下山研究小組在開發MEMSdetongshi

，haiyanjiukunchongdedongzuo。zheshishouyuandongjingdaxuegongxuexijixieqingbaogongxuezhuanyejiaoshousanpuhongwenzengzaigaiyanjiushiyanjiukunchonghuodongdeyingxiang。cicichuanganqidekaifamudeshijiangMEMS技術應用於昆蟲的動作解析中。　
   
   傳感器采用在帶電極的SOI底板上形成長約0.5mm、厚1μm以下的懸臂梁（懸臂彈簧）yadiandianzudegouzao。yadiandianzucaiyongguibandaoti，dangfengchuixiangxuanbi，xuanbichanshengyingbianshi，zheyiyingbianhuishidianzufashengbianhua，zheyangjiuhuidedaobianxingdeshuzhi
，jinerhuodefengdeqiangduzhi。xuanbibufendezhongliangjinwei0.1μg。　
   
   傳感器的性能方麵，已確認可實現此前的目標——測量-2m/s～2m/s的風速。此前曾擔心把傳感器安裝到1秒內上下振動數次的翅膀上，懸臂會因為翅膀的加速度而產生噪音。而此次也把其影響減小到了測定值的3～10％（標準5%），已確認實際應用時沒有問題。“傳感器的共振（固有）頻率為10Hz以上
，（對於數Hz的翅膀振動頻率而言）基本不受影響”。