阿爾卑斯電氣推出了業界最小的壓電式MEMS壓力傳感器。尺寸方麵，壓力傳感器單個元件的小型型號為2.5mm×2.5mm×0.7mm。內置放大器的型號為3.5mm×3.5mm×1.0mm。主要用於檢測氣壓及高度等絕對壓力。 
   壓電式MEMS壓(ya)力(li)傳(chuan)感(gan)器(qi)可(ke)輕(qing)鬆(song)實(shi)現(xian)小(xiao)型(xing)化(hua)的(de)原(yuan)因(yin)是(shi)，可(ke)直(zhi)接(jie)將(jiang)隔(ge)膜(mo)的(de)彎(wan)曲(qu)量(liang)當(dang)作(zuo)壓(ya)電(dian)電(dian)阻(zu)元(yuan)件(jian)的(de)電(dian)阻(zu)變(bian)化(hua)來(lai)捕(bu)獲(huo)，從(cong)而(er)實(shi)現(xian)簡(jian)單(dan)的(de)元(yuan)件(jian)結(jie)構(gou)。另(ling)外(wai)
，通(tong)過(guo)采(cai)用(yong)薄(bo)膜(mo)工(gong)藝(yi)技(ji)術(shu)
、微細加工技術及封裝技術
，也可減小傳感器元件尺寸，使其達到業界最小。 
   壓(ya)力(li)檢(jian)測(ce)的(de)原(yuan)理(li)如(ru)下(xia)。來(lai)自(zi)外(wai)部(bu)的(de)壓(ya)力(li)會(hui)使(shi)壓(ya)力(li)傳(chuan)感(gan)器(qi)的(de)隔(ge)膜(mo)彎(wan)曲(qu)。如(ru)果(guo)隔(ge)膜(mo)彎(wan)曲(qu)
，在(zai)隔(ge)膜(mo)上(shang)形(xing)成(cheng)的(de)壓(ya)電(dian)電(dian)阻(zu)元(yuan)件(jian)就(jiu)會(hui)變(bian)形(xing)。這(zhe)樣(yang)一(yi)來(lai)
，就(jiu)可(ke)以(yi)將(jiang)變(bian)形(xing)產(chan)生(sheng)的(de)電(dian)阻(zu)變(bian)化(hua)作(zuo)為(wei)電(dian)壓(ya)信(xin)號(hao)讀(du)取(qu)出(chu)來(lai)。 
   阿爾卑斯電氣表示，通過采用以下3項技術
，減小了壓力傳感器性能的不穩定性。這3項技術分別為，通過優化蝕刻條件，開發出了可形成穩定腔體（Cavity）結構的技術；實現了可減小外應力影響的Si-Si密封接合
；采用了對溫度變化適應性強的陶瓷材料。  
    阿爾卑斯電氣將在08年9月30日～10月4日於幕張Messe國際會展中心舉辦的“CEATEC JAPAN 2008”上展出此次的MEMS壓力傳感器。