日本Covalent Materials展出直徑460mm單晶矽矽錠
http://www.kadhoai.com.cn 2026-04-10 01:42:12
日本Covalent Materials(原東芝陶瓷)在2007年11月15~16日於東京都內舉行的該公司的技術展上展出了直徑460mm的單晶矽矽錠。除用作300mm晶圓裝置的內部部件外,將來還考慮用於450mm晶圓。
此次展出的矽錠將用作300mm刻蝕裝置的上部電極使用的簇射極板(Shower Plate)以及設置在晶圓載物台上的環狀調焦環(Focus Ring)等部材。上述產品該公司均已投產,部件直徑達400mm。利用上述材料培育起來的大口徑矽錠的生長技術是實現450mm晶圓的重要基礎技術。
今後要實現450mm晶jing圓yuan,還hai需xu要yao進jin一yi步bu減jian少shao矽gui錠ding內nei的de雜za質zhi以yi及ji結jie晶jing缺que陷xian。該gai公gong司si計ji劃hua利li用yong各ge種zhong模mo擬ni技ji術shu來lai優you化hua結jie晶jing生sheng長chang條tiao件jian以yi及ji晶jing圓yuan的de加jia工gong研yan磨mo條tiao件jian。半ban導dao體ti業ye界jie計ji劃hua2012~2014年在量產線上使用450mm晶圓,該公司也將為實現這一目標繼續推進開發。