隻有1.5毫米大小的智能灰塵、微型AI殺人蜂（無人機）
、精巧的AirPods Pro
，所有這一切的高科技產品和新應用
，都離不開一個小器件——MEMS智能傳感器。11月24日
，第三屆中國MEMS智能傳感器產業發展大會在安徽省蚌埠市舉行。在本次大會上，來自蘇州明皜（蘇州固锝參股子公司）、大立科技
、賽迪顧問等的業內人士介紹了MEMS智能傳感器的廣闊市場前景。

瞄準產業機遇，安徽省將MEMS智(zhi)能(neng)傳(chuan)感(gan)器(qi)作(zuo)為(wei)半(ban)導(dao)體(ti)產(chan)業(ye)發(fa)展(zhan)的(de)重(zhong)點(dian)。在(zai)本(ben)次(ci)大(da)會(hui)上(shang)
，安(an)徽(hui)省(sheng)智(zhi)能(neng)傳(chuan)感(gan)器(qi)產(chan)業(ye)創(chuang)新(xin)聯(lian)盟(meng)舉(ju)行(xing)了(le)成(cheng)立(li)儀(yi)式(shi)，擁(yong)有(you)華(hua)東(dong)光(guang)電(dian)集(ji)成(cheng)器(qi)件(jian)研(yan)究(jiu)所(suo)、凱盛科技等MEMS研究所企業，蚌埠市已經成為中國三大傳感器研發製造基地之一。

千億級市場 地方政府爭相布局

MEMS傳感器正被廣泛應用於各類智能終端

、智能汽車、生物醫療等眾多領域

，需求量與日俱增。清華大學副校長尤政認為，我國MEMS產業正在迎來發展機遇。

小身材大市場。賽迪顧問副總裁李珂以汽車領域為例介紹
，預計到2020年，中國的汽車電子市場規模將超過9000億元，其中傳感器的市場規模已經接近2000億元；未來幾年，汽車用傳感器市場將保持2位數增長，迅速達到4000億元規模。

“MEMS智能傳感器是一個非常重要的電子信息產業門類，也是我們所確定的五大高端芯片產業之一，我們要把MEMS智能傳感器作為重點來發展。”國家集成電路產業投資基金（簡稱“大基金”）總裁丁文武在致辭中透露。他介紹，近幾年，我國MEMS智能傳感器連續保持年均15%至20%的增長率。

安(an)徽(hui)多(duo)措(cuo)並(bing)舉(ju)加(jia)快(kuai)智(zhi)能(neng)傳(chuan)感(gan)器(qi)發(fa)展(zhan)。在(zai)本(ben)次(ci)論(lun)壇(tan)上(shang)

，安(an)徽(hui)省(sheng)智(zhi)能(neng)傳(chuan)感(gan)器(qi)產(chan)業(ye)創(chuang)新(xin)聯(lian)盟(meng)舉(ju)行(xing)了(le)成(cheng)立(li)儀(yi)式(shi)，中(zhong)科(ke)銥(yi)航(hang)公(gong)司(si)和(he)經(jing)開(kai)區(qu)管(guan)委(wei)會(hui)簽(qian)約(yue)基(ji)於(yu)5G的智慧交通大數據平台項目等四個重大項目也進行了現場簽約。

據介紹，依托華東光電集成器件研究所（隸屬中國兵器工業集團）
、凱kai盛sheng科ke技ji等deng一yi批pi智zhi能neng傳chuan感gan器qi研yan發fa設she計ji製zhi造zao企qi業ye，蚌beng埠bu市shi已yi經jing成cheng為wei中zhong國guo三san大da傳chuan感gan器qi研yan發fa製zhi造zao基ji地di之zhi一yi，成cheng為wei安an徽hui省sheng唯wei一yi同tong時shi擁yong有you集ji成cheng電dian路lu及jiMEMS晶圓生產線的城市。

看好產業前景，多地積極布局智能傳感器產業。今年8月，重慶市傳感器特色產業基地揭牌
，重慶已經形成以川儀股份
、中移物聯網等為代表的智能傳感器產業集群。10月份

，鄭州市提出將在高新區打造一個3至4平方公裏的中國（鄭州）智能傳感穀。陝西省也成立了傳感器產業創新戰略聯盟。

產業鏈初形成 上市公司多有突破

得益於消費電子、軍工等需求推動，MEMS傳感器正在迎來更快的發展，相關上市公司也開始嶄露頭角。

“除了軍工應用外
，汽車
、消費電子、環境感知可能將三分天下。”在本次論壇上，尤政介紹，傳統汽車中有200多個傳感器
，其中80%都是由MEMS工藝來實現的；新能源車減少了燃燒相關傳感器
，但增加了更多的電子係統傳感器
，其成本占比更高。

“中國的MEMS產業鏈已經初步形成。”蘇州明皜副總裁錢春華介紹了中國MEMS產業現狀。在傳感器設計領域

，除了蘇州明皜，他還提到了瑞聲科技、歌爾股份、敏芯股份、美新半導體
、矽睿科技等。

蘇(su)州(zhou)固(gu)锝(de)近(jin)日(ri)在(zai)接(jie)受(shou)調(tiao)研(yan)時(shi)表(biao)示(shi)，蘇(su)州(zhou)明(ming)皜(皜)持(chi)續(xu)導(dao)入(ru)新(xin)客(ke)戶(hu)，新(xin)產(chan)品(pin)矽(gui)麥(mai)克(ke)風(feng)已(yi)經(jing)批(pi)量(liang)出(chu)貨(huo)。記(ji)者(zhe)注(zhu)意(yi)到(dao)，敏(min)芯(xin)股(gu)份(fen)申(shen)請(qing)科(ke)創(chuang)板(ban)上(shang)市(shi)已(yi)進(jin)入(ru)問(wen)詢(xun)階(jie)段(duan)，公(gong)司(si)本(ben)次(ci)公(gong)開(kai)發(fa)行(xing)擬(ni)融(rong)資(zi)7.07億元。

錢春華介紹，在MEMS傳感器製造環節，國內相關公司有中芯國際
、華虹宏力
、耐威科技、華潤微電子，蘇州固锝、華天科技、長電科技等則具有相關封裝技術。

此外，部分初創公司、研究所已經崢嶸初現。比如
，北京久好點子的壓力傳感器已廣泛應用到汽車、工業等領域。擁有獨特的SOI體矽工藝，華東光電集成器件研究所研發了一係列的產品
，廣泛應用於車輛導航、姿態控製、平台穩定等方麵。在本次大會上
，其發布了低成本MEMS陀螺儀

，大量程、耐過載MEMS陀螺儀等多款產品。