1磁傳感器及其發展

　　磁傳感器，就是把磁場
、電流
、應力應變、溫度、光guang等deng引yin起qi敏min感gan元yuan件jian磁ci性xing能neng的de變bian化hua轉zhuan換huan成cheng電dian信xin號hao，以yi這zhe種zhong方fang式shi來lai檢jian測ce相xiang應ying物wu理li量liang的de器qi件jian。其qi實shi出chu特te點dian是shi可ke以yi非fei接jie觸chu測ce量liang
，檢jian測ce信xin號hao幾ji乎hu不bu受shou被bei測ce物wu的de影ying響xiang，耐nai汙wu染ran
、噪聲強
，即使在很惡劣的環境條件下也能夠可靠地工作，堅固耐用，壽命長。正因為如此

，從國防、航空航天到國民經濟各個部門，從醫療衛生到人類日常生活的諸多方麵，都用到了這種傳感器。

　　cichuanganqiyiliyongcitiedezhinanxingzuozhinanzhenhanghaiweikaiduan。qihou，zuoweiganzhicichanghecitongdeyuanqijian，xiangjikaifachutancexianquan
，citongmenciqiangji
，bandaotihuoeryuanjianhecidianzuyuanjian，tiecibomogexiangyixingcidianzu（AMR）元yuan器qi件jian，還hai有you使shi用yong塊kuai狀zhuang鐵tie氧yang體ti磁ci芯xin的de應ying力li傳chuan感gan器qi，使shi用yong熱re敏min鐵tie氧yang體ti磁ci芯xin的de溫wen度du傳chuan感gan器qi
，利li用yong亞ya鐵tie磁ci石shi榴liu石shi磁ci光guang效xiao應ying的de光guang纖xian電dian流liu傳chuan感gan器qi
，高gao靈ling敏min度du超chao導dao量liang子zi幹gan涉she器qi件jian（SQUID），等等。總之，磁傳感器的種類甚多，更新換代頻繁。

　　磁傳感器通常都是組裝在機器、設備內部來使用的。現代整機正迅速向小型輕便
、多功能
、智能化方向發展

，要求所用傳感器即使對微小空間內物理量的變化也能夠高靈敏度
、高速度地做出響應。即在傳感器本身需要小型輕量化的同時
，還迫切希望提高其工作速度、檢測分辨率和靈敏度。

　　半導體大規模集成電路製造技術、微電子機械係統（MEMS）製造技術
、微組裝技術的推廣應用，磁性薄膜、非晶
、多層膜、納米磁性絲等新材料和平麵線圈微磁器件製造工藝及表征手段的不斷進步
，為磁傳感器的小型化、微型化奠定了可靠的基礎，應用各種新效應的許多新型高性能

、小型化及微型化磁傳感器正不斷投放市場。早期上市的AMR薄膜敏感元件和傳感器
，新近推出的GMI傳感器
、SI傳感器、SV-GMR傳感器，和即將實用化的薄膜磁通門磁強計、無線磁彈微型傳感器陣列，就是其中的典型代表。下麵
，簡單介紹幾種微型磁傳感器的工作原理
、基本結構及主要技術性能。

　　2新式微型磁傳感器

　　2.1高靈敏度GMI和SI微型磁傳感器

　　GMI磁傳感器由低磁致伸縮材料和CMOS集成電路構成
，利用磁性材料的巨磁阻抗（GMI）效應工作。所謂GMI效應

，就是給低磁致伸縮非晶絲或者圖形化薄膜元件加上高頻（>10kHz）電流時，受外部磁場的作用，敏感元件的磁導率和趨膚效應就隨磁場變化，結果，電感和電阻即阻抗發生急劇變化的現象。1992年
，名古屋大學教授毛利佳年雄等人最先報導了這一新效應[1]。他們在研究中發現，用快淬富鈷非晶絲，經過適當處理後
，其阻抗變化率（△Z/Z）可達100～300%。近來，V•Zhukova等人報告

，用成分為Co67Fe3.85Ni1.45B11.5Si14.5Mo1.7的非晶細絲，在最佳條件（金屬核直徑/絲總直徑ρ=0.98，在頻率f=10MHz
，通過電流I=0.75mA）下，由磁場感生的（△Z/Z）max≈615%。[2]另據日本東北大學教授荒井賢一報告，將銅導體（厚3μm,寬0.5mm）夾在非晶磁膜（Co73Si12B15合金：厚2μm，寬2mm
，長10mm）中間，並在其間加上SiO2絕緣層，在元件長度方向施加直流外磁場和通過10MHz載波電流時
，也可以得到大約600%的阻抗變化率和0.8%（A/m）的電壓變化量。

　　GMI磁傳感器實用化的關鍵，一是選擇合適的磁性材料，二是針對具體應用采用恰當的電路係統。目前
，日本Unitika股份有限公司已能夠批量供應這種傳感器用的絲材，它是把非晶合金CoFeSiB（λs=-10-7）冷拉成15～30μm直徑
，以後進行張力退火，在其表層感生出精確的圓周各向異性。也有將Co85Nb12Zr磁膜加工成長條形作傳感器和用Co73Si12B15非晶磁膜與銅導體
、SiO2絕緣層構成多層結構，做成外鐵閉合磁路型傳感器的。1997年

，T•Kanno等人摸索到利用脈衝電流響應磁阻抗效應的CMOSFET傳感器電路；高分辨率線性傳感器在傳感器電子線路中用負反饋回路，對高穩定開關型傳感器則采用正反饋回路。日本愛知製鋼公司於2001年用直徑30μm長2mmCoFeSiB非晶絲開發出可高密度製造的CMOS型磁阻抗傳感器集成電路芯片，2002年又用φ20μm長1μmCoFeSiB非晶絲微機加工成CMOS型磁阻抗傳感器集成電路芯片。證明可向市場提供低成本大批量的GMI微型磁傳感器產品。這種產品的主要性能指標列於表1，並向其他常用高性能磁傳感器產品進行了比較。[page_break]

　　2.2SV-GMR傳感器及其陳列

　　巨磁電阻（GMR）效應，最初是用厚度為數個原子層（數nm）的Fe/Cr多層膜
，在4.2K加上1.6×107A/m磁場時發現的，[7]其電阻值的變化（△R/Ro,△R=R11-R1）高達46%

，而且有AMR效應的單層金屬膜最大才4～6%。1991年Parkin等人用Co/Cu多層膜，在室溫下加磁場，使其電阻的變化達到了65%。但是，這種電阻變化所需的磁場太高
，難以實用化。後來
，改由易磁化自由磁性層（NiFe等）/銅間隔層/難磁化釘紮層（如Co）/反鐵磁交換耦合層（FeMn等）組成的所謂SV-GMR結構元件，和CMOS集成電路結合，在高密度HDD機中首先被實際用作讀出磁頭，接著又開發出實用型高靈敏度磁場傳感器。現正在進行使用多個SV-GMR元件的微型磁傳感器陣列開發。

　　2.3薄膜磁通門磁強計

　　傳統的磁通門磁強計，普遍用來測量1nT～1mT的弱磁場，分辨率可達到0.1nT。它們在航天飛行器姿態控製
，探礦、考古
、空間磁場探測和深潛探雷等軍事活動中得到廣泛的應用。

　　這(zhe)種(zhong)傳(chuan)統(tong)器(qi)件(jian)常(chang)用(yong)兩(liang)個(ge)數(shu)厘(li)米(mi)大(da)的(de)磁(ci)棒(bang)成(cheng)磁(ci)環(huan)和(he)多(duo)匝(za)線(xian)圈(quan)構(gou)成(cheng)。因(yin)而(er)，很(hen)難(nan)小(xiao)型(xing)化(hua)。此(ci)外(wai)，在(zai)使(shi)用(yong)過(guo)程(cheng)中(zhong)用(yong)手(shou)調(tiao)節(jie)，需(xu)單(dan)獨(du)校(xiao)準(zhun)，給(gei)操(cao)作(zuo)帶(dai)來(lai)不(bu)便(bian)，成(cheng)本(ben)也(ye)高(gao)。為(wei)此(ci)，正(zheng)在(zai)積(ji)極(ji)開(kai)發(fa)磁(ci)性(xing)薄(bo)膜(mo)微(wei)型(xing)磁(ci)通(tong)門(men)器(qi)件(jian)。

　　微型磁通門磁強計，係采用微電子技術
，即用磁性薄膜、微機加工或標準平麵工藝製成的勵磁線圈與檢測線圈製成。P•Ripka等人在矽基片上電鍍上、下兩層4μm的坡莫合金作磁芯
，用3μm厚鋁加工成的2個金屬層被夾在坡莫合金層之間。用光刻工藝，使鋁形成一個扁平勵磁線圈和2個反串聯的檢測線圈；將坡莫合金膜光刻成4根長0.7mm長條，對稱地放置在線圈兩邊

，由它們組成勵磁的兩通道閉合磁路。整個器件類似一個雙磁通門傳感器，芯片尺寸隻有2.5×4mm2。經檢驗
，用脈衝勵磁的噪聲是20nTrms，磁滯在1mT以內
，6mT磁場衝擊引起的打火低於5μT。

　　3應用及市場

　　新型磁傳感器的開發和應用，已創造了巨大的經濟、技術和社會效益
，加速了工業自動化、管理集約化、辦公自動化和家庭生活現代化的實現
，加快了工業化社會向信息化社會轉變的步伐。在傳統產業改造、資源探查及綜合利用
、環境保護、生物工程、交通智能化管製等各個方麵，它們將發揮愈來愈重要的作用。

　　3.1在傳統產業改造中的應用及市場

　　據網上報道

，1995年僅工業過程控製傳感器的全球市場已達到260億美元；2001年計算機HDD用SV-GMR磁頭的市場超過了4000億日元（約合34億美元）。雖然有很多種電子傳感器
，例如電容式傳感器
、shengbiaomianbochuanganqidengkeweizhexieyingyongtigonglianghaodexingneng，danshizhexiepingtai
，zaichuanganqiheshujuchulidianziqijianzhijianyaoyongyouxingdejiechajianzhijielianjie，huozhezaichuanganqihejianceqizhijianxuyaojingquexiaozhunyutiaozheng。ruocaiyongxinxingweixingcichuanganqi，tebieshiwuxianwuyuan（無電池）器件，則可省去這些麻煩。這樣，既使操作更簡便，又提高了可靠性，增長了器件壽命
，降低了成本。[page_break]

　　使用新型磁傳感器可以顯著提高測量和控製精度，如用前述的GMI磁場傳感器
，檢測分辨率和常用磁通門磁強計一樣，而響應速度卻快了一倍
，消耗功率僅為後者的1%；若用霍爾器件，其分辨率僅4A/m
，而所需外場比前者高300餘倍；在應力檢測中，SI傳感器的靈敏度是常用電阻絲的2000倍高
，是半導體應變規的20～40倍。工業機床的油壓或氣壓汽缸活塞位置檢測，廣泛采用套在活塞杆上的永磁環和AMR元件組成的磁傳感器，檢測精度0.1mm，檢測速度可在0～500mm/s內以高低速度變換；改用GMI或SV-GMR傳感器後，測量精度至少可以提高1個數量級。

　　數控機床、機器人及工廠自動化相關設備的位置檢測、傳輸速度控製，目前仍大量使用光編碼器。由於這種器件易受粉塵
、油汙和煙霧的影響，用在自動焊接
、油漆機器人
、紡織和鋼鐵、木料、塑料等的加工中，可靠性極差。應用AMR
、GMR、GMI敏感元件構成的磁編碼器
，就不存在上述缺點
，因此，它們的市場需求年增長率在30%以上。微型磁編碼器和控製微機一體化，有利於簡化控製係統結構
，減少元件數和占空體積，這在精密製造和加工業中意義十分重大。

　　各種精密
、超精密線位移磁傳感器已大量用於精密加工機床、專用機床
、半導體製造設備和三維測量設備。使用高靈敏度
、高速響應的磁敏元件的電流傳感器、磁極位置傳感器等，在各種電動機驅動、控製中擔負著重要角色。在機床數控化時代，數字磁尺幫助設計師們實現了閉環控製。使用絕對信號輸出的磁尺不受噪聲
、電源電壓波動等幹擾
，也不必原點複位。使用工作狀態磁敏開關，還可以完成手動與數控之間的轉換。

　　3.2在環境監測中的應用

　　環境保護的前提是對各個環境參數（溫度、氣壓
、大氣成份、噪聲.......）的(de)監(jian)測(ce)，這(zhe)裏(li)需(xu)要(yao)使(shi)用(yong)多(duo)種(zhong)大(da)量(liang)的(de)傳(chuan)感(gan)器(qi)。采(cai)用(yong)前(qian)述(shu)的(de)強(qiang)磁(ci)致(zhi)伸(shen)縮(suo)非(fei)晶(jing)磁(ci)彈(dan)微(wei)型(xing)磁(ci)傳(chuan)感(gan)器(qi)，可(ke)以(yi)同(tong)時(shi)測(ce)量(liang)真(zhen)空(kong)或(huo)密(mi)閉(bi)空(kong)間(jian)的(de)溫(wen)度(du)和(he)氣(qi)壓(ya)，而(er)且(qie)不(bu)用(yong)接(jie)插(cha)件(jian)，可(ke)以(yi)遙(yao)測(ce)和(he)遠(yuan)距(ju)離(li)訪(fang)問(wen)。在(zai)食(shi)品(pin)包(bao)裝(zhuang)、環境科學實驗等方麵，應用前景廣闊。