國內首台具有世界領先水平、擁有完全自主知識產權的直寫式光刻機昨日在合肥麵世，標誌著我國亞微米級光刻機完全依賴進口的局麵將被打破。 

科研人員展示一張刻有電子芯片電路圖的成品晶元

科研人員通過投影儀介紹國內首台自主知識產權光刻機

科研人員操作國內首台自主知識產權光刻機

　  guangkejishishengchandianzixinpiandezuiguanjianshebeizhiyi，dianzixinpianneidedianlutuandoushiyouguangkejichanshengde。zhongguoshiquanqiujichengdianludezuidaxiaohaoguo，jutongjisuoyongjichengdianluzhanquanqiude24%以上，但是國產集成電路國內市場自給率卻少於10%，因此
，光刻機被國家“十一五”發fa展zhan規gui劃hua明ming確que定ding義yi為wei重zhong點dian製zhi造zao裝zhuang備bei。據ju了le解jie，合he肥fei生sheng產chan的de直zhi寫xie式shi光guang刻ke機ji分fen辨bian率lv達da到dao亞ya微wei米mi級ji

，與yu目mu前qian國guo際ji上shang同tong類lei產chan品pin相xiang比bi，已yi經jing達da到dao了le世shi界jie領ling先xian水shui平ping,可應用於半導體行業
、生物、醫藥、光電
、太陽能電池、新能源及薄膜電路等不同領域。開發該產品的芯碩半導體(中國)有限公司將進行大規模生產，一期工程將於明年9月份正式完工。