Juhani Lehto
產品經理
Vaisala
在半導體製造中，沒有什麼比準確度更重要。從芯片製造到集成電路的最終組裝，流程中的每一步都需要精確測量，以獲得高質量、可重複的結果。需要測量的關鍵參數之一是濕度，因為準確維持正確濕度水平對於實現良好的設備性能和最終產品質量至關重要。
保持良好的環境
當(dang)進(jin)行(xing)納(na)米(mi)級(ji)製(zhi)造(zao)時(shi)，即(ji)使(shi)是(shi)微(wei)小(xiao)的(de)偏(pian)差(cha)也(ye)可(ke)能(neng)導(dao)致(zhi)災(zai)難(nan)性(xing)的(de)後(hou)果(guo)。環(huan)境(jing)條(tiao)件(jian)需(xu)要(yao)進(jin)行(xing)精(jing)確(que)的(de)監(jian)測(ce)和(he)維(wei)護(hu)，因(yin)為(wei)芯(xin)片(pian)和(he)印(yin)刷(shua)電(dian)路(lu)板(ban)等(deng)半(ban)導(dao)體(ti)元(yuan)件(jian)極(ji)易(yi)受(shou)到(dao)水(shui)分(fen)的(de)影(ying)響(xiang)。實(shi)際(ji)上(shang)，水(shui)分(fen)是(shi)半(ban)導(dao)體(ti)製(zhi)造(zao)流(liu)程(cheng)中(zhong)影(ying)響(xiang)最(zui)大(da)的(de)汙(wu)染(ran)物(wu)，預(yu)估(gu)表(biao)明(ming)，不(bu)理(li)想(xiang)的(de)濕(shi)度(du)條(tiao)件(jian)造(zao)成(cheng)的(de)損(sun)失(shi)占(zhan)收(shou)入(ru)損(sun)失(shi)的(de)比(bi)例(li)高(gao)達(da) 25%。
濕度過高會導致腐蝕、電氣短路、元(yuan)器(qi)件(jian)質(zhi)量(liang)差(cha)以(yi)及(ji)更(geng)高(gao)的(de)故(gu)障(zhang)率(lv)。濕(shi)度(du)過(guo)低(di)會(hui)導(dao)致(zhi)靜(jing)電(dian)積(ji)聚(ju)，從(cong)而(er)損(sun)壞(huai)半(ban)導(dao)體(ti)表(biao)麵(mian)並(bing)顯(xian)著(zhu)降(jiang)低(di)生(sheng)產(chan)產(chan)量(liang)。因(yin)此(ci)，精(jing)確(que)的(de)濕(shi)度(du)控(kong)製(zhi)至(zhi)關(guan)重(zhong)要(yao)，這(zhe)使(shi)得(de)可(ke)靠(kao)的(de)傳(chuan)感(gan)器(qi)成(cheng)為(wei)必(bi)不(bu)可(ke)少(shao)的(de)投(tou)資(zi) — 這是一項明智的投資，影響遠遠大於其規模或成本。高質量的傳感器和變送器確保設備和環境保持在半導體製造所需的適當範圍內。
半導體製造流程中的測量解決方案
讓我們來看一些濕度管理至關重要的半導體製造流程，以及可以提供幫助的解決方案。
矽晶圓拋光清洗
矽(gui)晶(jing)圓(yuan)拋(pao)光(guang)和(he)清(qing)洗(xi)是(shi)半(ban)導(dao)體(ti)製(zhi)造(zao)流(liu)程(cheng)中(zhong)的(de)關(guan)鍵(jian)步(bu)驟(zhou)。該(gai)流(liu)程(cheng)涉(she)及(ji)高(gao)濕(shi)度(du)和(he)刺(ci)激(ji)性(xing)化(hua)學(xue)物(wu)質(zhi)，可(ke)能(neng)導(dao)致(zhi)傳(chuan)感(gan)器(qi)漂(piao)移(yi)，使(shi)準(zhun)確(que)的(de)測(ce)量(liang)變(bian)得(de)更(geng)加(jia)困(kun)難(nan)。
用於這種環境的探頭需要承受高濕度水平和刺激性化學物質暴露。一個好的解決方案是緊湊型溫濕度探頭 HMP9，tashiyikuanjincouxingtantou，juyoufeichangkuaidexiangyingshijian。takeyichengshougaoshidushuiping，bingqiehaijuyouhuaxueqingchugongnengyongyuwuranhouchuanganqiqingjie。duiyushebeizhizaoshang，weisalahaitigongmokuaihuawenshiduchanpin，liru相對濕度和溫度模塊 HMM170，這些產品可以集成到最終產品中。
晶圓光刻機、塗膠顯影機
對矽晶片進行塗膠和顯影的晶圓光刻機是基於激光技術的，因此即使是微小的環境變化也會顯著影響流程質量。環境氣壓、相對濕度和溫度都會影響光刻效果和鏡頭聚焦，因此必須實時監測和補償。在納米級製程中，精確測量和監測這些參數變得更加重要。
適用於這些設備的一個良好的解決方案是模塊化維薩拉 Indigo520，它提供氣壓作為可選的測量參數。溫濕度探頭 HMP3 與 Indigo520 兼容，其結構允許在現場更換傳感器而無需工具，因此成為潔淨室環境的理想選擇。對於需要監測其他諸如 CO2 和露點等參數的工藝流程，可以使用其他型號的探頭。無論您如何選擇，探頭都可以連接到數據處理單元（例如 Indigo520），讓您可以靈活地為具體工藝流程選擇合適的組合。
晶圓切割和探針台
jingyuanqiegeliuchengjiangdangexinpiancongjingyuanshangfenlichulai，xuyaozhunquedeshiducelianglaibaohuchanpinheshebei。lengningkenengshiyigewenti，tebieshizaijiaodaibeibolishi，yincixuyaozaixijianceludian。zaitanzhenceshiguochengzhong，xinpianhuichengshoujiduandewendubianhuayiceshijichengdianluxingneng。gailiuchengyaoqiujingquekongzhiludianheshidu，yifangceshihuanjingzhongfashenglengningheshengxiu。
維薩拉提供多種緊湊型產品來監測和控製這些參數。DMT143 小型露點變送器測量範圍廣，從 -70°C 至 +60°C，可用於霜點和露點測量。另一個選件是維薩拉露點變送器 DMT152，它針對超幹燥條件進行優化，可提供低至 –80°C 的霜點測量值，誤差為 +/–2°C。這兩款產品都具有自動校準功能，確保非常長的校準間隔，並且易於集成到 OEM 應用中，如半導體製造或測試設備。
工藝管線氣體質量
半導體製造中使用的潔淨室依賴於氮氣和氬氣等高質量、非(fei)反(fan)應(ying)性(xing)工(gong)藝(yi)氣(qi)體(ti)。確(que)保(bao)這(zhe)些(xie)氣(qi)體(ti)的(de)幹(gan)燥(zao)性(xing)對(dui)於(yu)維(wei)持(chi)工(gong)藝(yi)環(huan)境(jing)的(de)純(chun)度(du)和(he)避(bi)免(mian)敏(min)感(gan)製(zhi)造(zao)階(jie)段(duan)的(de)潛(qian)在(zai)汙(wu)染(ran)至(zhi)關(guan)重(zhong)要(yao)。需(xu)要(yao)監(jian)測(ce)工(gong)藝(yi)氣(qi)體(ti)管(guan)線(xian)中(zhong)的(de)濕(shi)度(du)水(shui)平(ping)，以(yi)確(que)保(bao)準(zhun)確(que)的(de)測(ce)量(liang)結(jie)果(guo)。最(zui)好(hao)在(zai)管(guan)線(xian)中(zhong)使(shi)用(yong)拋(pao)光(guang)不(bu)鏽(xiu)鋼(gang)管(guan)，因(yin)為(wei)這(zhe)有(you)助(zhu)於(yu)確(que)保(bao)獲(huo)得(de)準(zhun)確(que)、無汙染的讀數。
維薩拉 DRYCAP® 傳(chuan)感(gan)器(qi)非(fei)常(chang)適(shi)合(he)監(jian)測(ce)氣(qi)體(ti)幹(gan)燥(zao)度(du)，因(yin)為(wei)它(ta)們(men)具(ju)有(you)極(ji)快(kuai)的(de)響(xiang)應(ying)時(shi)間(jian)，可(ke)節(jie)省(sheng)昂(ang)貴(gui)的(de)氣(qi)體(ti)並(bing)在(zai)故(gu)障(zhang)情(qing)況(kuang)下(xia)保(bao)護(hu)流(liu)程(cheng)。它(ta)們(men)還(hai)可(ke)以(yi)自(zi)動(dong)校(xiao)準(zhun)以(yi)實(shi)現(xian)良(liang)好(hao)的(de)長(chang)期(qi)穩(wen)定(ding)性(xing)。維薩拉露點變送器 DMT152 是這種應用的合適選擇，能夠提供實時、高質量的測量結果。DMT152 應(ying)直(zhi)接(jie)安(an)裝(zhuang)在(zai)氣(qi)流(liu)中(zhong)，以(yi)確(que)保(bao)獲(huo)取(qu)具(ju)有(you)代(dai)表(biao)性(xing)的(de)氣(qi)體(ti)樣(yang)本(ben)，並(bing)使(shi)用(yong)錐(zhui)形(xing)螺(luo)紋(wen)來(lai)防(fang)止(zhi)泄(xie)漏(lou)。維(wei)薩(sa)拉(la)采(cai)樣(yang)室(shi)由(you)拋(pao)光(guang)不(bu)鏽(xiu)鋼(gang)製(zhi)成(cheng)，確(que)保(bao)實(shi)現(xian)準(zhun)確(que)、高質量的測量。
濕度控製的重要性
shidukongzhiyouzhuyuyanchangbandaotizhizaoshebeideshiyongshoumingbingbaochizuizhongchanpinzhiliang。tongguozaizhenggeshengchanguochengzhongshiyonggaozhiliangdechuanganqihebiansongqilaijiancehekongzhishidushuiping，zhizaoshangkeyibaohuqiyunyingmianshouyushiduxiangguandewentiyingxiang，jiangdichengbenbingjinkenengtigaochanliang。
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Solutions for semiconductor process, facility monitoring and control
Semiconductor wafer and microelectronics fabrication is a demanding process with little room for mistakes. The industry depends on high-performing monitoring and measurement instrumentation for precise chemical compositions and atmospheric conditions.
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