如何發展中國半導體設備業的討論一直是近年業界的熱點之一，完全自主技術是值得自豪的，與外資、外來技術合作的“借殼孵蛋”的方式也不失為一個良策。在日前召開的“北京微電子國際研討會”半導體裝備及零部件專場研討中，如何看待本土化（Localization）和全球化（Globalization）成為大家關注的話題。

　　半導體產業鏈是一個高度國際化的合作過程
，東電電子（上海）有限公司（TEL）總裁陳捷以東電的經驗談到了日本半導體裝備業的成功之路。他介紹說
，上世紀70年代末至80年nian代dai，日ri本ben本ben土tu的de半ban導dao體ti產chan業ye開kai始shi迅xun速su走zou上shang世shi界jie舞wu台tai
，政zheng策ce的de扶fu持chi和he本ben土tu製zhi造zao廠chang對dui國guo產chan設she備bei的de支zhi持chi
，使shi得de日ri本ben半ban導dao體ti設she備bei商shang借jie此ci機ji會hui快kuai速su發fa展zhan起qi來lai。TEL的(de)成(cheng)功(gong)一(yi)方(fang)麵(mian)得(de)益(yi)於(yu)技(ji)術(shu)的(de)研(yan)發(fa)創(chuang)新(xin)，另(ling)一(yi)方(fang)麵(mian)也(ye)來(lai)自(zi)全(quan)球(qiu)半(ban)導(dao)體(ti)的(de)平(ping)穩(wen)環(huan)境(jing)。如(ru)今(jin)，對(dui)於(yu)中(zhong)國(guo)市(shi)場(chang)，產(chan)業(ye)處(chu)於(yu)高(gao)速(su)發(fa)展(zhan)階(jie)段(duan)
，技(ji)術(shu)又(you)將(jiang)達(da)到(dao)摩(mo)爾(er)極(ji)限(xian)，本(ben)土(tu)廠(chang)商(shang)此(ci)時(shi)進(jin)入(ru)設(she)備(bei)材(cai)料(liao)領(ling)域(yu)，將(jiang)麵(mian)臨(lin)諸(zhu)多(duo)競(jing)爭(zheng)和(he)挑(tiao)戰(zhan)。半(ban)導(dao)體(ti)業(ye)大(da)者(zhe)恒(heng)強(qiang)的(de)局(ju)麵(mian)很(hen)難(nan)改(gai)變(bian)，而(er)晶(jing)圓(yuan)廠(chang)從(cong)8寸轉入12寸，產能迅速提高導致設備需求下降，同時8寸折舊設備的釋放也加大了新設備進入的難度。

　　由於技術的管製、guanjiangongyishebeidejiagebiandegengjiagaoanghebentushichangdejudashangji，zhongguoxuyaofazhanzijideshebeichanye，laiwanshanbentubandaotichanyelian。chenjiezhichu
，bentushebeixuyaoyoukaifangdexionghuaiqujienaguowaixianjinshebeishang，guochanhuabushixiayide，bentuhuabudengyu100%的(de)中(zhong)國(guo)製(zhi)造(zao)和(he)技(ji)術(shu)開(kai)發(fa)
，能(neng)夠(gou)自(zi)主(zhu)創(chuang)新(xin)是(shi)很(hen)好(hao)的(de)
，而(er)對(dui)於(yu)先(xian)進(jin)技(ji)術(shu)的(de)吸(xi)收(shou)和(he)借(jie)鑒(jian)也(ye)很(hen)重(zhong)要(yao)。他(ta)認(ren)為(wei)，本(ben)土(tu)廠(chang)商(shang)可(ke)以(yi)通(tong)過(guo)與(yu)國(guo)外(wai)領(ling)先(xian)公(gong)司(si)合(he)資(zi)的(de)渠(qu)道(dao)獲(huo)得(de)技(ji)術(shu)與(yu)品(pin)牌(pai)效(xiao)應(ying)，從(cong)而(er)快(kuai)速(su)提(ti)升(sheng)競(jing)爭(zheng)力(li)，以(yi)確(que)保(bao)在(zai)進(jin)入(ru)設(she)備(bei)業(ye)的(de)初(chu)期(qi)就(jiu)可(ke)以(yi)達(da)到(dao)一(yi)定(ding)的(de)成(cheng)功(gong)，而(er)關(guan)鍵(jian)的(de)零(ling)組(zu)件(jian)將(jiang)會(hui)是(shi)比(bi)較(jiao)好(hao)的(de)切(qie)入(ru)點(dian)；或者在行業低穀之時，收購一些技術Know-how和自主IP的國外公司，轉到中國製造，從而躍上技術高點；或者走單機台多用途的mini-line等道路
，避開與其他品牌競爭。同時，他指出
，“18號文件”的出台已經使IC和FPD產業從中獲利，政府需要製定更穩固和連貫的政策，扶持本土業者
，IP保護也將是一個重點。陳捷認為
，“yiquanqiuhuadeguannianquxishouhexuexilingxiandiquheguojiadebandaotichenggongjingyanhejishu，xiyingengduoquanqiudexingyelingxianzhezhigenyuzhongguobandaotiye，shizhizhizaoheyanfanenglizhuanyizhizhongguo，jiaqiangjishuhudonghehezuo
，bentuhuahequanqiuhuayinggaihenhaodironghe。”[page_break]

　　低成本和市場驅動全球IC製造業向中國轉移，同時帶動了裝備產業和技術的轉移
，目前國內主流IC裝zhuang備bei領ling域yu的de能neng力li大da為wei增zeng強qiang，建jian立li了le配pei套tao的de高gao水shui平ping研yan發fa平ping台tai和he團tuan隊dui。中zhong國guo科ke學xue院yuan微wei電dian子zi研yan究jiu所suo所suo長chang葉ye甜tian春chun指zhi出chu，從cong自zi主zhu創chuang新xin能neng力li的de角jiao度du看kan
，核he心xin技ji術shu和he關guan鍵jian部bu件jian是shi創chuang新xin體ti係xi的de基ji礎chu
，目mu前qian國guo內nei有you不bu少shao海hai外wai團tuan隊dui創chuang業ye企qi業ye，他ta們men的de核he心xin團tuan隊dui來lai自zi專zhuan業ye公gong司si，掌zhang握wo最zui新xin技ji術shu與yu理li念nian
，具ju有you很hen強qiang的de行xing業ye背bei景jing和he產chan品pin經jing驗yan

，這zhe些xie公gong司si成cheng為wei了le中zhong國guo本ben土tu裝zhuang備bei業ye的de萌meng芽ya之zhi一yi，也ye為wei國guo內nei企qi業ye的de發fa展zhan提ti供gong了le很hen好hao的de借jie鑒jian模mo式shi。這zhe種zhong模mo式shi在zai國guo內nei半ban導dao體ti設she備bei業ye中zhong比bi較jiao盛sheng行xing，並bing且qie取qu得de了le不bu少shao突tu破po性xing進jin展zhan，同tong時shi設she備bei工gong藝yi也ye延yan伸shen到dao了le芯xin片pian製zhi造zao的de一yi些xie核he心xin製zhi程cheng中zhong，例li如ru離li子zi注zhu入ru
、CVD甚至光刻機。他說道
，“海外團隊、國企改造
、一流的平台和產業運作的結合，是一個迅速提高國內企業水平
、層次和實力的快捷有效途徑，如何利用全球化的資源實現本土化的製造是一個很有意義的課題。”

　　作為本土供應商代表
，中微半導體設備公司材料運營總監VicMeksavan認為，“本土化”就是設備和零部件的製造在中國完成，而這隻是本土化的第一步

；完(wan)成(cheng)中(zhong)國(guo)製(zhi)造(zao)更(geng)需(xu)要(yao)優(you)良(liang)的(de)品(pin)質(zhi)和(he)過(guo)硬(ying)的(de)技(ji)術(shu)
，其(qi)中(zhong)本(ben)土(tu)零(ling)部(bu)件(jian)產(chan)業(ye)的(de)發(fa)展(zhan)具(ju)有(you)深(shen)遠(yuan)的(de)意(yi)義(yi)。回(hui)顧(gu)中(zhong)國(guo)台(tai)灣(wan)地(di)區(qu)半(ban)導(dao)體(ti)設(she)備(bei)業(ye)的(de)發(fa)展(zhan)，就(jiu)是(shi)在(zai)研(yan)發(fa)先(xian)進(jin)工(gong)藝(yi)設(she)備(bei)的(de)同(tong)時(shi)抓(zhua)住(zhu)基(ji)礎(chu)的(de)零(ling)部(bu)件(jian)產(chan)業(ye)。半(ban)導(dao)體(ti)供(gong)應(ying)鏈(lian)是(shi)一(yi)個(ge)全(quan)球(qiu)性(xing)的(de)供(gong)應(ying)鏈(lian)

，設(she)備(bei)公(gong)司(si)必(bi)須(xu)從(cong)國(guo)內(nei)外(wai)第(di)一(yi)流(liu)的(de)供(gong)應(ying)商(shang)采(cai)購(gou)最(zui)高(gao)質(zhi)量(liang)的(de)零(ling)部(bu)件(jian)來(lai)保(bao)證(zheng)產(chan)品(pin)性(xing)能(neng)。Vic指(zhi)出(chu)，產(chan)品(pin)質(zhi)量(liang)和(he)穩(wen)定(ding)性(xing)成(cheng)為(wei)零(ling)部(bu)件(jian)本(ben)土(tu)化(hua)的(de)關(guan)鍵(jian)
，中(zhong)國(guo)特(te)別(bie)是(shi)長(chang)三(san)角(jiao)地(di)區(qu)有(you)開(kai)發(fa)高(gao)質(zhi)量(liang)供(gong)應(ying)商(shang)的(de)充(chong)分(fen)條(tiao)件(jian)，中(zhong)微(wei)在(zai)國(guo)內(nei)采(cai)購(gou)的(de)高(gao)質(zhi)量(liang)零(ling)部(bu)件(jian)的(de)比(bi)例(li)也(ye)在(zai)不(bu)斷(duan)增(zeng)長(chang)中(zhong)。他(ta)表(biao)示(shi)，任(ren)何(he)國(guo)家(jia)都(dou)不(bu)可(ke)能(neng)實(shi)現(xian)100%的純本土化製造，加強業界協作將有利於提高效率和獲益能力。

　　目mu前qian可ke以yi看kan到dao，本ben土tu設she備bei商shang在zai技ji術shu上shang已yi經jing達da到dao一yi定ding水shui平ping，但dan是shi如ru何he把ba技ji術shu轉zhuan化hua為wei市shi場chang，進jin而er形xing成cheng像xiang領ling先xian國guo家jia那na樣yang的de集ji團tuan優you勢shi，還hai是shi值zhi得de探tan討tao的de問wen題ti。主zhu流liu的de半ban導dao體ti製zhi造zao線xian較jiao難nan看kan到dao本ben土tu設she備bei商shang的de身shen影ying，如ru何he讓rang他ta們men認ren同tong並bing接jie納na，我wo們men還hai有you很hen長chang的de路lu要yao走zou。