在工農業生產、氣象
、環保、國防、科研
、航(hang)天(tian)等(deng)部(bu)門(men)，經(jing)常(chang)需(xu)要(yao)對(dui)環(huan)境(jing)濕(shi)度(du)進(jin)行(xing)測(ce)量(liang)及(ji)控(kong)製(zhi)。但(dan)在(zai)常(chang)規(gui)的(de)環(huan)境(jing)參(can)數(shu)中(zhong)，濕(shi)度(du)是(shi)最(zui)難(nan)準(zhun)確(que)測(ce)量(liang)的(de)一(yi)個(ge)參(can)數(shu)。用(yong)幹(gan)濕(shi)球(qiu)濕(shi)度(du)計(ji)或(huo)毛(mao)發(fa)濕(shi)度(du)計(ji)來(lai)測(ce)量(liang)濕(shi)度(du)的(de)方(fang)法(fa)，早(zao)已(yi)無(wu)法(fa)滿(man)足(zu)現(xian)代(dai)科(ke)技(ji)發(fa)展(zhan)的(de)需(xu)要(yao)。這是因為測量濕度要比測量溫度複雜的多，溫度是個獨立的被測量，而濕度卻受其他因素（ 大氣壓強
、溫度） 的影響。此外，濕度的校準也是一個難題。國外生產的濕度標定設備價格十分昂貴。
    近年來
，國內外在濕度傳感器研發領域取得了長足進步。濕敏傳感器正從簡單的濕敏元件向集成化
、智能化、多參數檢測的方向迅速發展，為開發新一代濕度／溫度測控係統創造了有利條件，也將濕度測量技術提高到新的水平。
    １ 濕敏元件的特性
    濕敏元件是最簡單的濕度傳感器。濕敏元件主要有電阻式、電容式兩大類。
    １．１ 濕敏電阻
    濕shi敏min電dian阻zu的de特te點dian是shi在zai基ji片pian上shang覆fu蓋gai一yi層ceng用yong感gan濕shi材cai料liao製zhi成cheng的de膜mo，當dang空kong氣qi中zhong的de水shui蒸zheng氣qi吸xi附fu在zai感gan濕shi膜mo上shang時shi，元yuan件jian的de電dian阻zu率lv和he電dian阻zu值zhi都dou發fa生sheng變bian化hua，利li用yong這zhe一yi特te性xing即ji可ke測ce量liang濕shi度du。濕shi敏min電dian阻zu的de種zhong類lei很hen多duo
，例li如ru金jin屬shu氧yang化hua物wu濕shi敏min電dian阻zu、矽濕敏電阻、陶瓷濕敏電阻等。濕敏電阻的優點是靈敏度高

，主要缺點是線性度和產品的互換性差。
    １．２ 濕敏電容
    濕敏電容一般是用高分子薄膜電容製成的，常用的高分子材料有聚苯乙烯、聚酰亞胺、酪(lao)酸(suan)醋(cu)酸(suan)纖(xian)維(wei)等(deng)。當(dang)環(huan)境(jing)濕(shi)度(du)發(fa)生(sheng)改(gai)變(bian)時(shi)，濕(shi)敏(min)電(dian)容(rong)的(de)介(jie)電(dian)常(chang)數(shu)發(fa)生(sheng)變(bian)化(hua)，使(shi)其(qi)電(dian)容(rong)量(liang)也(ye)發(fa)生(sheng)變(bian)化(hua)，其(qi)電(dian)容(rong)變(bian)化(hua)量(liang)與(yu)相(xiang)對(dui)濕(shi)度(du)成(cheng)正(zheng)比(bi)。濕(shi)敏(min)電(dian)容(rong)的(de)主(zhu)要(yao)優(you)點(dian)是(shi)靈(ling)敏(min)度(du)高(gao)、產品互換性好
、響應速度快、濕度的滯後量小
、便於製造、容易實現小型化和集成化
，其精度一般比濕敏電阻要低一些。國外生產濕敏電容的主要廠家有Ｈｕｍｉｒｅｌ公司
、Ｐｈｉｌｉｐｓ公司、Ｓｉｅｍｅｎｓ公司等。以Ｈｕｍｉｒｅｌ公司生產的ＳＨ１１００型濕敏電容為例，其測量範圍是(１％～９９％)ＲＨ，在５５％ＲＨ時的電容量為１８０ｐＦ(典型值)。當相對濕度從０變化到１００％時，電容量的變化範圍是１６３ｐＦ～２０２ｐＦ。溫度係數為０．０４ｐＦ／℃，濕度滯後量為±１．５％，響應時間為５ｓ。除電阻式、電容式濕敏元件之外，還有電解質離子型濕敏元件
、重量型濕敏元件(利用感濕膜重量的變化來改變振蕩頻率)、光強型濕敏元件、聲(sheng)表(biao)麵(mian)波(bo)濕(shi)敏(min)元(yuan)件(jian)等(deng)。濕(shi)敏(min)元(yuan)件(jian)的(de)線(xian)性(xing)度(du)及(ji)抗(kang)汙(wu)染(ran)性(xing)差(cha)，在(zai)檢(jian)測(ce)環(huan)境(jing)濕(shi)度(du)時(shi)
，濕(shi)敏(min)元(yuan)件(jian)要(yao)長(chang)期(qi)暴(bao)露(lu)在(zai)待(dai)測(ce)環(huan)境(jing)中(zhong)，很(hen)容(rong)易(yi)被(bei)汙(wu)染(ran)而(er)影(ying)響(xiang)其(qi)測(ce)量(liang)精(jing)度(du)及(ji)長(chang)期(qi)穩(wen)定(ding)性(xing)。
    ２ 集成濕度傳感器的性能特點及產品分類
    目前
，國外生產集成濕度傳感器的主要廠家及典型產品分別為Ｈｏｎｅｙｗｅｌｌ公司（ＨＩＨ－３６０２

、ＨＩＨ－３６０５、ＨＩＨ－３６１０型)，Ｈｕｍｉｒｅｌ公司(ＨＭ１５００、ＨＭ１５２０、ＨＦ３２２３、ＨＴＦ３２２３型)，Ｓｅｎｓｉｒｏｎ公司(ＳＨＴ１１、ＳＨＴ１５型)。這些產品可分成以下三種類型。
    ２．１ 線性電壓輸出式集成濕度傳感器
    典型產品有ＨＩＨ３６０５／３６１０、ＨＭ１５００／１５２０。其qi主zhu要yao特te點dian是shi采cai用yong恒heng壓ya供gong電dian，內nei置zhi放fang大da電dian路lu，能neng輸shu出chu與yu相xiang對dui濕shi度du呈cheng比bi例li關guan係xi的de伏fu特te級ji電dian壓ya信xin號hao
，響xiang應ying速su度du快kuai，重zhong複fu性xing好hao，抗kang汙wu染ran能neng力li強qiang。
    ２．２ 線性頻率輸出式集成濕度傳感器
    典型產品為ＨＦ３２２３型。它采用模塊式結構
，屬於頻率輸出式集成濕度傳感器，在５５％ＲＨ時的輸出頻率為８７５０Ｈｚ(典型值)，當相對濕度從１０％變化到９５％時，輸出頻率就從９５６０Ｈｚ減小到８０３０Ｈｚ。這種傳感器具有線性度好、抗幹擾能力強、便於配數字電路或單片機、價格低等優點。