編者語：在中國MEMS技術實用化相關會議“第二屆微納米技術創新與產業化國際研討會（ICMAN 2008）”上，北京大學微電子學研究院教授張海霞表示，“要建立起能使中國MEMS實用化所需時間縮短3～5年的機製”。

   北京大學微電子學研究院教授張海霞表示，“要建立起能使中國MEMS實用化所需時間縮短3～5年的機製”。這是張海霞在中國MEMS技術實用化相關會議“第二屆微納米技術創新與產業化國際研討會（ICMAN 2008）”上就大學與產業合作談及的。 

　　中國的MEMS開kai發fa有you兩liang大da特te點dian。一yi是shi政zheng府fu的de作zuo用yong比bi其qi他ta國guo家jia大da
，大da學xue甚shen至zhi承cheng擔dan著zhe為wei產chan業ye界jie開kai發fa產chan品pin的de職zhi能neng。除chu產chan品pin開kai發fa外wai，甚shen至zhi連lian製zhi造zao工gong藝yi的de開kai發fa都dou傾qing向xiang於yu由you大da學xue來lai完wan成cheng。張zhang海hai霞xia指zhi出chu之zhi所suo以yi能neng夠gou縮suo短duan中zhong國guoMEMS實用化所需時間，是因為這種具有中國特色的產官學一體化體製。張海霞表示打算花1～2年時間由研究開發機構完成試製之前的工作，然後用3～5年為量產做準備。 

　　為了實現這一目標，張海霞領導的微電子學研究院MEMS研究所將致力於創辦MEMS風險企業、向企業提供IP、通過與企業合作培養技術人員等。比如，她介紹了MEMS研究所創辦的兩家MEMS風險企業。其中，最先通過分拆成立的MEMS廠商名為First MEMS（北京青鳥元芯微係統科技有限責任公司）
，是在北京中關村科技園區設有基地的MEMS傳感器廠商，擁有自己的製造設備。目前
，First MEMS已投產了壓力傳感器、濕度傳感器、氣體傳感器及加速度傳感器。還準備投入使用矽微傳感器。