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在半導體芯片的精密製造場域裏,毫厘溫差,足以定義成敗。每一次沉積、每一道蝕刻,溫度曲線的輕微擾動,都可能影響最終良率與品質。
誰來為高端製造,築牢“溫度”這一生命線?
憑借對精密製造場景的深刻理解與技術積澱,台達正式推出高精度模塊化溫度控製器DTDM係列,為半導體等精密製造而生的控溫利器,重塑精密溫控新標準。

核心亮點:定義溫控新高度
精準鎖溫:±0.1%高精度量測+10ms高速采樣,將溫度波動牢牢鎖死。
協同控製:PID串級控製算法,內外環協同工作,快速抑製滯後與超調。
彈性擴展:模塊化架構,支持32通道自由擴展,一對多控製節省成本。
高速互聯:EtherCAT高速網絡,即插即用,數據實時互通。
直擊痛點:守護半導體製造“溫度生命線”技術
滿足多區加熱需求:通過靈活構建多達32路的獨立溫控單元的獨特優勢,為半導體加工解決從緊湊型設備到大型多區加熱係統的全方位需求。
溫控精準可靠:集前饋補償、PID串級、14點溫度校正於一體,不僅能快速響應,更能預見幹擾,實現真正的穩定與精準。
智能可靠守護:一對多控製:在需要多點控溫的場景,僅通過單一測溫點的溫度信息,即可以自訂比例的方式實現多通道的加熱控製輸出,大幅提升效益。
輸入冗餘切換:傳感器故障瞬間無擾切換,保障生產零中斷。
多通道溫差監控:實時比對,異常溫差即刻預警,確保工藝均勻性。
無縫數字集成:內置狀態數據庫與邏輯運算能力,是連接設備層與信息層的智能節點,讓數據流動更順暢。
台達DTDM係列,已準備就緒,駕馭毫厘溫差,鑄就非凡工藝。
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