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項目簡介 ----某集成電路製造(上海)有限公司是中國最大的半導體生產廠家之一。生產200mm (8 inch)的芯片,可達到密集程度0.25μm以下的工藝技能以滿足中國市場的巨大需求。 ----zuoweizhuanyedequanjichengzidonghuajiejuefangandetigongzhe,womenpingzheqiangdadejishushiliyufengfudegongchengjingyanzaijiliedejingzhengzhongyingdelecigongsijiejingshizikongxitonggongchengdeheyue,tigonglecongshebeidaogongchengdeyixiliefuwu,baokuotigongjiyufensanguochengkongzhixitongdePCS7係xi統tong,控kong製zhi方fang案an的de選xuan擇ze和he控kong製zhi功gong能neng的de設she計ji,係xi統tong編bian程cheng,組zu態tai,安an裝zhuang,開kai車che調tiao試shi,工gong藝yi參can數shu優you化hua,以yi及ji相xiang關guan操cao作zuo維wei護hu手shou冊ce編bian寫xie,培pei訓xun。係xi統tong總zongI/O點數超過2000點。項目於2001.3啟動,2001.12竣工。
係統結構 ----PCS7作為一個富有競爭力的過程控製係統,被用於此公司的淨化室項目中,兩個獨立的加工廠 (FAB1和FAB3B) 分別配備了一套PCS7係統。考慮到芯片加工廠連續生產的特性,我們采用了AS控製器冗餘技術。分布式I/O模塊的應用,滿足了安裝及接線靈活性的需要。分布式I/O模塊由靈活的底板總線驅動,可帶電插拔。為了確保其的可靠性,同時也配備了Profibus的冗餘通訊。UPS的應用解決了斷電問題。
控製策略 ----芯(xin)片(pian)與(yu)生(sheng)產(chan)設(she)備(bei)本(ben)身(shen)對(dui)空(kong)氣(qi)的(de)溫(wen)濕(shi)度(du)非(fei)常(chang)敏(min)感(gan)。為(wei)了(le)維(wei)持(chi)潔(jie)淨(jing)室(shi)穩(wen)定(ding)的(de)環(huan)境(jing),控(kong)製(zhi)係(xi)統(tong)必(bi)須(xu)能(neng)自(zi)動(dong)識(shi)別(bie)變(bian)化(hua)。通(tong)過(guo)新(xin)風(feng)機(ji)低(di)中(zhong)效(xiao)的(de)過(guo)濾(lv)以(yi)及(ji)風(feng)扇(shan)過(guo)濾(lv)單(dan)元(yuan)高(gao)效(xiao)過(guo)濾(lv),可(ke)以(yi)實(shi)現(xian)對(dui)淨(jing)室(shi)潔(jie)淨(jing)度(du)的(de)控(kong)製(zhi)。利(li)用(yong)變(bian)速(su)風(feng)機(ji)可(ke)以(yi)進(jin)行(xing)壓(ya)力(li)控(kong)製(zhi),潔(jie)淨(jing)室(shi)中(zhong)穩(wen)定(ding)的(de)正(zheng)壓(ya)是(shi)新(xin)風(feng)機(ji)和(he)排(pai)氣(qi)係(xi)統(tong)共(gong)同(tong)作(zuo)用(yong)的(de)結(jie)果(guo)。 ----為wei了le更geng精jing確que地di控kong製zhi濕shi度du,我wo們men采cai用yong了le串chuan級ji控kong製zhi,從cong而er克ke服fu了le滯zhi後hou現xian象xiang。主zhu環huan控kong製zhi淨jing室shi的de相xiang對dui濕shi度du,而er副fu環huan主zhu要yao控kong製zhi送song風feng係xi統tong的de一yi些xie擾rao動dong,包bao括kuo公gong用yong部bu分fen的de一yi些xie不bu穩wen定ding因yin素su。在zai某mou一yi溫wen度du下xia,為wei了le保bao持chi空kong氣qi中zhong一yi定ding的de濕shi度du,必bi須xu注zhu意yi補bu給gei以yi保bao持chi空kong氣qi的de絕jue對dui濕shi度du。
項目突出點 ----weijinkuaijianlixinpianshengchanxian,suoyoudegongzuodoujihuzaitongshijinxing,najiuyiweizhexuyaoyizhiyoujingyandezhuanyehuagongchengduiwu。tongshi,youyubandaotizhizaoshebeidejudatouzi,yijishengchanxiangongren24小時不間斷的生產作業,這些都要求控製係統必須有高度的可靠性。
係統優勢 ----考慮到半導體工業的特性與產品周期,西門子工業自動化有限公司為其配置了西門子具有高度靈活性,可靠性與一體化的PCS7過程控製係統,實現集成數據管理,集成編程,組態,集成通訊。 ----采用的AS 414H/417H 是冗餘的自動化係統,由兩個獨立的中央處理單元組成,同步跟蹤被控對象,並通過CPU之間的數據線進行快速,直接的內部數據交換。這兩個獨立的中央處理單元可以以冗餘的方式接入工業以太網,並有冗餘的PROFIBUS-DP 接口連接I/O。一旦異常情況發生,故障搜索裝置啟動,受影響的單元停止,自動切入後備單元。
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