編者語：電dian子zi專zhuan用yong設she備bei和he儀yi器qi產chan業ye是shi裝zhuang備bei製zhi造zao業ye的de重zhong要yao分fen支zhi，是shi電dian子zi信xin息xi產chan品pin生sheng產chan技ji術shu和he工gong藝yi技ji術shu的de高gao度du融rong合he
，處chu於yu電dian子zi信xin息xi產chan業ye鏈lian最zui高gao端duan，基ji礎chu性xing強qiang、關聯度高，是技術難度最大
，複雜度、附加值和進入門檻最高的領域，決定著一個國家或地區電子信息產品製造業的整體水平，也是電子信息產業綜合實力的重要標誌。

   經過改革開放近三十年的發展
，特別是“十五”以(yi)來(lai)的(de)快(kuai)速(su)發(fa)展(zhan)
，我(wo)國(guo)已(yi)成(cheng)為(wei)全(quan)球(qiu)最(zui)重(zhong)要(yao)的(de)電(dian)子(zi)信(xin)息(xi)產(chan)品(pin)生(sheng)產(chan)基(ji)地(di)，產(chan)業(ye)規(gui)模(mo)位(wei)居(ju)世(shi)界(jie)前(qian)列(lie)
，龐(pang)大(da)的(de)加(jia)工(gong)製(zhi)造(zao)能(neng)力(li)無(wu)疑(yi)為(wei)我(wo)們(men)加(jia)快(kuai)電(dian)子(zi)專(zhuan)用(yong)設(she)備(bei)和(he)儀(yi)器(qi)產(chan)業(ye)的(de)發(fa)展(zhan)創(chuang)造(zao)了(le)有(you)利(li)的(de)市(shi)場(chang)環(huan)境(jing)。同(tong)時(shi)，經(jing)過(guo)多(duo)年(nian)發(fa)展(zhan)，我(wo)國(guo)數(shu)字(zi)控(kong)製(zhi)、精密加工、微電子、通信、新型元器件
、新材料
、測試測量等相關產業和技術取得長足進步。因此，“十一五”期間，依托國內市場和已有產業基礎
，通過自主創新
，引進
、消化吸收再創新等多種方式發展電子專用設備和儀器產業，完全有可能取得突破。

   根據黨的十七大提出的“振興裝備製造業”和《國務院關於加快振興裝備製造業的若幹意見》（國發[2006]8號）精神
，以及《信息產業“十一五”規劃》的(de)總(zong)體(ti)部(bu)署(shu)，結(jie)合(he)國(guo)內(nei)電(dian)子(zi)專(zhuan)用(yong)設(she)備(bei)和(he)儀(yi)器(qi)產(chan)業(ye)已(yi)有(you)的(de)基(ji)礎(chu)和(he)麵(mian)臨(lin)的(de)良(liang)好(hao)發(fa)展(zhan)環(huan)境(jing)，為(wei)進(jin)一(yi)步(bu)促(cu)進(jin)設(she)備(bei)儀(yi)器(qi)產(chan)業(ye)的(de)發(fa)展(zhan)
，信(xin)息(xi)產(chan)業(ye)部(bu)在(zai)深(shen)入(ru)調(tiao)研(yan)、廣泛論證的基礎上

，第一次專門編製了《電子專用設備和儀器“十一五”專項規劃》，以此作為“十一五”我國電子專用設備和儀器產業發展的指導性文件，為進一步加強和規範行業管理、指導重大工程建設實施提供依據。

   為便於行業內外加深對規劃理解，更好地貫徹落實規劃
，現就《專項規劃》有關內容說明如下：

   電子專用設備是指在研究、開發和生產各種電子信息產品過程中專門用於材料製備、元器件製造加工、整機裝調、工藝環境保證
、生產過程監控和產品質量控製的設備。主要分為半導體和集成電路生產設備、電子元件和機電組件生產設備、電真空器件生產設備
、電子整機裝聯設備

、淨化設備
、試驗設備、電子通用設備和電子專用工模具等。

   電子儀器以電子電路技術為基礎，融合測試測量技術、計算機技術、通信技術、數字技術、軟件技術

、總線技術等組成單機或自動測試係統，通過數據采集、存儲和處理，對被測信息量進行數據顯示或圖形顯示
，根據被測對象的需要輸出信息量以進行係統控製。目前國家標準將電子儀器分為25個門類，其中前20類為電子測量儀器
，後5類為電子應用儀器。

   本著有所為有所不為的原則
，為集中力量
，實現重點突破，《專項規劃》主要涉及半導體和集成電路專用設備
、新型顯示器件專用設備、電子整機裝聯設備、新型電子元器件專用設備等4種發展前景較好的設備領域及電子測量儀器。

  一、關於“十五”回顧

   目前，我國電子專用設備和儀器生產廠家約400多家。“十五”期(qi)間(jian)，國(guo)內(nei)電(dian)子(zi)專(zhuan)用(yong)設(she)備(bei)和(he)儀(yi)器(qi)產(chan)業(ye)發(fa)展(zhan)較(jiao)快(kuai)
，產(chan)業(ye)規(gui)模(mo)不(bu)斷(duan)擴(kuo)大(da)
，部(bu)分(fen)設(she)備(bei)儀(yi)器(qi)已(yi)能(neng)滿(man)足(zu)國(guo)內(nei)需(xu)求(qiu)，技(ji)術(shu)創(chuang)新(xin)取(qu)得(de)新(xin)進(jin)展(zhan)。根(gen)據(ju)中(zhong)國(guo)電(dian)子(zi)專(zhuan)用(yong)設(she)備(bei)工(gong)業(ye)協(xie)會(hui)和(he)中(zhong)國(guo)電(dian)子(zi)儀(yi)器(qi)行(xing)業(ye)協(xie)會(hui)統(tong)計(ji)，2005年我國電子專用設備和儀器產業分別實現銷售收入44.9億元和77億元，同比增長14.9%和37.5%。在半導體和集成電路專用設備方麵，100nm高密度等離子體刻蝕機、大傾角等離子注入機已初步實現產業化
，步進掃描光刻機和一批8英寸生產線設備研發取得重要進展；在新型顯示器件專用設備方麵，國內企業已能批量生產TN/STN-LCD全套後工序設備、部分TN-STN前工序設備和部分TFT-LCD後工序設備
，國產LED後封裝設備已占國內市場的20%
；在新型電子元器件專用設備方麵，絲印、編帶等片式元件和部分鋰離子電池設備已研製成功
，太陽能電池生產設備已基本成套供應並實現出口，軟磁鐵氧體、硬磁鐵氧體等生產線國產設備的市場占有率已達90%，中低檔設備已全麵取代進口並實現出口，真空開關管設備已成線供應
，技術水平達國際先進水平；在電子整機裝聯設備方麵，中低檔再流焊機



、波bo峰feng焊han機ji等deng已yi部bu分fen供gong貨huo

，用yong於yu無wu鉛qian焊han料liao的de波bo峰feng焊han機ji和he再zai流liu焊han機ji的de研yan製zhi也ye取qu得de較jiao大da進jin展zhan。在zai電dian子zi測ce量liang儀yi器qi方fang麵mian，光guang通tong信xin測ce量liang儀yi器qi技ji術shu水shui平ping已yi接jie近jin國guo際ji先xian進jin水shui平ping
，TD－SCDMA網絡檢測儀等部分技術含量較高的國產儀器先後研製成功。

   盡管“十五”期(qi)間(jian)我(wo)國(guo)電(dian)子(zi)專(zhuan)用(yong)設(she)備(bei)和(he)儀(yi)器(qi)產(chan)業(ye)有(you)了(le)一(yi)定(ding)的(de)發(fa)展(zhan)，但(dan)產(chan)業(ye)規(gui)模(mo)小(xiao)，集(ji)中(zhong)度(du)低(di)，關(guan)鍵(jian)基(ji)礎(chu)技(ji)術(shu)和(he)設(she)備(bei)研(yan)發(fa)製(zhi)造(zao)能(neng)力(li)薄(bo)弱(ruo)，引(yin)進(jin)消(xiao)化(hua)吸(xi)收(shou)能(neng)力(li)不(bu)強(qiang)，具(ju)有(you)市(shi)場(chang)競(jing)爭(zheng)力(li)的(de)企(qi)業(ye)少(shao)，對(dui)外(wai)依(yi)存(cun)度(du)高(gao)，高(gao)層(ceng)次(ci)技(ji)術(shu)人(ren)才(cai)缺(que)乏(fa)

，吸(xi)引(yin)外(wai)商(shang)投(tou)資(zi)和(he)促(cu)進(jin)國(guo)內(nei)產(chan)業(ye)發(fa)展(zhan)的(de)政(zheng)策(ce)環(huan)境(jing)不(bu)完(wan)善(shan)等(deng)製(zhi)約(yue)因(yin)素(su)仍(reng)有(you)待(dai)突(tu)破(po)。

   二

、關於“十一五”麵臨的形勢

   《專項規劃》從市場需求、技術發展趨勢和產業發展麵臨的環境三個方麵，全麵客觀分析了“十一五”期間我國電子專用設備和儀器產業發展麵臨的形勢。

   （一）市場分析

   電子專用設備和儀器市場隨著行業的波動而變化。2000年以前
，全球電子專用設備和儀器市場保持著穩定增長。2001年市場出現大幅下滑
，此後穩步回升，2004年基本恢複至2000年水平，市場規模達1350億美元
，占整個電子信息產品市場規模的6.84%。weilaijinian

，suizhequanqiudianzixinxichanyeguimodejinyibukuoda
，yujizhuanyongshebeiheyiqishichangxuqiujiangbaochiwendingzengchang，zengsujiangyuciqianshinianjibenbaochiyizhi

，2010年市場規模將達1700億美元，年均增長3.5%。

   近年來，國際IT企(qi)業(ye)紛(fen)紛(fen)將(jiang)生(sheng)產(chan)基(ji)地(di)移(yi)向(xiang)中(zhong)國(guo)，我(wo)國(guo)已(yi)成(cheng)為(wei)全(quan)球(qiu)電(dian)子(zi)信(xin)息(xi)產(chan)品(pin)的(de)生(sheng)產(chan)製(zhi)造(zao)基(ji)地(di)
，由(you)此(ci)帶(dai)動(dong)國(guo)內(nei)電(dian)子(zi)專(zhuan)用(yong)設(she)備(bei)和(he)儀(yi)器(qi)需(xu)求(qiu)大(da)幅(fu)增(zeng)長(chang)。與(yu)全(quan)球(qiu)電(dian)子(zi)專(zhuan)用(yong)設(she)備(bei)和(he)儀(yi)器(qi)市(shi)場(chang)規(gui)模(mo)波(bo)動(dong)起(qi)伏(fu)相(xiang)反(fan)，中(zhong)國(guo)市(shi)場(chang)始(shi)終(zhong)保(bao)持(chi)高(gao)速(su)增(zeng)長(chang)
，2005年市場規模達1100億元。“十一五”期間

，隨著國內電子信息產業規模進一步擴大，設備和儀器更新換代加快，電子專用設備和儀器市場規模將繼續保持較快增長
，預計“十一五”期間國內電子專用設備和儀器市場規模增速將達15～20%
，2010年市場規模為2000-2500億元，專用設備和儀器產業發展麵臨著良好的市場前景。

   （二）技術趨勢

   電子專用設備和儀器融合了軟件、精密電子、機械、化學
、化工
、物理、材料
、自控、光電
、元(yuan)器(qi)件(jian)等(deng)多(duo)學(xue)科(ke)技(ji)術(shu)，是(shi)基(ji)礎(chu)研(yan)究(jiu)和(he)應(ying)用(yong)研(yan)究(jiu)融(rong)合(he)發(fa)展(zhan)的(de)產(chan)物(wu)，是(shi)國(guo)家(jia)科(ke)學(xue)技(ji)術(shu)水(shui)平(ping)和(he)自(zi)主(zhu)創(chuang)新(xin)能(neng)力(li)的(de)集(ji)中(zhong)體(ti)現(xian)，其(qi)技(ji)術(shu)和(he)產(chan)品(pin)更(geng)新(xin)速(su)度(du)明(ming)顯(xian)高(gao)於(yu)其(qi)他(ta)產(chan)業(ye)。一(yi)方(fang)麵(mian)，電(dian)子(zi)專(zhuan)用(yong)設(she)備(bei)和(he)儀(yi)器(qi)要(yao)為(wei)電(dian)子(zi)信(xin)息(xi)產(chan)品(pin)製(zhi)造(zao)和(he)測(ce)試(shi)提(ti)供(gong)更(geng)先(xian)進(jin)、高效的技術手段；另一方麵，數字化、高精度、集成化
、智能化等已成為電子專用設備和儀器發展的必然趨勢
，其自身需要不斷加強升級換代。

   電子專用設備技術方麵，為奪取市場競爭的製高點，縮短產品推出周期、滿足新產品和新工藝技術需要
，行業發展對裝備製造商的要求越來越高，電子專用設備與產品製造工藝
、軟ruan件jian開kai發fa的de結jie合he越yue來lai越yue密mi切qie，裝zhuang備bei製zhi造zao商shang不bu僅jin要yao向xiang客ke戶hu提ti供gong硬ying件jian設she備bei
，還hai要yao不bu斷duan向xiang提ti供gong全quan麵mian解jie決jue方fang案an和he全quan方fang位wei服fu務wu的de方fang向xiang拓tuo展zhan。在zai半ban導dao體ti和he集ji成cheng電dian路lu專zhuan用yong裝zhuang備bei領ling域yu，芯xin片pian製zhi造zao業ye要yao求qiu設she備bei滿man足zu12英寸及以上大直徑
、細線寬、超薄膜等工藝需求，設備趨向於集成化和生產線自動化，設備製造與半導體集成電路工藝越來越密不可分
，不斷追求全麵解決方案、全方位服務；在新型電子元器件設備領域
，電子元器件在保持微型化的同時，向組件化、模塊化、多功能化、無源/youyuanyuanqijianjichenghuafazhan
，xinxingpianshiyuanqijianzhuanyongshebeibiranyaobuduanmanzuqishengchangongyifazhanyaoqiu，yixianjindejingmizhizaojishuhegaozidonghuajishuweiyituo，xiangxitonghua、集成化

、智能化、敏捷化
、綠色化方向發展
；在TFT-LCD和PDP等平板顯示器件專用設備領域
，為提高原材料的利用率，降低生產成本，生產設備趨向於加工尺寸增大，精細度
、集成度、自動化程度
、產品與工藝結合程度不斷提高；在LED專用設備領域，設備生產效率和自動化程度越來越高，在線檢測裝置越來越多
；在SMT專用設備領域
，隨著整機向微型化、集成化、多功能的方向發展，電子元器件也朝著微型化、集成化
、多功能的方向發展，推動著SMT設備向多功能

、柔性化的集成係統發展
，同時，隨著全球無鉛化的要求越來越緊迫，無鉛波峰焊機、無鉛再流焊機、無鉛AOI設備逐漸成為發展主流，預計“十一五”末電子整機裝聯設備將全麵實現無鉛化。

   電子測量儀器技術方麵
，隨著用戶對測試自動化、網絡化、高效率、高可靠性、界麵友善等的不斷追求，電子測試技術與通信、計ji算suan機ji技ji術shu互hu相xiang融rong合he的de趨qu勢shi越yue來lai越yue明ming顯xian
，軟ruan件jian技ji術shu在zai電dian子zi測ce試shi技ji術shu中zhong所suo占zhan比bi重zhong越yue來lai越yue重zhong。隨sui著zhe整zheng機ji技ji術shu標biao準zhun化hua水shui平ping的de提ti升sheng
，整zheng機ji測ce試shi儀yi器qi進jin一yi步bu向xiang功gong能neng模mo塊kuai化hua、集成化方向發展。新型數字消費類電子產品的不斷湧現
，使得數字測試儀器和通用測試儀器不斷向高速和實時化方向演進；隨著新型元器件和新材料的不斷問世，超高頻
、大功率
、低噪聲集成電路的深入應用
，電子測量儀器的測試性能迅速提高，影響測量精度的不確定度越來越小，測量不斷接近其物理極限——真值。

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  （三）產業發展麵臨的環境

   當前，信息產業已成為我國國民經濟第一大支柱產業，形成了較完善的產業鏈，但總體上仍處於國際分工的中低端

，尤其是以軟件
、集成電路
、電(dian)子(zi)專(zhuan)用(yong)設(she)備(bei)和(he)儀(yi)器(qi)為(wei)代(dai)表(biao)的(de)核(he)心(xin)基(ji)礎(chu)產(chan)業(ye)與(yu)發(fa)達(da)國(guo)家(jia)存(cun)在(zai)著(zhe)很(hen)大(da)差(cha)距(ju)。要(yao)實(shi)現(xian)電(dian)子(zi)信(xin)息(xi)產(chan)業(ye)向(xiang)創(chuang)新(xin)效(xiao)益(yi)型(xing)轉(zhuan)變(bian)

，真(zhen)正(zheng)走(zou)上(shang)自(zi)主(zhu)發(fa)展(zhan)的(de)道(dao)路(lu)
，要(yao)求(qiu)我(wo)們(men)在(zai)“十一五”期間必須加快發展電子專用設備和儀器產業。隨著我國國民經濟的發展，工業基礎的增強，海外技術資源的增多，到“十一五”末，提高國產設備的配套能力
，部分關鍵設備接近國際先進水平是完全有可能的。

   “十一五”期間
，隨著國內信息產業的快速發展
，信息化建設的務實推進，數字電視、新一代移動通信
、xiayidaihulianwangchanyehuajinchengbuduanjiakuai
，shichangyingyongriquchengshu，jichengdianluhexinxingxianshiqijianshengchanguimodejinyibukuodaheshengchangongyidegengxinhuandai，weiguoneidianzizhuanyongshebeiheyiqichanyefazhanchuangzaoleguangkuodeshichangkongjian。

   黨的十七大報告明確提出要“振興裝備製造業”，國務院頒布的《國務院關於加快振興裝備製造業的若幹意見》和《信息產業“十一五”規劃》都將電子專用設備和儀器產業作為發展重點，《2006-2020年國家信息化發展戰略》把關鍵工藝裝備列為我國信息化發展的重點之一
，《國家中長期科技規劃》把(ba)極(ji)大(da)規(gui)模(mo)集(ji)成(cheng)電(dian)路(lu)製(zhi)造(zao)裝(zhuang)備(bei)及(ji)成(cheng)套(tao)工(gong)藝(yi)列(lie)為(wei)國(guo)家(jia)科(ke)技(ji)重(zhong)大(da)專(zhuan)項(xiang)，這(zhe)些(xie)措(cuo)施(shi)表(biao)明(ming)了(le)國(guo)家(jia)發(fa)展(zhan)電(dian)子(zi)專(zhuan)用(yong)設(she)備(bei)和(he)儀(yi)器(qi)產(chan)業(ye)的(de)決(jue)心(xin)
，也(ye)從(cong)政(zheng)策(ce)上(shang)為(wei)電(dian)子(zi)專(zhuan)用(yong)設(she)備(bei)和(he)儀(yi)器(qi)產(chan)業(ye)發(fa)展(zhan)創(chuang)造(zao)了(le)有(you)利(li)條(tiao)件(jian)。

   三、關於發展思路與目標

   根據對電子專用設備和儀器產業現有基礎的總結，對“十一五”期間市場需求、技術發展趨勢、麵臨的發展環境等分析，《專項規劃》提出了以下發展思路與目標。

  （一）發展思路

   《專項規劃》提出通過加大國際合作
，加強共性基礎技術研究，突破關鍵技術

，縮小與國際先進水平的差距的核心思路。出發點集中在三個方麵：首shou先xian，我wo國guo電dian子zi專zhuan用yong設she備bei和he儀yi器qi產chan業ye技ji術shu基ji礎chu薄bo弱ruo，自zi主zhu創chuang新xin能neng力li不bu足zu

，與yu國guo際ji先xian進jin水shui平ping存cun在zai明ming顯xian差cha距ju的de現xian狀zhuang
，決jue定ding了le我wo國guo在zai發fa展zhan該gai行xing業ye的de過guo程cheng中zhong必bi須xu注zhu重zhong加jia大da國guo際ji合he作zuo，通tong過guo引yin進jin消xiao化hua吸xi收shou和he合he作zuo開kai發fa來lai提ti升sheng產chan業ye技ji術shu水shui平ping，培pei養yang一yi批pi高gao素su質zhi的de人ren才cai。其qi次ci，作zuo為wei融rong合he眾zhong多duo學xue科ke的de綜zong合he性xing產chan業ye
，電dian子zi專zhuan用yong設she備bei和he儀yi器qi製zhi造zao業ye基ji礎chu性xing強qiang，關guan聯lian度du高gao，要yao加jia快kuai產chan業ye發fa展zhan，必bi須xu加jia強qiang共gong性xing基ji礎chu技ji術shu研yan究jiu，不bu斷duan加jia大da投tou入ru力li度du。第di三san，要yao本ben著zhe“有所為，有所不為”的原則

，抓住一些國內產業基礎相對好

、市場需求大的領域，集中力量，力爭掌握部分關鍵技術，擁有部分自主知識產權，不斷縮小與國際先進技術水平的差距。

   《專項規劃》提出以新興產業發展為契機帶動電子專用設備和儀器產業發展。數字電視、新一代移動通信和下一代互聯網等新興產業
，具有良好的技術基礎和廣闊的市場前景，當前正處在產品和技術更新換代、蓬勃發展的關鍵時期，新的生產工藝和技術要求為專用設備和儀器的發展創造了新的發展契機。把握機遇，將數字電視
、新一代移動通信和下一代互聯網等技術開發、產業化、標準化工作與相應的專用設備和儀器的研製有機結合，推動產用結合
，完全有可能實現關鍵領域的突破，這在TD-SCDMA產業化工作中已經得到了很好的驗證。

   平的戰略性產業，我國發展該類產業還麵臨國際先行國家在技術
、設she備bei和he元yuan器qi件jian采cai購gou等deng方fang麵mian的de限xian製zhi，將jiang與yu其qi相xiang關guan的de電dian子zi專zhuan用yong設she備bei和he儀yi器qi產chan業ye作zuo為wei發fa展zhan重zhong點dian，意yi在zai加jia強qiang政zheng策ce引yin導dao


，加jia大da投tou入ru力li度du，營ying造zao更geng有you利li於yu產chan業ye發fa展zhan的de環huan境jing，以yi電dian子zi專zhuan用yong設she備bei和he儀yi器qi產chan業ye的de繁fan榮rong發fa展zhan，促cu進jin戰zhan略lve性xing產chan業ye的de突tu破po。新xin型xing電dian子zi元yuan器qi件jian專zhuan用yong設she備bei、表(biao)麵(mian)貼(tie)裝(zhuang)和(he)支(zhi)持(chi)無(wu)鉛(qian)工(gong)藝(yi)的(de)整(zheng)機(ji)裝(zhuang)聯(lian)設(she)備(bei)

，及(ji)電(dian)子(zi)測(ce)量(liang)儀(yi)器(qi)

，是(shi)電(dian)子(zi)元(yuan)器(qi)件(jian)和(he)整(zheng)機(ji)研(yan)發(fa)和(he)製(zhi)造(zao)的(de)基(ji)礎(chu)與(yu)核(he)心(xin)，在(zai)我(wo)國(guo)信(xin)息(xi)產(chan)業(ye)快(kuai)速(su)發(fa)展(zhan)的(de)今(jin)天(tian)，市(shi)場(chang)前(qian)景(jing)也(ye)非(fei)常(chang)廣(guang)闊(kuo)，我(wo)國(guo)應(ying)在(zai)已(yi)有(you)產(chan)業(ye)基(ji)礎(chu)上(shang)，加(jia)強(qiang)引(yin)導(dao)，不(bu)斷(duan)加(jia)大(da)投(tou)入(ru)，提(ti)升(sheng)產(chan)品(pin)層(ceng)次(ci)和(he)競(jing)爭(zheng)力(li)，力(li)爭(zheng)實(shi)現(xian)部(bu)分(fen)產(chan)品(pin)能(neng)夠(gou)滿(man)足(zu)國(guo)內(nei)市(shi)場(chang)需(xu)要(yao)，並(bing)逐(zhu)步(bu)替(ti)代(dai)進(jin)口(kou)。

  （二）發展目標

   根據產業發展思路，在綜合分析國內外市場需求、技術發展等因素的基礎上，《專項規劃》從產業發展和技術創新兩方麵闡述了電子專用設備和儀器行業發展的目標。

   產業發展目標。《專項規劃》對電子專用設備和儀器分別提出了增長目標和國內市場占有率目標。“十五”期間
，我國電子專用設備產業規模的年均複合增長率約為17%，考慮到“十一五”國內電子信息產業規模將進一步擴大
，《專項規劃》提出了電子專用設備產業規模將保持年均25%增長速度的發展目標。相對於設備，電子測量儀器的更新換代率相對較低，《專項規劃》提出了“十一五”期間國內電子測量儀器產業規模將年均增長20%的發展目標。目前
，國產電子專用設備和儀器的市場占有率尚不足10%
，隨著國家產業政策的出台和落實、重大設備儀器關鍵技術陸續突破
、國產設備和儀器低成本優勢的發揮
，預計“十一五”期間國內電子專用設備和儀器產業將呈現快速發展態勢，到2010年國產設備和儀器的國內市場占有率有望突破20%。

   技術創新目標。基於我國電子專用設備和儀器產業的發展現狀，《專項規劃》對集成電路、平ping板ban顯xian示shi器qi件jian等deng戰zhan略lve性xing領ling域yu的de生sheng產chan設she備bei和he電dian子zi測ce量liang儀yi器qi提ti出chu了le技ji術shu創chuang新xin目mu標biao。在zai半ban導dao體ti和he集ji成cheng電dian路lu專zhuan用yong設she備bei方fang麵mian
，經jing過guo長chang期qi努nu力li，我wo國guo在zai光guang刻ke機ji、刻蝕機、離子注入機等關鍵設備領域已具備一定的研發基礎
，通過國家產業政策的落實、重大專項的扶持和國有相關單位的共同努力，到2010年實現12英寸部分生產設備上線使用，8英寸後端生產設備基本滿足國內市場需求是可能的。在平板顯示器件專用設備領域
，前端設備生產工藝複雜
、技術難度大
，國內產業基礎薄弱。但在後端設備方麵，中國電子科技集團第2
、45研究所、七星華創等企業已能夠提供部分TFT-LCD後工序設備和TN/STN-LCD後工序的全套係統集成解決方案，在此基礎上，通過國家平板顯示器件專項的扶持，鼓勵平板顯示器件產業發展政策的製定落實，到2010nianpingbanxianshiqijianhouduanshebeijiangjibennenggoulizuguonei。zaidianziceliangyiqilingyu，youyuxianyouchanyeguimoxiao，xiangguanjishuhechanyezhichengnengliruo，rencaiquefa，tourubuzu，quefahexinjishuhezizhuzhishichanquan，yinci

，《專項規劃》提出“初步掌握部分核心技術”的技術創新目標。
 
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  四、關於重點任務

   （一）電子專用設備

   ——半導體和集成電路專用設備

   半導體和集成電路專用設備是指製造各種半導體器件和集成電路的專用設備，包括晶片製備
、掩膜版製備、芯片製造、封裝測試、在線工藝檢測、超淨等設備和專用工模具，是電子專用設備中技術含量和價值最高、應(ying)用(yong)麵(mian)最(zui)廣(guang)的(de)一(yi)個(ge)門(men)類(lei)，其(qi)關(guan)鍵(jian)設(she)備(bei)涉(she)及(ji)的(de)專(zhuan)業(ye)學(xue)科(ke)廣(guang)泛(fan)，具(ju)有(you)很(hen)高(gao)的(de)製(zhi)造(zao)難(nan)度(du)。半(ban)導(dao)體(ti)和(he)集(ji)成(cheng)電(dian)路(lu)專(zhuan)用(yong)設(she)備(bei)在(zai)電(dian)子(zi)專(zhuan)用(yong)設(she)備(bei)中(zhong)占(zhan)據(ju)重(zhong)要(yao)位(wei)置(zhi)，其(qi)銷(xiao)售(shou)額(e)約(yue)占(zhan)電(dian)子(zi)專(zhuan)用(yong)設(she)備(bei)總(zong)銷(xiao)售(shou)額(e)的(de)20%。

   我國政府和產業界十分重視半導體和集成電路專用設備的發展，通過國家專項扶持
、營造環境吸引海外人才投資創業
、不斷完善產業發展環境，現已湧現出中國電子科技集團第45
、48研究所，七星華創，無錫尚德等一批擁有一定實力和發展潛力的骨幹企業，在前後工序生產設備、材料製備設備
、檢測設備等方麵已具備一定的產業和技術基礎。結合集成電路產業“十一五”規劃“重點發展12英寸集成電路生產線，建設5條以上12英寸
、90納米的芯片生產線
；建設10條8英寸0.13～0.11微米芯片生產線”的發展重點，《專業規劃》提出要重點發展8-12英寸集成電路關鍵生產設備
，如光刻設備
、刻蝕設備等芯片製造設備，鍵合設備、劃片機等封裝設備和專用模具等。同時

，考慮到化合物半導體具有獨特的技術優勢和應用領域，是新型半導體器件的重要材料，《專項規劃》提出要積極跟蹤化合物半導體技術，加快化合物半導體（GaAs、InP、GaN、SiC等）製造設備的研發和產業化。

   ——新型顯示器件專用設備

   新型顯示器件專用設備主要指平板顯示器件（FPD）生產設備
，FPD主要包括LCD（液晶顯示器件）、LED（發光二極管）、PDP（等離子體顯示器件）
、OLED（有機電致發光二極管）
、VFD（真空熒光顯示器件）和FED（場致發射顯示器件）等。

   根據信息產業“十一五”規劃、電子基礎材料和關鍵元器件“十一五”專項規劃“大力發展自主TFT-LCD
、PDP等新型平板顯示器件產業”
，“到2010年，建立較為完備的新型顯示器件生產體係
，產業鏈基本齊全，新型顯示器件產業規模達到2500億元，有較強的國際競爭力”的要求，考慮到至“十一五”末預計全球TFT-LCD
、PDP等平板顯示器件市場需求將超過1000億美元，《專項規劃》提出“十一五”期間首先要重點突破市場潛力大的TFT-LCD生產設備，積極開展麵板生產線陣列和成盒等前道工藝設備的研究開發，重點提高濕/幹法刻蝕機
、液晶灌注機等研製水平
，形成TFT-LCD移載、清洗等設備的配套能力。由於平板顯示技術目前處於百花齊放的競爭格局，《專項規劃》提出在發展TFT-LCD設備的同時

，也要加強高亮度LED、PDP和OLED等其他新型平板顯示器件關鍵生產設備的開發生產，為我國發展下一代平板顯示技術和產品提供支撐。

   ——電子整機裝聯設備

   電子整機裝聯設備包括表麵貼裝(SMT)設備
、通孔插裝(THT)設備、焊接設備、清洗設備、整機裝配線、生產傳輸線

、零件加工整形設備等。

   隨著全球電子信息產品整機製造業向我國轉移產能，消費電子、計算機及外設、通信係統與終端產品等電子整機產品生產對全自動精密貼片機
、精密印刷機、插裝機、自動光學檢測設備（AOI）等(deng)電(dian)子(zi)整(zheng)機(ji)裝(zhuang)聯(lian)設(she)備(bei)的(de)需(xu)求(qiu)增(zeng)長(chang)迅(xun)速(su)。為(wei)此(ci)，我(wo)們(men)要(yao)進(jin)一(yi)步(bu)加(jia)大(da)對(dui)該(gai)類(lei)設(she)備(bei)的(de)研(yan)發(fa)投(tou)入(ru)，積(ji)極(ji)推(tui)動(dong)產(chan)業(ye)化(hua)
，不(bu)斷(duan)擴(kuo)大(da)市(shi)場(chang)占(zhan)有(you)率(lv)。同(tong)時(shi)
，隨(sui)著(zhe)國(guo)內(nei)外(wai)對(dui)環(huan)境(jing)保(bao)護(hu)的(de)要(yao)求(qiu)日(ri)益(yi)嚴(yan)格(ge)，歐(ou)盟(meng)已(yi)於(yu)2006年開始實施《關於在電子電氣設備中限製使用某種危險物的指令》(ROHS指令)，為滿足產業對設備無鉛化的要求
，我們應高度重視，大力支持適應無鉛工藝的表麵貼裝設備的研發和產業化。

   ——新型電子元器件專用設備

   新型電子元器件專用設備主要包括表麵貼裝元器件(SMC/SMD)、敏感元器件、傳感器、高頻頻率器件、綠色電源等生產設備。

   “十一五”期間
，電子整機產品的更新換代對電子元器件和材料的需求進一步增長，也對電子元器件和材料行業的發展提出了更高要求。預計到2010年，國內電子元器件市場規模將達2.9萬億元

，新型元器件將向微型化、片式化、高性能化、集成化

、智能化、環保節能方向發展。微小型和片式化技術、無源集成技術、綠色化生產技術等已成為行業技術進步的重點，微電子機械係統(MEMS)和微組裝技術正的高速發展。為此，《專項規劃》提出要重點發展片式元器件
、新型綠色電池、新型印刷線路板等量大麵廣的新型元器件生產設備，高頻頻率器件生產設備、MEMS生產設備及電子專用工模具和高精度模具等
，為電子元器件產業的快速發展提供必需的裝備支撐。

   （二）電子測量儀器

   電子測量儀器主要包括通用測量儀器、電子基礎測量儀器和集成電路、通信、廣播電視、應用電子等專業測量儀器。

   根據行業“十一五”規劃發展，結合國內集成電路
、新型顯示器件、新型電子元器件等核心基礎產業的快速發展，新一代移動通信產業的蓬勃興起，廣播電視數字化進程不斷加快，《專項規劃》提出要加快發展集成電路測量儀器，新型顯示器件
、新型電子元器件等電子基礎測量儀器，以及新一代移動通信
、數字電視等測量儀器。同時，為滿足行業不斷發展的需要，為產業共性和基礎性技術研究提供支撐，要積極發展高性能通用測量儀器。

  五、關於政策措施

   為保障“十一五”期間我國電子專用設備和儀器產業發展目標的順利實現

，《專項規劃》從營造良好的政策環境、加大資金扶持力度、積極引進外商投資和加大國際合作等方麵提出了政策建議。具體措施包括：要積極落實《國務院關於加快振興裝備製造業的若幹意見》、《國務院關於實施<國家中長期科學和技術發展規劃綱要>若幹配套政策》等現有產業政策，適時修訂《產業結構調整指導目錄》，通過加大國家資金投入、稅收激勵、金融支持
、政府采購優先、鼓勵引進消化吸收再創新等手段，進一步營造良好的政策環境，促進產業發展。同時，要通過修訂《外商投資產業指導目錄》，調整關稅政策等措施，為國際優勢企業來我國投資創造有利環境
，不斷加大國際合作
，逐步提升產業技術水平和競爭能力。