4臂機器人靈活搬運晶圓

http://www.kadhoai.com.cn 2026-04-14 21:30:23 來源：日經BP社

編者語：12月3日～5日，愛發科在“SEMICON JAPAN 2008”上參考展出了這種同心6軸型搬運設備。

   用4隻機器手靈活搬運矽晶圓。愛發科在“SEMICON JAPAN 2008”（12月3日～5日，幕張Messe會展中心）上參考展出了這種同心6軸型搬運設備。此次為首次麵向公眾開放，為了一睹實機風采，參觀者絡繹不絕，紛紛向解說員熱心谘詢。

   據該公司介紹，盡管此前已存在使用4隻機器手的晶圓搬運設備，但4隻機器手隻能進行相同操作。因此，將晶圓搬入搬出製造設備的處理室時，也隻能4隻機器手同時搬運，無法靈活搬運晶圓。而此次的搬運設備4隻機器手均可獨立工作，因此能夠從處理完畢的晶圓開始，按順序連續不斷地將晶圓搬入搬出。該公司表示，通過將軸數量由原來的3～4軸增加為6軸實現了這種搬運功能。

   目前，企業不斷要求提高半導體製造設備的生產性並降低COO（Cost of Ownership），可以說此次的同心6軸型搬運設備是搬運設備廠商針對該要求提出的一個解決方案。

4臂機器人靈活搬運晶圓

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