guangfuchanyehangailetaiyangguangnengzhuanhuaweidiannengdeyixilieguocheng，erzhuangbeishiguanchuanzhenggechanyeliandejichu，guangfuchanyeliandemeiyigehuanjiedoulibukaixiangyingdeshengchanshebei。muqian
，woguoguangfuzhuangbeichanyeyijuyouyidingdeguimoheshuiping，keweichanyedefazhantigongqiangyoulidezhicheng。隨著國家對新型可再生能源發展的重視
，作為產業基礎支撐和中國光伏產業競爭利器之一的光伏裝備將隨著產業的發展而不斷發展壯大。

　　國產設備可部分替代進口

　　正如微電子產業的核心是集成電路製造，太陽能光伏產業鏈除前道的矽材料提純、矽片加工和後道的組件及應用係統生產外
，最核心關鍵的環節為太陽能電池製造，它的具體工序包括：清洗、製絨—擴散—刻蝕—減反射膜製備—電極印刷—低溫烘幹—高溫燒結—自動測試分檢等。

　　依yi靠kao我wo國guo半ban導dao體ti設she備bei行xing業ye數shu十shi年nian來lai的de技ji術shu積ji累lei

，通tong過guo和he一yi流liu光guang伏fu電dian池chi企qi業ye的de深shen度du合he作zuo，經jing過guo連lian續xu多duo年nian的de不bu懈xie努nu力li，我wo國guo光guang伏fu設she備bei企qi業ye目mu前qian已yi基ji本ben具ju備bei太tai陽yang能neng電dian池chi製zhi造zao設she備bei的de整zheng線xian裝zhuang備bei能neng力li。在zai目mu前qian國guo產chan設she備bei及ji進jin口kou設she備bei混hun搭da的de主zhu流liu建jian線xian方fang案an中zhong，國guo產chan設she備bei在zai數shu量liang上shang已yi占zhan多duo數shu，但dan價jia值zhi上shang則ze不bu及ji價jia格ge昂ang貴gui的de進jin口kou設she備bei。國guo內nei目mu前qian的de生sheng產chan線xian絕jue大da多duo數shu為wei125mm×125mm單晶電池生產線，隻有少數大廠如無錫尚德等具備156mm×156mm多晶電池的批量生產技術及能力。

　　目前國內廠商可提供10種太陽能電池大生產線設備中的8種
，其中有6種(擴散爐、等離子刻蝕機、清洗/製絨機
、石英管清洗機

、低溫烘幹爐)已在國內生產線占據主導地位

，2種(管式PECVD、快速燒結爐)和進口設備並存但份額在逐步增大。而全自動絲網印刷機、自動分檢機
、平板式PECVD等3種設備在近期內尚需完全依賴進口，但相應國產裝備推出的日子已為期不遠。國產設備中的部分產品如擴散爐
、等離子刻蝕機等不僅廣受國內客戶的認可，也以優良的性能價格比和良好的可靠性受到國外客商的青睞，開始少量出口供貨。

　　關鍵的6種電池製造工藝設備中，國產設備的技術水平如下：

　　擴散爐、等離子刻蝕機、清洗/製絨設備：達(da)到(dao)或(huo)接(jie)近(jin)國(guo)際(ji)先(xian)進(jin)水(shui)平(ping)，性(xing)價(jia)比(bi)優(you)勢(shi)十(shi)分(fen)明(ming)顯(xian)，占(zhan)據(ju)了(le)國(guo)內(nei)大(da)部(bu)分(fen)市(shi)場(chang)。用(yong)於(yu)多(duo)晶(jing)電(dian)池(chi)絨(rong)麵(mian)製(zhi)作(zuo)的(de)製(zhi)絨(rong)機(ji)與(yu)進(jin)口(kou)產(chan)品(pin)有(you)一(yi)定(ding)差(cha)距(ju)，尚(shang)沒(mei)有(you)用(yong)於(yu)周(zhou)邊(bian)刻(ke)蝕(shi)的(de)激(ji)光(guang)刻(ke)阻(zu)機(ji)及(ji)濕(shi)法(fa)化(hua)學(xue)刻(ke)蝕(shi)設(she)備(bei)。

　　PECVD：管式PECVD設備因其產能問題的解決和更好的成膜質量已呈現與平板型PECVD分(fen)庭(ting)抗(kang)禮(li)之(zhi)勢(shi)，開(kai)始(shi)批(pi)量(liang)進(jin)入(ru)大(da)生(sheng)產(chan)線(xian)
，國(guo)產(chan)設(she)備(bei)近(jin)期(qi)在(zai)工(gong)藝(yi)應(ying)用(yong)上(shang)又(you)取(qu)得(de)了(le)新(xin)的(de)進(jin)展(zhan)，整(zheng)體(ti)工(gong)藝(yi)效(xiao)果(guo)直(zhi)逼(bi)國(guo)際(ji)著(zhu)名(ming)廠(chang)家(jia)產(chan)品(pin)
，受(shou)到(dao)越(yue)來(lai)越(yue)多(duo)的(de)客(ke)戶(hu)歡(huan)迎(ying)，份(fen)額(e)正(zheng)進(jin)一(yi)步(bu)擴(kuo)大(da)
，成(cheng)為(wei)產(chan)業(ye)應(ying)用(yong)的(de)主(zhu)流(liu)設(she)備(bei)指(zhi)日(ri)可(ke)待(dai)，國(guo)產(chan)平(ping)板(ban)型(xing)PECVD設備的研製也正在緊鑼密鼓地進行。

　　高溫燒結爐：與國際水平有一定差距，但差距不大
，近來也取得了可喜的進步，部分高端產品開始在大線使用
，應用效果良好。

　　絲網印刷機：quanzidongduoyinshuatouchanpinzhengzaiyanfazhong
，guanjianjishuyiqudetupo
，zhengjijinrushichangqiebeiyonghujieshoushangxuyiduanshijian，shoudonghebanzidongchanpinwufajinruzhuliudashengchanxian。[page_break]

　　國產設備已得到業界認可

　　guochantaiyangnengguangfushebeitongguodianchishengchanchangjiadedinglixiangzhujizaidashengchanxianshangdedaliangyingyong，zaiguoneiyonghuzhongyijianliqilianghaodexinyu，dedaoyejiedeguangfanrenke，yuelaiyueduodekehucongjiageshizhong、性能良好
、技術不斷進步的國產設備中受益。同國外企業動輒超過千萬歐元的建線(25MW標準線)投資相比
，國內企業每條線的投資隻有3000萬-5000萬元人民幣，無疑在終端產品的競爭中已占據了先天的成本優勢。否則中國光伏企業95%市場在國外、90%以yi上shang的de高gao純chun矽gui材cai料liao又you必bi須xu從cong國guo外wai高gao價jia進jin口kou這zhe樣yang兩liang頭tou在zai外wai的de產chan業ye特te征zheng，很hen難nan想xiang象xiang國guo內nei企qi業ye能neng以yi比bi國guo外wai同tong類lei企qi業ye高gao得de多duo的de矽gui材cai料liao采cai購gou成cheng本ben去qu直zhi接jie參can與yu國guo際ji市shi場chang競jing爭zheng，因yin為wei在zai大da多duo數shu國guo內nei企qi業ye中zhong矽gui材cai料liao的de成cheng本ben占zhan到dao了le太tai陽yang能neng電dian池chi總zong生sheng產chan成cheng本ben的de80%以上！

　　自2002年(nian)開(kai)始(shi)，隨(sui)著(zhe)無(wu)錫(xi)尚(shang)德(de)太(tai)陽(yang)能(neng)電(dian)力(li)公(gong)司(si)的(de)成(cheng)立(li)和(he)後(hou)續(xu)幾(ji)年(nian)的(de)超(chao)常(chang)規(gui)發(fa)展(zhan)，中(zhong)國(guo)太(tai)陽(yang)能(neng)光(guang)伏(fu)企(qi)業(ye)如(ru)雨(yu)後(hou)春(chun)筍(sun)般(ban)湧(yong)現(xian)，且(qie)規(gui)模(mo)不(bu)斷(duan)擴(kuo)大(da)
，產(chan)業(ye)開(kai)始(shi)逐(zhu)漸(jian)形(xing)成(cheng)並(bing)發(fa)展(zhan)壯(zhuang)大(da)，截(jie)至(zhi)目(mu)前(qian)，僅(jin)生(sheng)產(chan)電(dian)池(chi)的(de)企(qi)業(ye)就(jiu)超(chao)過(guo)了(le)60家，為相關設備企業提供了難得的市場機遇。

　　通tong過guo和he一yi流liu電dian池chi企qi業ye合he作zuo並bing融rong合he了le先xian進jin的de工gong藝yi技ji術shu，曆li經jing多duo次ci技ji術shu換huan代dai及ji升sheng級ji

，國guo產chan的de太tai陽yang能neng電dian池chi關guan鍵jian設she備bei相xiang繼ji在zai國guo內nei大da生sheng產chan線xian上shang得de到dao應ying用yong且qie逐zhu漸jian成cheng為wei主zhu流liu選xuan擇ze
，使shi我wo國guo基ji本ben具ju備bei了le晶jing體ti矽gui太tai陽yang能neng電dian池chi製zhi造zao設she備bei的de整zheng線xian供gong給gei能neng力li，受shou此ci拉la動dong，我wo國guo電dian子zi專zhuan用yong設she備bei行xing業ye也ye呈cheng現xian出chu多duo年nian未wei有you的de蓬peng勃bo發fa展zhan景jing象xiang。骨gu幹gan企qi業ye如ru中zhong國guo電dian子zi科ke技ji集ji團tuan第di四si十shi八ba研yan究jiu所suo等deng
，光guang伏fu裝zhuang備bei的de訂ding貨huo量liang已yi連lian續xu四si年nian翻fan番fan，在zai引yin領ling國guo產chan電dian池chi製zhi造zao設she備bei技ji術shu及ji市shi場chang的de同tong時shi
，矽gui材cai料liao加jia工gong設she備bei如ru多duo晶jing矽gui鑄zhu錠ding爐lu、單晶爐、坩堝烘烤爐等也受到了市場的積極追捧。

　　高效、環保是設備發展趨勢

　　taiyangnengdianchizhizaoshebeifazhandedonglilaiyuanyuguangfuqiyeduidianchizhuanhuanxiaolvchixutigaohezhizaochengbenbuduanjiangdideyaoqiu。qifazhandemubiao，zongdelaijiang，yishibuduanwuhuaxindedianchizhizaogongyijishu


，congertigaodantidianchideguangdianzhuanhuanxiaolvhechanpindeneizaizhiliang
；二是提高自動化水平和單機生產效率
，使整線生產效率進一步提高，降低生產成本；三是降低化學消耗品用量、節能節水、減少廢氣廢液排放，更環保更清潔更經濟。

　　太(tai)陽(yang)能(neng)電(dian)池(chi)技(ji)術(shu)的(de)發(fa)展(zhan)始(shi)終(zhong)引(yin)領(ling)著(zhe)相(xiang)應(ying)裝(zhuang)備(bei)技(ji)術(shu)的(de)發(fa)展(zhan)，目(mu)前(qian)國(guo)際(ji)上(shang)太(tai)陽(yang)能(neng)電(dian)池(chi)的(de)技(ji)術(shu)及(ji)大(da)生(sheng)產(chan)工(gong)藝(yi)已(yi)相(xiang)當(dang)成(cheng)熟(shu)，實(shi)驗(yan)室(shi)水(shui)平(ping)的(de)最(zui)高(gao)光(guang)電(dian)轉(zhuan)換(huan)效(xiao)率(lv)單(dan)晶(jing)已(yi)達(da)到(dao)24.7%，多晶為20.3%。而生產線技術水平為單晶16%～17.5%

、多晶14%～16.5%，且多晶矽太陽電池和單晶矽太陽電池技術並行發展。

　　在提高整線及單機自動化水平，進而減少人工幹預
、提高生產效率方麵，歐洲和日本已有多條全封閉、全自動生產線運行，每線隻需不到十名操作人員
，較現有的常規生產線節省人力90%以上，生產效率提高20%左右。設備間的自動化傳遞，降低了人工接觸汙染，使得產品質量也得以穩定和提高
，目前大規模生產已實現17%～18%的轉換效率
，盡管由於高昂的設備投資和對矽片規格尺寸較苛刻的要求而暫時無法廣泛推廣，但技術方向應充分肯定。

　　為提高單機的生產量，歐洲某廠商推出的單機50MW的大生產設備如平板型PECVD也已進入市場。

　　在環保技術應用方麵，環保工藝的進步及在設備上的物化，如環保清洗技術、潔淨擴散技術等
，大大減少了化學消耗品的使用量和中間生成汙染物排放量，也降低了有害反應物的產生
，加上更為完善的廢氣、廢液收集處理裝置，對環境的汙染進一步降低。（王俊朝）