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MEMS工業成長健康 新應用切實的增長

http://www.kadhoai.com.cn 2026-04-07 13:50:35 來源:工業控製

  按Yole Developpement報道,全球MEMS工業正麵臨之前從未有過的停滯,2008年的銷售額下降2%,達68億美元,其2009年非常可能增長率小於1%。然而當汽車電子,工業壓力傳感器及打印頭市場隨著全球經濟下滑時,許多新的MEMS應用卻得到切實的增長。

  MEMS在消費類電子產品中,如加速度計,陀螺儀的市場繼續看好,推動供應商如STMicron,Invensense,其銷售額有10-30%增長。隨著MEMS在醫療電子和診斷設備的應用擴大,其市場繼續增大。今年新的內窺測量產品(IMU)開始啟動。它集成了多軸加速度計和陀螺儀功能,不但尺寸小,而且價格不到10美元,所以也推動了遊戲機,照相機防震及指示儀等新的應用。

  由於MEMS產品分散性大,與IC工業顯著下滑相比,MEMS工業仍是繼續健康的成長。Yole CEO說由於MEMS產品存在眾多的市場機會,相對全球MEMS市場看好。在全球MEMS市場達到68億美元情況下,僅隻有14家領先公司的銷售額超過1.5億美元,以及30家公司的銷售額大於2800萬美元。下圖為MEMS市場的預測:

  全球MEMS設備市場的情況就不一樣,2008年銷售額僅2億美元,相比與2007年的3,3億美元。盡管全球的經濟狀況仍很難確定,但是2009年MEMS設備市場按最好情況估計,也隻能達到與2008年時水平相近。

  MEMS設備的研發相對仍是健康。而部分專業的MEMS設備製造商由於為完成今年訂單而擴大產能。其中矽片鍵合設備和用於芯片堆疊封裝,TSV,圖象傳感器和納米印刷等其中的付蝕設備正從半導體應用轉向MEMS,並逐漸成為主流。

  MEMS有一種在手機中的應用正吸引眾多人的眼球,叫WiSpry可調諧式數字電容器。它的優點可以減少載波電平的功耗和手機成本。該公司在今年四月又得到1000 萬美元的資助資金,目前其產品正在某一手機製造商中進行驗證測試,並預計今年底可以量產。據Jeffery Hilbert總裁的看法,全球其餘的5家頂級手機製造商都有興趣導入此項技術,並正在進行相關設計及樣品的試製階段,另有兩家在評估之中。

  該公司提出一種平行板電容器新結構,其中一塊板是由180納米CMOS工藝製成的,而將MEMS置於CMOS的上麵,並且是可移動的,采用8英ying寸cun矽gui片pian工gong藝yi及ji矽gui片pian級ji封feng裝zhuang技ji術shu。然ran而er將jiang芯xin片pian與yu嵌qian入ru式shi被bei動dong元yuan件jian一yi起qi封feng裝zhuang在zai另ling一yi個ge封feng裝zhuang殼ke內nei。利li用yong這zhe些xie電dian容rong器qi的de開kai或huo關guan把ba它ta們men排pai列lie在zai一yi組zu陣zhen列lie中zhong可ke以yi實shi現xian各ge種zhong方fang式shi的de聯lian通tong,包bao括kuo如ru天tian線xian,放fang大da器qi及ji瀘lu波bo器qi等deng。其qi中zhong首shou位wei的de應ying用yong是shi可ke調tiao諧xie式shi天tian線xian,它ta利li用yong增zeng加jia或huo減jian少shao阻zu抗kang來lai調tiao正zheng手shou機ji的de功gong率lv,從cong而er實shi現xian手shou機ji的de功gong耗hao降jiang低di。下xia一yi步bu計ji劃hua是shi采cai用yong同tong樣yang結jie構gou用yong在zai更geng低di頻pin率lv及ji更geng小xiao的de天tian線xian之zhi中zhong。

  Hilbert談(tan)到(dao)未(wei)來(lai)的(de)軟(ruan)件(jian)可(ke)調(tiao)式(shi)陣(zhen)列(lie)可(ke)能(neng)應(ying)用(yong)於(yu)許(xu)多(duo)不(bu)同(tong)產(chan)品(pin)中(zhong)。因(yin)為(wei)手(shou)機(ji)製(zhi)造(zao)商(shang)要(yao)滿(man)足(zu)不(bu)同(tong)國(guo)家(jia)的(de)各(ge)種(zhong)不(bu)同(tong)的(de)客(ke)戶(hu)指(zhi)定(ding)需(xu)求(qiu)產(chan)品(pin),采(cai)用(yong)上(shang)述(shu)結(jie)構(gou)可(ke)以(yi)節(jie)省(sheng)材(cai)料(liao)費(fei)用(yong)以(yi)及(ji)加(jia)快(kuai)產(chan)品(pin)推(tui)向(xiang)市(shi)場(chang)。功(gong)耗(hao)降(jiang)低(di)可(ke)以(yi)轉(zhuan)換(huan)成(cheng)載(zai)波(bo)電(dian)平(ping)的(de)網(wang)絡(luo)效(xiao)率(lv),能(neng)使(shi)用(yong)戶(hu)提(ti)高(gao)遠(yuan)離(li)基(ji)站(zhan)的(de)使(shi)用(yong)能(neng)力(li)及(ji)延(yan)長(chang)手(shou)機(ji)電(dian)池(chi)的(de)使(shi)用(yong)壽(shou)命(ming)。

  另外,MEMS在生化醫療的應用中也得到實際的增長,如美國Proteus Biomedical公司(在加州紅杉城)正(zheng)把(ba)它(ta)的(de)係(xi)統(tong)應(ying)用(yong)於(yu)臨(lin)床(chuang)醫(yi)療(liao)中(zhong),它(ta)利(li)用(yong)傳(chuan)感(gan)器(qi)和(he)智(zhi)能(neng)控(kong)製(zhi)技(ji)術(shu)來(lai)進(jin)行(xing)肺(fei)結(jie)核(he)和(he)心(xin)髒(zang)病(bing)的(de)治(zhi)療(liao),實(shi)現(xian)心(xin)髒(zang)的(de)剌(la)激(ji)與(yu)疏(shu)通(tong)。其(qi)下(xia)一(yi)步(bu)更(geng)大(da)計(ji)劃(hua)是(shi)在(zai)現(xian)有(you)的(de)醫(yi)療(liao)技(ji)術(shu)中(zhong)作(zuo)植(zhi)入(ru)式(shi)應(ying)用(yong)。

  有項革命性的應用是植入式電極(implanted electrodes),它能剌激心髒內不同腔體位置使它們進行同步或再同步心跳的治療。公司的核心技術在於釆用芯片級封裝技術,將尺寸小於毫米的MEMS傳感器和處理器封裝係統放在人體的內部使用,而且可以維持好多年,來代替必須更多的插入導管來剌激心髒的不同位置。Proteus技術能在一根導管的兩條線上裝有16個ge電dian極ji,利li用yong起qi博bo器qi電dian源yuan能neng使shi傳chuan感gan器qi在zai心xin髒zang的de不bu同tong腔qiang體ti內nei移yi動dong,並bing剌la激ji產chan生sheng合he適shi的de收shou縮suo壓ya力li,最zui終zhong能neng將jiang訊xun息xi智zhi能neng化hua傳chuan出chu來lai。這zhe項xiang革ge命ming性xing的de創chuang新xin,把ba過guo去qu的de心xin髒zang撘撘橋qiao,插cha入ru導dao管guan的de方fang法fa改gai変変成cheng可ke移yi動dong的deMEMS傳感器,可以大大降低手術的難度與風險,可以想象未來應用在腦的剌激或者脊椎骨壓迫的修複等應用中,有著極其廣闊的應用前景。

  同樣未來的醫療服務也可能實現全程智能化。如醫療機構可以通過電話告訴患者服藥。Proteus已製造出矽基比毫米還小的傳感器,而這種傳感器可以與藥丸附在一起。當藥丸吞下遇到水時傳感器會自動打開,並能發出不是RF的(de)傳(chuan)導(dao)訊(xun)號(hao)。接(jie)受(shou)器(qi)可(ke)以(yi)用(yong)繃(beng)帶(dai)綁(bang)在(zai)皮(pi)膚(fu)表(biao)麵(mian)或(huo)者(zhe)皮(pi)下(xia)植(zhi)入(ru),以(yi)及(ji)象(xiang)一(yi)個(ge)起(qi)博(bo)器(qi)一(yi)樣(yang),然(ran)後(hou)將(jiang)數(shu)據(ju)通(tong)過(guo)電(dian)話(hua)或(huo)者(zhe)計(ji)算(suan)機(ji)網(wang)絡(luo)傳(chuan)輸(shu)出(chu)去(qu)。這(zhe)樣(yang)的(de)病(bing)人(ren)就(jiu)可(ke)以(yi)在(zai)家(jia)中(zhong),不(bu)必(bi)每(mei)天(tian)來(lai)到(dao)醫(yi)院(yuan)進(jin)行(xing)醫(yi)療(liao)診(zhen)斷(duan)。

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