由(you)於(yu)半(ban)導(dao)體(ti)車(che)間(jian)經(jing)常(chang)需(xu)要(yao)全(quan)天(tian)候(hou)運(yun)轉(zhuan)，因(yin)此(ci)危(wei)險(xian)氣(qi)流(liu)分(fen)布(bu)係(xi)統(tong)
，尤(you)其(qi)是(shi)將(jiang)氣(qi)流(liu)供(gong)應(ying)給(gei)多(duo)個(ge)過(guo)程(cheng)工(gong)具(ju)時(shi)
，必(bi)須(xu)包(bao)含(han)自(zi)動(dong)監(jian)控(kong)和(he)控(kong)製(zhi)功(gong)能(neng)，從(cong)而(er)確(que)保(bao)可(ke)靠(kao)性(xing)


，這(zhe)些(xie)可(ke)靠(kao)的(de)係(xi)統(tong)不(bu)僅(jin)確(que)保(bao)半(ban)導(dao)體(ti)的(de)質(zhi)量(liang)，更(geng)重(zhong)要(yao)的(de)是(shi)，它(ta)們(men)還(hai)保(bao)護(hu)人(ren)身(shen)安(an)全(quan)。液(ye)空(kong)電(dian)子(zi)（ALE）通過將GE Fanuc提供的一組創新的人機界麵（HMI）觸摸屏和可編程邏輯控製器（PLC）與DST Controls（位於加利福尼亞州的貝尼西）的定製控製係統工廠相結合來實現自動監控和控製。

成果： 高可用性，保護工廠生產和人員安全。 易操作的操作員界麵。 更強的係統安全性。 高速的以太網通訊。 緊湊型控製 ，減少空間需求。 更快速、安全的遠程連接。 詳細情況，請下載本手冊