近日從吉林省科技廳了解到
，由長春光機所承擔的應用基礎研究項目——“高精度納米分辨率線位移測量技術研究”
，riqianzaichangchuntongguozhuanjiajianding。jiandingweiyuanhuizhuanjiayizhirenwei，gaixiangyanjiusuozhichengdegaojingdunamiceliangchuanganqiyangjidadaosibeiguangxuebeipin
，jishuzhibiaodadaoguojixianjinshuiping。 

   據介紹，線位移尺寸測量是精密加工製造業的基礎之一。隨著被加工對象加工精度的提高，位移測量儀器必須具有高精度、高分辨率、大量程、體積小、重量輕等特點。市場上的光柵尺、感應同步器、磁柵等傳感器生產廠家眾多，這些廠家生產的傳感器結構簡單、價格低，但分辨率僅在1mm~0.5mm，遠(yuan)不(bu)能(neng)滿(man)足(zu)要(yao)求(qiu)。此(ci)外(wai)，少(shao)數(shu)加(jia)工(gong)中(zhong)心(xin)使(shi)用(yong)的(de)雙(shuang)頻(pin)激(ji)光(guang)幹(gan)涉(she)儀(yi)多(duo)是(shi)進(jin)口(kou)或(huo)僅(jin)有(you)少(shao)數(shu)國(guo)內(nei)科(ke)研(yan)單(dan)位(wei)單(dan)件(jian)研(yan)製(zhi)，雖(sui)然(ran)其(qi)精(jing)度(du)高(gao)，分(fen)辨(bian)率(lv)可(ke)達(da)0.01mm

，但也有結構複雜、體積龐大、價格高、對環境要求苛刻、穩定性較差等缺點。 

   據ju悉xi
，本ben項xiang目mu研yan究jiu了le應ying用yong衍yan射she光guang幹gan涉she原yuan理li進jin行xing線xian位wei移yi測ce量liang的de理li論lun計ji算suan及ji光guang路lu設she計ji等deng各ge種zhong技ji術shu問wen題ti，采cai用yong衍yan射she光guang幹gan涉she原yuan理li實shi現xian了le高gao密mi度du光guang柵zha的de位wei移yi信xin號hao提ti取qu
；實現了光學四細分，使光柵原始信號分辨率達到0.6μm；采cai用yong光guang學xue偏pian振zhen器qi件jian對dui光guang幹gan涉she條tiao紋wen進jin行xing空kong間jian移yi相xiang，得de到dao具ju有you穩wen定ding位wei相xiang差cha的de四si路lu光guang電dian信xin號hao，差cha分fen處chu理li抑yi製zhi光guang電dian信xin號hao的de直zhi流liu電dian平ping漂piao移yi，增zeng大da了le信xin號hao幅fu值zhi

，提ti高gao了le測ce量liang穩wen定ding性xing。