美國斯坦福大學日前披露了使用小型MEMS加速度傳感器，在耳朵中嵌入人工內耳的技術。在韓國漢城召開的MEMS技術國際學術會議“TRANSDUCERS’05”上進行了技術發表。
     此ci次ci發fa表biao的de是shi通tong過guo被bei稱cheng為wei耳er小xiao骨gu的de骨gu頭tou，將jiang鼓gu膜mo振zhen動dong傳chuan導dao給gei加jia速su度du傳chuan感gan器qi來lai捕bu捉zhuo聲sheng音yin的de技ji術shu。目mu前qian一yi般ban采cai用yong在zai耳er外wai裝zhuang麥mai克ke的de方fang法fa
，但dan這zhe種zhong方fang法fa捕bu捉zhuo不bu到dao風feng嘯xiao等deng人ren耳er聽ting不bu到dao的de聲sheng音yin。而er要yao想xiang把ba麥mai克ke置zhi入ru耳er中zhong，為wei了le避bi免mian水shui分fen和he灰hui塵chen等deng進jin入ru麥mai克ke內nei部bu，就jiu必bi須xu將jiang麥mai克ke密mi封feng起qi來lai。但dan業ye界jie認ren為wei將jiang麥mai克ke密mi封feng起qi來lai以yi後hou，存cun在zai靈ling敏min度du下xia降jiang的de問wen題ti。此ci次ci則ze采cai用yong了le利li用yong加jia速su度du傳chuan感gan器qi而er不bu是shi麥mai克ke得de到dao與yu聲sheng壓ya相xiang應ying的de振zhen動dong的de方fang法fa。
     加速度傳感器采用密閉式封裝，尺寸僅387μm×387μm×230μm。重量為100μg。這樣的尺寸對於構成耳小骨的3塊骨頭顯得非常小，能夠裝在骨頭上。另外，相對於耳小骨近50mg的重量也非常輕，即使裝在這塊骨頭上，對鼓膜傳導的振動也不會產生太大的影響。
     實驗得知，100～10kHz頻帶的60至120dB聲壓對於耳小骨就相當於40μ～3g（1g為9.8m/秒2）的加速度。此次使用的加速度傳感器分辨率為0.47mg/（Hz的平方根）

，因此聽不到頻率在100Hz以下的聲波。
     此次開發的3軸加速度傳感器采用由橫梁支撐重量的結構，在橫梁的側麵裝有壓電電阻元件。在上麵塗覆厚20μm的epi-poly膜後進行封裝。