東(dong)京(jing)大(da)學(xue)研(yan)究(jiu)生(sheng)院(yuan)情(qing)報(bao)理(li)工(gong)學(xue)係(xi)研(yan)究(jiu)科(ke)教(jiao)授(shou)下(xia)山(shan)勲(勲)的(de)研(yan)究(jiu)小(xiao)組(zu)開(kai)發(fa)成(cheng)功(gong)了(le)可(ke)安(an)裝(zhuang)在(zai)蜻(qing)蜓(ting)等(deng)昆(kun)蟲(chong)的(de)翅(chi)膀(pang)上(shang)
，可(ke)分(fen)析(xi)翅(chi)膀(pang)動(dong)作(zuo)的(de)微(wei)型(xing)風(feng)速(su)傳(chuan)感(gan)器(qi)，並(bing)在(zai)MEMS國際學會“MEMS2008”上結合現場演示進行了發表。  
　　該小組開發的微型風速傳感器尺寸約為3mm見方，厚度約為1mm。在3mm見方的芯片上配備了2個傳感器

，每個傳感器的尺寸約為1.5mm×3mm。  
　　下山研究小組在開發MEMS的(de)同(tong)時(shi)
，還(hai)研(yan)究(jiu)昆(kun)蟲(chong)的(de)動(dong)作(zuo)。這(zhe)是(shi)受(shou)原(yuan)東(dong)京(jing)大(da)學(xue)工(gong)學(xue)係(xi)機(ji)械(xie)情(qing)報(bao)工(gong)學(xue)專(zhuan)業(ye)教(jiao)授(shou)三(san)浦(pu)宏(hong)文(wen)曾(zeng)在(zai)該(gai)研(yan)究(jiu)室(shi)研(yan)究(jiu)昆(kun)蟲(chong)活(huo)動(dong)的(de)影(ying)響(xiang)。此(ci)次(ci)傳(chuan)感(gan)器(qi)的(de)開(kai)發(fa)目(mu)的(de)是(shi)將(jiang)MEMS技術應用於昆蟲的動作解析中。  
　　傳感器采用在帶電極的SOI底板上形成長約0.5mm、厚1μm以下的懸臂梁（懸臂彈簧）壓(ya)電(dian)電(dian)阻(zu)的(de)構(gou)造(zao)。壓(ya)電(dian)電(dian)阻(zu)采(cai)用(yong)矽(gui)半(ban)導(dao)體(ti)，當(dang)風(feng)吹(chui)向(xiang)懸(xuan)臂(bi)，懸(xuan)臂(bi)產(chan)生(sheng)應(ying)變(bian)時(shi)，這(zhe)一(yi)應(ying)變(bian)會(hui)使(shi)電(dian)阻(zu)發(fa)生(sheng)變(bian)化(hua)，這(zhe)樣(yang)就(jiu)會(hui)得(de)到(dao)變(bian)形(xing)的(de)數(shu)值(zhi)，進(jin)而(er)獲(huo)得(de)風(feng)的(de)強(qiang)度(du)值(zhi)。懸(xuan)臂(bi)部(bu)分(fen)的(de)重(zhong)量(liang)僅(jin)為(wei)0.1μg。  
　　傳感器的性能方麵，已確認可實現此前的目標——測量-2m/s～2m/s的風速。此前曾擔心把傳感器安裝到1秒內上下振動數次的翅膀上
，懸臂會因為翅膀的加速度而產生噪音。而此次也把其影響減小到了測定值的3～10％（標準5%），已確認實際應用時沒有問題。“傳感器的共振（固有）頻率為10Hz以上
，（對於數Hz的翅膀振動頻率而言）基本不受影響”。  
　　昆蟲和MEMS成為課題之一  
　　此次的MEMS 2008上，除上述成果外，還有幾件關於在昆蟲研究中應用MEMS的研究成果發布。尤其引人注目的發布是，在銅花金龜子和蛾的神經上安裝電極、類似遙控玩具那樣進行操控的技術。  
　　美國國防部研究機構“國防高級研究計劃局（DARPA）”07年公布了昆蟲的準機器人計劃“Hybrid Insect MEMS（HI-MEMS）”。此次關於銅花金龜子和蛾的研究也得到了DARPA的援助。