http://www.kadhoai.com.cn 2026-04-09 18:10:11 來源:工業控製
按Yole Developpement報道,全球MEMS工業正麵臨之前從未有過的停滯,2008年的銷售額下降2%,達68億美元,其2009年非常可能增長率小於1%。然而當汽車電子,工業壓力傳感器及打印頭市場隨著全球經濟下滑時,許多新的MEMS應用卻得到切實的增長。
MEMS在消費類電子產品中,如加速度計,陀螺儀的市場繼續看好,推動供應商如STMicron,Invensense,其銷售額有10-30%增長。隨著MEMS在醫療電子和診斷設備的應用擴大,其市場繼續增大。今年新的內窺測量產品(IMU)開始啟動。它集成了多軸加速度計和陀螺儀功能,不但尺寸小,而且價格不到10美元,所以也推動了遊戲機,照相機防震及指示儀等新的應用。
由於MEMS產品分散性大,與IC工業顯著下滑相比,MEMS工業仍是繼續健康的成長。Yole CEO說由於MEMS產品存在眾多的市場機會,相對全球MEMS市場看好。在全球MEMS市場達到68億美元情況下,僅隻有14家領先公司的銷售額超過1.5億美元,以及30家公司的銷售額大於2800萬美元。下圖為MEMS市場的預測:
全球MEMS設備市場的情況就不一樣,2008年銷售額僅2億美元,相比與2007年的3,3億美元。盡管全球的經濟狀況仍很難確定,但是2009年MEMS設備市場按最好情況估計,也隻能達到與2008年時水平相近。
MEMS設備的研發相對仍是健康。而部分專業的MEMS設備製造商由於為完成今年訂單而擴大產能。其中矽片鍵合設備和用於芯片堆疊封裝,TSV,圖象傳感器和納米印刷等其中的付蝕設備正從半導體應用轉向MEMS,並逐漸成為主流。
MEMS有一種在手機中的應用正吸引眾多人的眼球,叫WiSpry可調諧式數字電容器。它的優點可以減少載波電平的功耗和手機成本。該公司在今年四月又得到1000 萬美元的資助資金,目前其產品正在某一手機製造商中進行驗證測試,並預計今年底可以量產。據Jeffery Hilbert總裁的看法,全球其餘的5家頂級手機製造商都有興趣導入此項技術,並正在進行相關設計及樣品的試製階段,另有兩家在評估之中。
該公司提出一種平行板電容器新結構,其中一塊板是由180納米CMOS工藝製成的,而將MEMS置於CMOS的上麵,並且是可移動的,采用8英(ying)寸(cun)矽(gui)片(pian)工(gong)藝(yi)及(ji)矽(gui)片(pian)級(ji)封(feng)裝(zhuang)技(ji)術(shu)。然(ran)而(er)將(jiang)芯(xin)片(pian)與(yu)嵌(qian)入(ru)式(shi)被(bei)動(dong)元(yuan)件(jian)一(yi)起(qi)封(feng)裝(zhuang)在(zai)另(ling)一(yi)個(ge)封(feng)裝(zhuang)殼(ke)內(nei)。利(li)用(yong)這(zhe)些(xie)電(dian)容(rong)器(qi)的(de)開(kai)或(huo)關(guan)把(ba)它(ta)們(men)排(pai)列(lie)在(zai)一(yi)組(zu)陣(zhen)列(lie)中(zhong)可(ke)以(yi)實(shi)現(xian)各(ge)種(zhong)方(fang)式(shi)的(de)聯(lian)通(tong),包(bao)括(kuo)如(ru)天(tian)線(xian),放(fang)大(da)器(qi)及(ji)瀘(lu)波(bo)器(qi)等(deng)。其(qi)中(zhong)首(shou)位(wei)的(de)應(ying)用(yong)是(shi)可(ke)調(tiao)諧(xie)式(shi)天(tian)線(xian),它(ta)利(li)用(yong)增(zeng)加(jia)或(huo)減(jian)少(shao)阻(zu)抗(kang)來(lai)調(tiao)正(zheng)手(shou)機(ji)的(de)功(gong)率(lv),從(cong)而(er)實(shi)現(xian)手(shou)機(ji)的(de)功(gong)耗(hao)降(jiang)低(di)。下(xia)一(yi)步(bu)計(ji)劃(hua)是(shi)采(cai)用(yong)同(tong)樣(yang)結(jie)構(gou)用(yong)在(zai)更(geng)低(di)頻(pin)率(lv)及(ji)更(geng)小(xiao)的(de)天(tian)線(xian)之(zhi)中(zhong)。
Hilbert談tan到dao未wei來lai的de軟ruan件jian可ke調tiao式shi陣zhen列lie可ke能neng應ying用yong於yu許xu多duo不bu同tong產chan品pin中zhong。因yin為wei手shou機ji製zhi造zao商shang要yao滿man足zu不bu同tong國guo家jia的de各ge種zhong不bu同tong的de客ke戶hu指zhi定ding需xu求qiu產chan品pin,采cai用yong上shang述shu結jie構gou可ke以yi節jie省sheng材cai料liao費fei用yong以yi及ji加jia快kuai產chan品pin推tui向xiang市shi場chang。功gong耗hao降jiang低di可ke以yi轉zhuan換huan成cheng載zai波bo電dian平ping的de網wang絡luo效xiao率lv,能neng使shi用yong戶hu提ti高gao遠yuan離li基ji站zhan的de使shi用yong能neng力li及ji延yan長chang手shou機ji電dian池chi的de使shi用yong壽shou命ming。
另外,MEMS在生化醫療的應用中也得到實際的增長,如美國Proteus Biomedical公司(在加州紅杉城)正(zheng)把(ba)它(ta)的(de)係(xi)統(tong)應(ying)用(yong)於(yu)臨(lin)床(chuang)醫(yi)療(liao)中(zhong),它(ta)利(li)用(yong)傳(chuan)感(gan)器(qi)和(he)智(zhi)能(neng)控(kong)製(zhi)技(ji)術(shu)來(lai)進(jin)行(xing)肺(fei)結(jie)核(he)和(he)心(xin)髒(zang)病(bing)的(de)治(zhi)療(liao),實(shi)現(xian)心(xin)髒(zang)的(de)剌(la)激(ji)與(yu)疏(shu)通(tong)。其(qi)下(xia)一(yi)步(bu)更(geng)大(da)計(ji)劃(hua)是(shi)在(zai)現(xian)有(you)的(de)醫(yi)療(liao)技(ji)術(shu)中(zhong)作(zuo)植(zhi)入(ru)式(shi)應(ying)用(yong)。
有項革命性的應用是植入式電極(implanted electrodes),它能剌激心髒內不同腔體位置使它們進行同步或再同步心跳的治療。公司的核心技術在於釆用芯片級封裝技術,將尺寸小於毫米的MEMS傳感器和處理器封裝係統放在人體的內部使用,而且可以維持好多年,來代替必須更多的插入導管來剌激心髒的不同位置。Proteus技術能在一根導管的兩條線上裝有16個(ge)電(dian)極(ji),利(li)用(yong)起(qi)博(bo)器(qi)電(dian)源(yuan)能(neng)使(shi)傳(chuan)感(gan)器(qi)在(zai)心(xin)髒(zang)的(de)不(bu)同(tong)腔(qiang)體(ti)內(nei)移(yi)動(dong),並(bing)剌(la)激(ji)產(chan)生(sheng)合(he)適(shi)的(de)收(shou)縮(suo)壓(ya)力(li),最(zui)終(zhong)能(neng)將(jiang)訊(xun)息(xi)智(zhi)能(neng)化(hua)傳(chuan)出(chu)來(lai)。這(zhe)項(xiang)革(ge)命(ming)性(xing)的(de)創(chuang)新(xin),把(ba)過(guo)去(qu)的(de)心(xin)髒(zang)撘(撘)橋(qiao),插(cha)入(ru)導(dao)管(guan)的(de)方(fang)法(fa)改(gai)変(変)成(cheng)可(ke)移(yi)動(dong)的(de)MEMS傳感器,可以大大降低手術的難度與風險,可以想象未來應用在腦的剌激或者脊椎骨壓迫的修複等應用中,有著極其廣闊的應用前景。
同樣未來的醫療服務也可能實現全程智能化。如醫療機構可以通過電話告訴患者服藥。Proteus已製造出矽基比毫米還小的傳感器,而這種傳感器可以與藥丸附在一起。當藥丸吞下遇到水時傳感器會自動打開,並能發出不是RFdechuandaoxunhao。jieshouqikeyiyongbengdaibangzaipifubiaomianhuozhepixiazhiru,yijixiangyigeqiboqiyiyang,ranhoujiangshujutongguodianhuahuozhejisuanjiwangluochuanshuchuqu。zheyangdebingrenjiukeyizaijiazhong,bubimeitianlaidaoyiyuanjinxingyiliaozhenduan。