編者語：全球MEMS工業正麵臨之前從未有過的停滯,2008年的銷售額下降2%,達68億美元,然而
，當汽車電子,工業壓力傳感器及打印頭市場隨著全球經濟下滑時,許多新的MEMS應用卻得到切實的增長。

   Yole Developpement報道,全球MEMS工業正麵臨之前從未有過的停滯,2008年的銷售額下降2%,達68億美元,其2009年非常可能增長率小於1%。然而

，當汽車電子,工業壓力傳感器及打印頭市場隨著全球經濟下滑時,許多新的MEMS應用卻得到切實的增長。

   MEMS在消費類電子產品中,如加速度計,陀螺儀的市場繼續看好,推動供應商如STMicron(日內瓦),Invensense(加州桑尼威爾),其銷售額有10-30%增長。隨著MEMS在醫療電子和診斷設備的應用擴大,其市場繼續增大。今年新的內窺測量產品(IMU)開始啟動。它集成了多軸加速度計和陀螺儀功能,不但尺寸小,而且價格不到10美元,所以也推動了遊戲機,照相機防震及指示儀等新的應用。

　　由於MEMS產品分散性大,與IC工業顯著下滑相比,MEMS工業仍是繼續健康的成長。Yole CEO說由於MEMS產品存在眾多的市場機會,相對全球MEMS市場看好。在全球MEMS市場達到68億美元情況下,僅隻有14家領先公司的銷售額超過1,5億美元,以及30家公司的銷售額大於2800萬美元。下圖為MEMS市場的預測：

　　全球MEMS設備市場的情況就不一樣,2008年銷售額僅2億美元,相比與2007年的3,3億美元。盡管全球的經濟狀況仍很難確定,但是2009年MEMS設備市場按最好情況估計,也隻能達到與2008年時水平相近。

　　MEMS設備的研發相對仍是健康。而部分專業的MEMS設備製造商由於為完成今年訂單而擴大產能。其中矽片鍵合設備和用於芯片堆疊封裝,TSV,圖象傳感器和納米印刷等其中的付蝕設備正從半導體應用轉向MEMS,並逐漸成為主流。

   MEMS有一種在手機中的應用正吸引眾多人的眼球,叫WiSpry可調諧式數字電容器。它的優點可以減少載波電平的功耗和手機成本。該公司在今年四月又得到1000萬美元的資助資金,目前其產品正在某一手機製造商中進行驗證測試,並預計今年底可以量產。據Jeffery Hilbert總裁的看法,全球其餘的5家頂級手機製造商都有興趣導入此項技術,並正在進行相關設計及樣品的試製階段,另有兩家在評估之中。

　　該公司提出一種平行板電容器新結構,其中一塊板是由180納米CMOS工藝製成的,而將MEMS置於CMOS的上麵,並且是可移動的,采用8英(ying)寸(cun)矽(gui)片(pian)工(gong)藝(yi)及(ji)矽(gui)片(pian)級(ji)封(feng)裝(zhuang)技(ji)術(shu)。然(ran)而(er)將(jiang)芯(xin)片(pian)與(yu)嵌(qian)入(ru)式(shi)被(bei)動(dong)元(yuan)件(jian)一(yi)起(qi)封(feng)裝(zhuang)在(zai)另(ling)一(yi)個(ge)封(feng)裝(zhuang)殼(ke)內(nei)。利(li)用(yong)這(zhe)些(xie)電(dian)容(rong)器(qi)的(de)開(kai)或(huo)關(guan)把(ba)它(ta)們(men)排(pai)列(lie)在(zai)一(yi)組(zu)陣(zhen)列(lie)中(zhong)可(ke)以(yi)實(shi)現(xian)各(ge)種(zhong)方(fang)式(shi)的(de)聯(lian)通(tong),包括如天線,放大器及瀘波器等。其中首位的應用是可調諧式天線,它利用增加或減少阻抗來調正手機的功率,從而實現手機的功耗降低。下一步計劃是采用同樣結構用在更低頻率及更小的天線之中。

　　Hilbert談到未來的軟件可調式陣列可能應用於許多不同產品中。因為手機製造商要滿足不同國家的各種不同的客戶指定需求產品,采用上述結構可以節省材料費用以及加快產品推向市場。功耗降低可以轉換成載波電平的網絡效率,能使用戶提高遠離基站的使用能力及延長手機電池的使用壽命。

　　另外,MEMS在生化醫療的應用中也得到實際的增長,如美國Proteus Biomedical公司(在加州紅杉城)正把它的係統應用於臨床醫療中,它利用傳感器和智能控製技術來進行肺結核和心髒病的治療,實現心髒的剌激與疏通。其下一步更大計劃是在現有的醫療技術中作植入式應用。

　　有項革命性的應用是植入式電極(implanted electrodes),它能剌激心髒內不同腔體位置使它們進行同步或再同步心跳的治療。公司的核心技術在於釆用芯片級封裝技術,將尺寸小於毫米的MEMS傳感器和處理器封裝係統放在人體的內部使用,而且可以維持好多年,來代替必須更多的插入導管來剌激心髒的不同位置。Proteus技術能在一根導管的兩條線上裝有16個電極,利用起博器電源能使傳感器在心髒的不同腔體內移動,並剌激產生合適的收縮壓力,最終能將訊息智能化傳出來。這項革命性的創新,把過去的心髒撘橋,插入導管的方法改変成可移動的MEMS傳感器,可以大大降低手術的難度與風險,可以想象未來應用在腦的剌激或者脊椎骨壓迫的修複等應用中
，有著極其廣闊的應用前景。

　　同樣未來的醫療服務也可能實現全程智能化。如醫療機構可以通過電話告訴患者服藥。Proteus已製造出矽基比毫米還小的傳感器,而這種傳感器可以與藥丸附在一起。當藥丸吞下遇到水時傳感器會自動打開,並能發出不是RF的傳導訊號。接受器可以用繃帶綁在皮膚表麵或者皮下植入，以及象一個起博器一樣,然後將數據通過電話或者計算機網絡傳輸出去。這樣的病人就可以在家中,不必每天來到醫院進行醫療診斷。