http://www.kadhoai.com.cn 2026-04-08 10:57:23 來源:貝加萊
10餘年前,采用砂漿的切片技術在單根晶棒上可以切出1000片左右,今天,采用金剛線的切片技術可以使得這個數字發展到高達4000-5000片,並且,一根晶棒的切割時間也從過去的十幾個小時縮短到90fenzhong,zheyiqiedouyiweizhe,jinzaiqiepianzheyihuanjie,guangfuzujiandechengbenjiuhuodeledafududexiajiang。raner,zhezhongxiaolvdedafutishengtongshiyeyiweizhekongzhixitonggenggaojingduyuxiangyingnengliyaoqiu。

圖1-多線切割基本原理圖
通過放卷張力控製、經過多個輥(雙或三主輥)的排線、棒料的進給、收卷,並且通過金剛線的往複實現切割,以提高金剛線的利用率。整個金剛線切片係統要達到非常高精度、穩定的張力控製,機器才能確保切割的穩定,高效,達到高品質的生產,並較之以往的漿料切片更高的產出。
為了降低成本,大尺寸、bopianshiweilaidefazhanfangxiang,duiyujingangxiandeqiegeeryan,gengxidejingangxiancainengqiechugengduodepian,bingjiangdibiaomiancucaodu,jinergenghaodechengpianzhiliang,erduiyuxiansudueryan,zeyiweizhegengdachannengdailaidechengbenxiajiang,danzhedouduikongzhixitongbaokuohengzhanglikongzhi、高精度排線、高精度進給等提出了更高的要求。

圖2-貝加萊光伏切片係統解決方案硬件架構
圖2是貝加萊為多線切割係統提供的解決方案,ACOPOSmulti提供了共直流母線驅動技術,通過POWERLINK實時以太網提供百微秒級的高精度同步。
切片係統的功能性設計
在晶棒拉製後,經過切方,進入多線切割,這是至關重要的一環,每個晶棒都價值不菲,如果不能高品質的生產出產品,那就會成為“成本”的構成,隨著金剛線變得更細,這也使得對於切片的過程控製更為“精細”的要求,切片過程必須能夠控製非常精準,且同步精度高,才能確保晶片裁切過程的高品質,整體的方差最小。

圖3-多線切割係統的功能需求
張力控製技術
卷徑與張力是貝加萊控製係統的基本工藝控製模塊,借助於在印刷、塑料、包裝眾多領域數十年的積累,對於各種張力場景的張力控製貝加萊均可應對自如,自動排線、平台控製、掉電停車功能是多線切割行業所特殊的需求,貝加萊為此專門進行了大量的測試驗證,成熟的技術確保了拿來即用。

圖4-基本的張力控製模型

圖5-貝加萊張力控製的特點
duiyubeijialaidezhanglikongzhilaishuo,keyishixianniujuqiankui,zhequebaolezaijiajiansujieduanyekeyishixianwendingdezhanglikongzhi,bujinduiyuguangfujingangxian,duiyuqitacailiaodezhanglikongzhitongyangruci,yinwei,zhekeyidafujiangdikaijilangfei,tongchangzaishengchanzhongbeirenweishibirande。lingwaizhanglidezishiying、多組張力的解耦等,都是貝加萊張力控製領先的技術特性。
自動排線
由於金剛線經過主和從輥必須要排線,而輥子是加工輥、主/從cong輥gun的de排pai列lie使shi得de在zai整zheng個ge排pai線xian過guo程cheng中zhong,特te別bie是shi在zai加jia減jian速su過guo程cheng和he排pai線xian換huan向xiang過guo程cheng中zhong,其qi張zhang力li處chu於yu一yi種zhong變bian化hua的de狀zhuang態tai,因yin此ci,需xu要yao高gao精jing度du電dian子zi凸tu輪lun曲qu線xian輪lun廓kuo,高gao階jie曲qu線xian來lai實shi現xian更geng高gao的de精jing度du控kong製zhi,這zhe對dui於yu機ji器qi來lai說shuo,隻zhi有you如ru此ci,才cai能neng確que保bao排pai線xian精jing度du高gao,切qie片pian的de單dan片pian均jun方fang差cha最zui小xiao。
主輥控製
切qie割ge室shi主zhu輥gun,在zai繞rao線xian和he切qie割ge過guo程cheng時shi,可ke以yi在zai線xian實shi現xian電dian流liu環huan和he位wei置zhi環huan模mo式shi切qie換huan,電dian流liu同tong步bu可ke以yi保bao證zheng兩liang個ge主zhu輥gun出chu力li同tong步bu,有you效xiao的de保bao證zheng切qie割ge區qu內nei的de金jin剛gang線xian張zhang力li穩wen定ding,同tong時shi也ye能neng很hen好hao的de保bao證zheng切qie割ge線xian弓gong最zui小xiao,切qie割ge力li最zui大da,以yi獲huo得de更geng高gao的de切qie片pian質zhi量liang。
審計追蹤
mappAudit是貝加萊係統中的mapp功gong能neng組zu件jian,它ta為wei係xi統tong提ti供gong了le審shen計ji追zhui蹤zong能neng力li,從cong生sheng產chan的de可ke追zhui溯su性xing角jiao度du,生sheng產chan需xu要yao了le解jie誰shui在zai什shen麼me時shi間jian做zuo了le什shen麼me,並bing對dui其qi進jin行xing記ji錄lu,以yi不bu可ke篡cuan改gai的de形xing式shi保bao存cun數shu據ju,這zhe樣yang就jiu確que保bao質zhi量liang、工藝的可追溯性,以為生產工藝人員的質量調整與優化帶來數據依據。

圖6-審計追蹤原理
對dui於yu光guang伏fu晶jing片pian製zhi造zao商shang而er言yan,審shen計ji追zhui蹤zong是shi提ti升sheng其qi工gong藝yi質zhi量liang管guan控kong水shui平ping的de關guan鍵jian,係xi統tong具ju有you該gai項xiang功gong能neng,將jiang會hui使shi得de這zhe一yi實shi現xian變bian得de簡jian單dan,來lai自zi於yu在zai製zhi藥yao領ling域yu的demappAudit功能,貝加萊同樣將其可用於光伏晶片生產的追溯。

圖7-通過mapp模塊組合實現審計追蹤與數據應用
在審計追蹤的管理中,機器的各種參數以mappData模塊進行收集應用,並通過mappUser的用戶管理,以及mappAudit的審計追蹤模塊對其進行記錄,通過mappCom來實現軟件之間的連接。
掉電停車功能
duiyuguangfuqiepianeryan,turandiaodianqingkuangxiadetongbutingcheshifeichangbiyaode,fouze,duiyushengchandelangfeishijudade,chulejingangxianjingbangcailiaodesunshi,zaihuifujiqisuoxudechengbenyeshigaoangde,yinci,diaodiantingchegongnengduiyuguangfuqiepianshibixuanxiang。

圖8-基於ACOPOSmulti的掉電停車功能
采用ACOPOSmulti共直流母線驅動技術,當係統主軸在製動時產生的電流通過再生線圈回到直流母線,並經過DC/AC轉換,提供給其它軸的同步停車。
數據驅動的預測性維護技術
將矽棒切割成厚薄均勻、切qie壁bi光guang滑hua的de矽gui片pian,依yi賴lai於yu多duo線xian切qie割ge機ji的de穩wen定ding運yun行xing。但dan在zai實shi際ji的de生sheng產chan中zhong,難nan免mian會hui有you設she備bei出chu現xian故gu障zhang的de情qing況kuang。在zai切qie割ge狀zhuang態tai下xia,設she備bei的de突tu發fa故gu障zhang導dao致zhi的de突tu然ran停ting機ji,對dui於yu昂ang貴gui的de矽gui棒bang會hui造zao成cheng不bu可ke修xiu複fu的de損sun傷shang,導dao致zhi直zhi接jie報bao廢fei。這zhe樣yang的de突tu發fa停ting機ji帶dai來lai的de材cai料liao損sun失shi及ji停ting機ji檢jian修xiu的de停ting產chan損sun失shi等deng是shi巨ju大da的de。對dui於yu機ji器qi高gao速su運yun行xing而er言yan,其qi主zhu輥gun和he線xian輥gun的de軸zhou承cheng承cheng受shou較jiao大da的de考kao驗yan,並bing且qie也ye是shi對dui機ji器qi影ying響xiang最zui大da的de關guan鍵jian部bu件jian,因yin此ci,如ru何he能neng夠gou在zai故gu障zhang發fa生sheng之zhi前qian就jiu對dui其qi健jian康kang狀zhuang態tai進jin行xing預yu警jing,使shi得de工gong程cheng師shi們men能neng夠gou在zai工gong作zuo間jian隙xi對dui設she備bei進jin行xing及ji時shi的de幹gan預yu、維修,就成為了避免經濟損失、保障生產的關鍵。

圖9-基於聚類分析的預測性維護
如圖9所suo示shi,基ji於yu多duo年nian積ji累lei的de行xing業ye專zhuan家jia知zhi識shi,首shou先xian對dui多duo台tai設she備bei的de數shu據ju進jin行xing恰qia當dang的de特te征zheng提ti取qu,以yi提ti煉lian出chu數shu據ju中zhong與yu設she備bei健jian康kang狀zhuang況kuang最zui相xiang關guan的de信xin息xi。之zhi後hou,使shi用yong人ren工gong智zhi能neng算suan法fa對dui數shu據ju進jin行xing自zi動dong聚ju類lei,使shi得de特te征zheng相xiang似si的de數shu據ju聚ju成cheng一yi簇cu,而er不bu相xiang似si的de數shu據ju聚ju類lei成cheng不bu同tong的de簇cu。可ke以yi很hen自zi然ran的de推tui斷duan,在zai多duo台tai相xiang似si類lei型xing的de設she備bei中zhong,大da部bu分fen設she備bei是shi健jian康kang的de,數shu據ju特te征zheng是shi類lei似si的de。所suo以yi,聚ju類lei結jie果guo中zhong有you著zhe大da量liang樣yang本ben點dian的de簇cu可ke以yi視shi為wei健jian康kang簇cu。而er那na些xie遊you離li於yu健jian康kang簇cu之zhi外wai的de樣yang本ben、少量點組成的小簇,則指征著設備的異常工作狀態