MEMS的最大優勢是可以利用微電子技術將傳感器、執行器和處理電路集成在一起構成單片集成傳感器或係統，更可以實現傳感器芯片的大規模批量製造
，已廣泛用於信息
、汽車
、消費、工控等領域，並成為國際競爭的戰略製高點。

jinnianyilai
，woguobaokuodaigongyewuzaineidexinpianchanyemianlinzheqiansuoweiyoudeshichangtiaozhan，tongshiyeyinglailegengdadefazhanjiyu，chuanganqizuoweixinxiganzhidejichuxinpianyeshiruci。mianduikenengcunzaidegongyinglianfengxian，guoneiqiyekaishizheshougoujianwendingdeguoneigongyinglian
，gaibianchuanganqishouzhiyurendebeidongjumian。

我們一定要抓住國產傳感器需求迫切的機遇，采取必要的措施

，大力推進我國MEMS傳感器的產業化發展，提升傳感器芯片的自主創新能力。

MEMS傳感器具有個性化、分散化特點

jichengdianlufazhanxunsudeyuanyinshibiaozhunhua
，jingtiguanshiqihexin
，zhizaoweiraobiaozhundanyuanjingtiguanjinxing，chanpinshijichajiyongdebiaozhunjichengdianlu，jishufazhanketongguomoerdinglvqingxiyuce。lingrenyihandeshi

，MEMS傳感器的特點是個性化的：一是沒有像晶體管那樣功能強大的標準單元
，製造呈現個性化；二是沒有像CPU和存儲器市場那麼大的標準產品，產品呈現個性化。因此，其發展速度遠低於業界的預測。

盡管MEMS傳感器個性化特點影響了其發展速度
，但卻有利於我國實現跨越發展。主要體現在兩方麵：一是製造個性化還沒有形成通用製造流程，技術更新換代緩慢，對工藝設備要求遠低於集成電路的要求
，有利於我國實現製造突破；二是產品個性化帶來的是細分市場
，產品形態與客戶高度關聯，單一公司難以壟斷

，有利於我國發揮本土優勢實現應用突破。

設立以產業化為導向的MEMS傳感器專項

我(wo)國(guo)還(hai)沒(mei)有(you)為(wei)傳(chuan)感(gan)器(qi)專(zhuan)門(men)製(zhi)訂(ding)過(guo)科(ke)技(ji)計(ji)劃(hua)，盡(jin)管(guan)在(zai)許(xu)多(duo)國(guo)家(jia)科(ke)技(ji)計(ji)劃(hua)中(zhong)包(bao)含(han)傳(chuan)感(gan)器(qi)的(de)內(nei)容(rong)，但(dan)基(ji)本(ben)都(dou)屬(shu)於(yu)從(cong)屬(shu)地(di)位(wei)，沒(mei)有(you)得(de)到(dao)足(zu)夠(gou)的(de)重(zhong)視(shi)
，發(fa)展(zhan)速(su)度(du)遠(yuan)不(bu)盡(jin)如(ru)人(ren)意(yi)，使(shi)得(de)國(guo)內(nei)市(shi)場(chang)一(yi)直(zhi)被(bei)國(guo)外(wai)產(chan)品(pin)壟(long)斷(duan)。另(ling)一(yi)方(fang)麵(mian)，國(guo)產(chan)傳(chuan)感(gan)器(qi)的(de)落(luo)後(hou)也(ye)使(shi)得(de)國(guo)內(nei)用(yong)戶(hu)大(da)多(duo)不(bu)選(xuan)用(yong)國(guo)貨(huo)，進(jin)一(yi)步(bu)拉(la)大(da)了(le)國(guo)產(chan)傳(chuan)感(gan)器(qi)與(yu)國(guo)外(wai)產(chan)品(pin)差(cha)距(ju)，造(zao)成(cheng)了(le)產(chan)品(pin)越(yue)沒(mei)人(ren)用(yong)越(yue)不(bu)行(xing)的(de)惡(e)性(xing)循(xun)環(huan)。目(mu)前(qian)的(de)國(guo)際(ji)芯(xin)片(pian)供(gong)應(ying)鏈(lian)形(xing)勢(shi)，給(gei)許(xu)多(duo)國(guo)內(nei)傳(chuan)感(gan)器(qi)用(yong)戶(hu)帶(dai)來(lai)了(le)空(kong)前(qian)的(de)危(wei)機(ji)感(gan)
，有(you)了(le)構(gou)建(jian)國(guo)內(nei)穩(wen)定(ding)供(gong)應(ying)鏈(lian)的(de)迫(po)切(qie)需(xu)求(qiu)。

因此，應該搶抓機遇，針對MEMS傳感器的特點，盡快設立以產業化為導向的MEMS傳感器專項
，全力構建MEMS傳感器製造體係，扶植有特色的MEMS傳感器企業做大做強，提升國產傳感器的市場占有率

，提升傳感器芯片自主能力，改變嚴重受製於人的局麵。

二次開發集成電路產線 構建MEMS傳感器製造體係

MEMS傳chuan感gan器qi製zhi造zao從cong本ben質zhi上shang講jiang是shi基ji於yu微wei電dian子zi技ji術shu
，但dan與yu集ji成cheng電dian路lu又you有you很hen大da不bu同tong
，因yin此ci，不bu能neng直zhi接jie將jiang常chang規gui集ji成cheng電dian路lu產chan線xian用yong來lai製zhi造zao傳chuan感gan器qi芯xin片pian。集ji成cheng電dian路lu芯xin片pian製zhi造zao的de核he心xin是shi晶jing體ti管guan，製zhi造zao工gong藝yi為wei平ping麵mian工gong藝yi，關guan注zhu的de主zhu要yao是shi電dian性xing能neng。

MEMS傳(chuan)感(gan)器(qi)芯(xin)片(pian)製(zhi)造(zao)的(de)核(he)心(xin)是(shi)微(wei)機(ji)械(xie)結(jie)構(gou)
，需(xu)要(yao)進(jin)行(xing)三(san)維(wei)微(wei)機(ji)械(xie)結(jie)構(gou)加(jia)工(gong)


，除(chu)了(le)要(yao)關(guan)注(zhu)電(dian)性(xing)能(neng)外(wai)，更(geng)要(yao)關(guan)注(zhu)機(ji)械(xie)和(he)力(li)學(xue)等(deng)性(xing)能(neng)。而(er)且(qie)，微(wei)機(ji)械(xie)結(jie)構(gou)呈(cheng)現(xian)個(ge)性(xing)化(hua)，還(hai)沒(mei)有(you)一(yi)種(zhong)像(xiang)晶(jing)體(ti)管(guan)那(na)樣(yang)功(gong)能(neng)強(qiang)大(da)的(de)標(biao)準(zhun)微(wei)機(ji)械(xie)結(jie)構(gou)。不(bu)過(guo)微(wei)機(ji)械(xie)結(jie)構(gou)的(de)尺(chi)寸(cun)一(yi)般(ban)都(dou)在(zai)微(wei)米(mi)量(liang)級(ji)，對(dui)工(gong)藝(yi)設(she)備(bei)的(de)要(yao)求(qiu)遠(yuan)低(di)於(yu)集(ji)成(cheng)電(dian)路(lu)，通(tong)常(chang)的(de)集(ji)成(cheng)電(dian)路(lu)產(chan)線(xian)經(jing)過(guo)二(er)次(ci)工(gong)藝(yi)開(kai)發(fa)，都(dou)能(neng)滿(man)足(zu)MEMS傳感器的製造需求。

因此，可通過MEMS傳感器專項支持，選擇合適的集成電路產線
，進行二次工藝開發，打造出適應MEMS傳感器個性化製造需求的量產線。

由於MEMS傳感器芯片需求量遠小於集成電路芯片，而且轉產MEMS傳感器芯片投入大，為提高集成電路芯片廠轉產MEMS傳感器芯片的積極性，應對MEMS傳感器芯片量產線給予資金支持和稅收優惠。同時
，選擇合適科研機構
，建立MEMS傳感器芯片研發平台
，用於MEMS傳感器前期開發樣品研製，建立MEMS傳感器中試平台

，用於MEMS傳感器產品開發量產工藝驗證
，全力構建出我國MEMS傳感器製造體係。

發揮本土優勢 做大做強企業

MEMSchuanganqichengxianchuxiaopiliangduopinzhongdegexinghuatese
，butongdechuanganqichanpinxingtaiyoumingxiandebutong
，jishishitongyizhongchuanganqi
，shiyongchanghebutongqichanpinxingtaiyeyoumingxiandebutong。liru，jinqicheyalichuanganqijiuyoujinqiyalichuanganqi、機油壓力傳感器、刹車壓力傳感器、變速箱壓力傳感器
、燃油箱蒸汽壓力傳感器
、高壓共軌壓力傳感器等，其產品形態與應用場合密切相關，是典型的用戶關聯產品。

用戶關聯產品的市場營銷需要與用戶密切互動
，這可充分發揮本土企業與用戶溝通便利、進行定製半定製保姆式服務等優勢，使本土企業在與國外公司競爭中處於有利地位。

因此
，MEMS傳感器專項可選擇一些用戶關聯度高
、市場規模大和存在供應鏈風險的產品
，如汽車傳感器、儀器儀表傳感器和量大麵廣的消費傳感器等，扶植有優勢的MEMS傳感器企業進行產品研發
，在MEMS傳感器量產線實現量產，提高國產傳感器的市場占有率，做大做強本土MEMS傳感器企業。

完善我國MEMS傳感器產業鏈

MEMS傳感器的產業鏈包括用戶、產品公司和製造體係。由於MEMS傳感器的個性化特點，其產品開發必須與用戶密切結合
，用戶是其產業鏈中的一個重要環節；產品公司根據用戶需求，進行MEMS傳感器產品開發
；由於MEMS傳感器的製造涉及芯片加工

，工藝線投入大，一般產品公司可通過共享來完成。這三個環節密切聯係在一起，產品公司可實現MEMS傳感器的大規模銷售。

因此
，通過MEMS傳感器專項的實施
，可將我國MEMS傳感器的大用戶、有優勢的MEMS傳(chuan)感(gan)器(qi)產(chan)品(pin)公(gong)司(si)和(he)研(yan)發(fa)量(liang)產(chan)線(xian)組(zu)織(zhi)在(zai)一(yi)起(qi)，針(zhen)對(dui)大(da)用(yong)戶(hu)的(de)產(chan)品(pin)需(xu)求(qiu)，進(jin)行(xing)相(xiang)應(ying)的(de)產(chan)品(pin)研(yan)發(fa)和(he)應(ying)用(yong)驗(yan)證(zheng)
，並(bing)在(zai)集(ji)成(cheng)電(dian)路(lu)產(chan)線(xian)進(jin)行(xing)二(er)次(ci)工(gong)藝(yi)開(kai)發(fa)
，實(shi)現(xian)傳(chuan)感(gan)器(qi)大(da)規(gui)模(mo)量(liang)產(chan)，打(da)造(zao)出(chu)我(wo)國(guo)MEMS傳感器產業鏈，提升國產傳感器的市場占有率
，解決傳感器芯片受製於人的問題。

MEMS傳感器的產業化離不開集成電路企業的參與，2010年我國有集成電路企業開始參與MEMS製造。產業鏈上下遊開展產學研用合作，進行了打造MEMS傳感器產業鏈的初步嚐試，建立了用戶、產品公司和量產線的有機聯係
，取得了好的效果。目前在無錫華潤上華科技有限公司建立的MEMS傳感器量產線，代工產品涉及汽車壓力傳感器
、麥克風和紅外傳感器等產品，代工客戶數超過30家，客戶包括主板上市企業和科創板上市企業，客戶MEMS麥克風的市場份額處在世界前幾位
，支持了一批MEMS產品公司的發展。

特別是疫情發生後，無錫華潤上華科技有限公司參加了工信部組織的紅外額溫槍聯合會戰，不到3個月的時間為抗擊疫情提供了超過3700萬隻紅外傳感器芯片
，有的代工客戶還是國務院應對新型冠狀病毒肺炎疫情聯防聯控機製（醫療物資保障組）重點防控物資任務調撥單位
，建立的量產線在抗擊新冠肺炎疫情的關鍵時刻發揮了重要作用。

作者王躍林

，供職於中國科學院上海微係統與信息技術研究所