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沈陽儀表院承擔的高性能矽電容差壓傳感器項目通過驗收
http://www.kadhoai.com.cn 2026-04-07 18:57:31
中國機械工業集團所屬沈陽儀表院“高性能矽電容差壓傳感器”項目日前順利通過驗收。該項目是沈陽儀表院承擔的2007年度企業技術創新計劃項目。該項目開發了一種適用於智能工業變送器用矽電容差壓傳感器的設計和工藝技術，在矽電容核心結構設計、電容封裝工藝及傳感器封裝結構方麵有創新，有效地解決了矽電容傳感器研製的工藝裝備難題。該項目完成後，將實現年產10萬隻傳感器芯片，1.5萬台傳感器的生產能力，年產值達1000萬元，產品可廣泛應用於航空、航天、石油化工、能源電力、冶金、機械、電子、環保等各個領域。
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