據中國科學院力學研究所消息在中國科學院重大科研裝備研製項目的資助下，力學研究所國家微重力實驗室靳剛課題組成功研製出“光譜橢偏成像係統”及其實用化樣機。

　　該gai研yan究jiu是shi利li用yong高gao靈ling敏min的de光guang學xue橢tuo偏pian測ce量liang術shu
，同tong時shi結jie合he光guang譜pu性xing能neng及ji數shu字zi成cheng像xiang技ji術shu，具ju有you對dui複fu雜za二er維wei分fen布bu的de納na米mi層ceng構gou薄bo膜mo樣yang品pin的de快kuai速su光guang譜pu成cheng像xiang定ding量liang測ce量liang能neng力li。在zai中zhong科ke院yuan專zhuan家jia組zu對dui儀yi器qi性xing能neng和he各ge項xiang技ji術shu指zhi標biao進jin行xing現xian場chang測ce試shi的de基ji礎chu上shang
，驗yan收shou專zhuan家jia組zu一yi致zhi認ren為wei：係統為複雜橫向結構的大麵積多層納米薄膜樣品的快速表征和物性分析提供了有效手段，是一種納米薄膜三維結構表征的新方法。

　　光譜橢偏成像係統的特點在於：信息量大，可同時測量大麵積樣品上各微區的連續光譜橢偏參數，從而可以獲得相關材料物理參數(如厚度、介電函數、表麵微粗糙度、合成材料中的組分比例等)及其空間分布；空間分辨率高，對納米薄膜的縱向分辨和重複性均達到0.1nm、橫向分辨達到微米量級
；檢測速度快，單波長下獲得圖像視場內各微區(42萬像素以上)的橢偏參量(ψ和Δ)的采樣時間達到7秒
，比機械掃描式光譜橢偏儀提高2~3個量級；結果直觀，形成視場內對比測量，可準確定位和排除偽信號，這是單光束光譜橢偏儀所不具備的，並且係統自動化程度高，操作簡便。

　　該gai係xi統tong既ji可ke應ying用yong於yu單dan光guang束shu光guang譜pu橢tuo偏pian儀yi所suo覆fu蓋gai的de領ling域yu，也ye可ke應ying用yong於yu單dan波bo長chang或huo分fen立li波bo長chang的de橢tuo偏pian成cheng像xiang儀yi所suo涉she及ji的de領ling域yu，適shi合he同tong時shi需xu要yao高gao空kong間jian分fen辨bian和he光guang譜pu分fen辨bian測ce量liang的de納na米mi薄bo膜mo器qi件jian測ce量liang的de場chang合he
，這zhe將jiang為wei橢tuo偏pian測ce量liang開kai拓tuo新xin的de應ying用yong方fang向xiang。目mu前qian已yi成cheng功gong應ying用yong於yu“863”項目“針對腫瘤標誌譜無標記檢測蛋白質微陣列生物傳感器的研製”等研究工作中，並將在微/納製造、生物膜構造、新型電子器件
、生物芯片及高密度存儲器件等領域中發揮重要作用。