反(fan)映(ying)研(yan)磨(mo)液(ye)成(cheng)分(fen)的(de)變(bian)化(hua)。此(ci)外(wai)，測(ce)量(liang)幾(ji)乎(hu)無(wu)漂(piao)移(yi)，不(bu)依(yi)賴(lai)於(yu)流(liu)速(su)，並(bing)且(qie)準(zhun)確(que)度(du)不(bu)受(shou)研(yan)磨(mo)液(ye)中(zhong)氣(qi)泡(pao)的(de)影(ying)響(xiang)。
一旦根據特定研磨液的折射率和溫度特性進行校準，RI celiangzaiyongyuceliangzhurutonghewuyanmoyeshikeyishixianchusedekezhongfuxing。zaixianceliangyouyujiyushiyanshidefangfa，yinweitamenxiaochulecaiyangheyangbenchulizhongyinruderenhebuquedingxing，liru H2O2 變質或溫度變化。
維薩拉 PR-33-S 半導體行業折光儀
維薩拉 PR-33-S 半(ban)導(dao)體(ti)行(xing)業(ye)折(zhe)光(guang)儀(yi)專(zhuan)為(wei)半(ban)導(dao)體(ti)製(zhi)造(zao)環(huan)境(jing)中(zhong)的(de)在(zai)線(xian)實(shi)時(shi)測(ce)量(liang)而(er)設(she)計(ji)。它(ta)體(ti)積(ji)小(xiao)，采(cai)用(yong)不(bu)含(han)金(jin)屬(shu)的(de)特(te)氟(fu)龍(long)和(he)藍(lan)寶(bao)石(shi)接(jie)液(ye)部(bu)件(jian)和(he)表(biao)麵(mian)，非(fei)常(chang)適(shi)合(he)測(ce)量(liang)研(yan)磨(mo)液(ye)和(he)刺(ci)激(ji)性(xing)化(hua)學(xue)物(wu)質(zhi)。堅(jian)固(gu)的(de)設(she)計(ji)保(bao)證(zheng)了(le)長(chang)期(qi)穩(wen)定(ding)性(xing)和(he)長(chang)使(shi)用(yong)壽(shou)命(ming)，內(nei)置(zhi)的(de)診(zhen)斷(duan)功(gong)能(neng)可(ke)即(ji)時(shi)概(gai)覽(lan)測(ce)量(liang)性(xing)能(neng)。
PR-33-S 提供直接研磨液密度測量，集成的溫度傳感器確保高度精確的 RI 測ce量liang，可ke承cheng受shou工gong藝yi振zhen動dong而er不bu會hui產chan生sheng測ce量liang誤wu差cha。由you於yu獨du特te的de光guang學xue測ce量liang原yuan理li和he堅jian固gu的de設she計ji，該gai設she備bei不bu會hui出chu現xian測ce量liang漂piao移yi，並bing且qie幾ji乎hu無wu需xu維wei護hu。設she備bei不bu需xu要yao耗hao材cai，也ye不bu產chan生sheng化hua學xue廢fei物wu，為wei實shi驗yan室shi采cai樣yang和he滴di定ding提ti供gong了le一yi種zhong經jing濟ji高gao效xiao、可(ke)靠(kao)且(qie)可(ke)持(chi)續(xu)的(de)替(ti)代(dai)方(fang)案(an)。研(yan)究(jiu)證(zheng)明(ming)，維(wei)薩(sa)拉(la)折(zhe)光(guang)儀(yi)的(de)測(ce)量(liang)結(jie)果(guo)與(yu)參(can)考(kao)滴(di)定(ding)的(de)結(jie)果(guo)有(you)極(ji)好(hao)的(de)一(yi)致(zhi)性(xing)，並(bing)且(qie)能(neng)實(shi)時(shi)提(ti)供(gong)結(jie)果(guo)，可(ke)以(yi)直(zhi)接(jie)在(zai)工(gong)藝(yi)中(zhong)使(shi)用(yong)並(bing)且(qie)可(ke)重(zhong)複(fu)。
快速、準確和可靠
在線 RI 測量已成為快速、準確、實時研磨液監測的行業標準。折光儀是一種安全、jingjigaoxiaoqieweihuchengbendidejianceyanmoyemiduhechengfendefangfa。tamenyeshizhidexinlaidejingyuanchangjianceyanmoyehunhehefenpeixitongguzhangdelixiangzhixuan。tongguoyanzhengyanmoyeshifoushizhongfuheyaoqiu，zheguangyikebangzhujingyuanchangquebaojingyuanzhilianghechanliang，tongshijianshaolangfei。