吉時利（Keithley）儀器公司日前宣布與Stratosphere Solutions公司（Sunnyvale, CA）合作，將采用陣列TEG（測試元件組）技術展開先進工藝研發和監測工作。 Stratosphere Solutions致力於麵向集成電路製造提供能夠提高工藝參數成品率的新型解決方案。 
   由於IC製造商不斷追求製造更小尺寸器件，因此65nmyixiashuipingshangdegongyicanshupianchaweiguangdashejiyuceshigongchengshitichulejudatiaozhan。bandaotixingyepoqiexuyaojiancejiqimingandeshengchangongyi，yibianzaibuxishengchengpinlvdeqingkuangxiahuodezuijiaIC性能。 
   吉時利與Stratosphere Solutions將合作為彼此共同的客戶提供一種獨特特征分析基本架構
，采用吉時利S600係列參數測試儀和StratoPro™ IP實現大容量、高產能、高可靠參數測量解決方案
，確保客戶成功實現先進半導體工藝。 
   吉時利S600係列參數測試儀通過適應器件工藝變化
，幫助晶圓廠和代工廠降低芯片測試成本。這類測試儀可以用作成本極低的直流
、射頻和陣列TEG測試儀，提高固定設備重用性
，從而降低測試成本。S600係列最新產品S680在一個測試係統內實現並行測試功能、高直流測試靈敏度、飛安級分辨率以及高達40GHz射頻s參數測量功能，從而為65nm以下工藝節點測量提供具有當前業界最高產能和較低投資成本解決方案。 
   隨著工藝幾何尺寸縮減到65nm以下，陣列TEG結構，例如Stratosphere獲獎StratoPro產品套件，正日益成為半導體工藝特征分析的關鍵手段。主要半導體公司需要一種事實上的標準產品，StratoPro將同樣矽麵積上的測試密度提高幾千倍
，實現最高分辨率測量和改善總體測試完備性。 
   作為一個參數式ActiveMatrix™矽IP平台，StratoPro™將憑借其高精度特性
、電氣參數及可變性管芯內統計功能幫助晶圓廠和輕晶圓廠用戶實現芯片特征分析。用戶可以選擇65nm和45nm矽驗證StratoPro平台，因為它將測試結構的密度提高了10～1000倍，實現很高測量分辨率
，結合吉時利測試儀平台後能夠大大縮短測試時間。晶圓廠用戶可以在工藝研發的早期、成品率改進和生產監測過程中使用StratoPro™。輕晶圓廠用戶可以使用該係統對與設計風格相關工藝偏差進行特征分析。