日前，8寸晶圓顯微鏡檢測係統經6個月的研發，在北京自動化技術研究院大興工業基地誕生，這是繼大氣型矽片專用機械手和wafer loader後的又一款新型機械手。這項技術完全由自動化院自主研發

、自行生產。整個係統由傳輸裝置、宏觀檢查裝置和顯微放大裝置組成，內部係統則是由第三代控製軟件來實現。

   8cunjingyuanxianweijingjiancexitongtongguojixieshoujiangjingyuancongpianhequchufangzaizhenkongxifutuopanshang，tongguoshubiaohuocaozuoanjiangaibianjingyuandezhuanxiangyichubujianzha。xianweijingpingtaikejinxingjingmijiance，nenggouguanchajingyuanweiguandekeli，huashang
，wurandengqingkuang。zhezhongjixieshoucaiyonglezhixianxingzhenkongxifujiegou，linghuokekao，xianweijingpingtainenggoutigong40-1000倍的觀察效果。它還可以提供多種靈活多變的晶圓檢測模式
，包含以下檢測內容：晶圓ID、晶圓notch的方向、晶圓旋轉角度及速度、晶圓微觀的晶格等，並能夠實現連續監控｡

   在整個研發過程中，機械設計、軟件設計、電dian路lu設she計ji和he氣qi路lu設she計ji都dou作zuo了le進jin一yi步bu的de改gai進jin和he優you化hua。其qi中zhong在zai軟ruan件jian部bu分fen
，實shi現xian了le模mo塊kuai化hua和he標biao準zhun化hua的de應ying用yong

，在zai設she備bei斷duan電dian或huo操cao作zuo不bu當dang等deng原yuan因yin出chu現xian設she備bei故gu障zhang時shi，調tiao試shi人ren員yuan也ye可ke以yi在zai最zui短duan時shi間jian內nei將jiang它ta恢hui複fu。在zai第di3dairuanjianbanbenzhong，gaishanlerenjijiaohujiemian
，shidecaozuozhekeyizaiyouhaodejiemianzhongyiyucaozuo，jiaohubianjie
，tongshiyebaozhengleshebeiyunxingdeanquanhewending。zaidianzidianlushejifangmianzhuyaokongzhiledianjihechuanganqifankuigeibankadexinhao，shidexinxijikeyijieshouyekeyifankui，xingchengbihuan。qizhongzaijixieshoudeweixianweizhishezhichuanganqi
，shiweilebimiantafashengpengzhuangheweixiandongzuo。