http://www.kadhoai.com.cn 2026-04-08 08:08:24 來源:科技日報
微(wei)機(ji)電(dian)係(xi)統(tong)在(zai)未(wei)來(lai)的(de)高(gao)科(ke)技(ji)領(ling)域(yu)有(you)很(hen)大(da)的(de)應(ying)用(yong)潛(qian)力(li),但(dan)目(mu)前(qian)它(ta)們(men)也(ye)有(you)一(yi)個(ge)難(nan)以(yi)克(ke)服(fu)的(de)缺(que)陷(xian),那(na)就(jiu)是(shi)計(ji)量(liang)結(jie)果(guo)不(bu)夠(gou)精(jing)確(que),彼(bi)此(ci)之(zhi)間(jian)存(cun)在(zai)偏(pian)差(cha)。據(ju)《大眾科學》雜誌網站8月10ribaodao,meiguopududaxuedeyanjiurenyuanxianyizhaodaoleyizhongfangfa,keyirangweijidianxitongjinxingziwoxiaozhun,zheyiyanjiuchengguoyouwangdakaiyanfageleichaogaojingdudechuanganqiheshebeidedamen,kezaiyixue、工程以及國防領域發揮作用。
微(wei)機(ji)電(dian)係(xi)統(tong)的(de)尺(chi)寸(cun)不(bu)到(dao)一(yi)納(na)米(mi),在(zai)如(ru)此(ci)微(wei)小(xiao)的(de)尺(chi)度(du)上(shang)製(zhi)造(zao)這(zhe)種(zhong)設(she)備(bei)難(nan)免(mian)會(hui)存(cun)在(zai)誤(wu)差(cha),要(yao)保(bao)證(zheng)生(sheng)產(chan)出(chu)的(de)微(wei)機(ji)電(dian)係(xi)統(tong)完(wan)全(quan)一(yi)致(zhi)是(shi)不(bu)太(tai)可(ke)能(neng)的(de)。既(ji)然(ran)沒(mei)有(you)可(ke)靠(kao)的(de)方(fang)法(fa)來(lai)製(zhi)造(zao)兩(liang)個(ge)一(yi)模(mo)一(yi)樣(yang)的(de)微(wei)機(ji)電(dian)係(xi)統(tong),就(jiu)必(bi)須(xu)采(cai)用(yong)一(yi)些(xie)校(xiao)準(zhun)手(shou)段(duan)來(lai)盡(jin)量(liang)避(bi)免(mian)或(huo)者(zhe)減(jian)小(xiao)它(ta)們(men)在(zai)計(ji)量(liang)時(shi)彼(bi)此(ci)之(zhi)間(jian)的(de)誤(wu)差(cha)。然(ran)而(er),要(yao)想(xiang)在(zai)這(zhe)種(zhong)微(wei)觀(guan)尺(chi)度(du)上(shang)進(jin)行(xing)距(ju)離(li)或(huo)者(zhe)力(li)的(de)測(ce)量(liang)同(tong)樣(yang)非(fei)常(chang)困(kun)難(nan),因(yin)此(ci),到(dao)目(mu)前(qian)為(wei)止(zhi),還(hai)沒(mei)有(you)確(que)定(ding)一(yi)套(tao)標(biao)準(zhun)來(lai)校(xiao)準(zhun)兩(liang)個(ge)微(wei)機(ji)電(dian)係(xi)統(tong)的(de)功(gong)能(neng),以(yi)使(shi)它(ta)們(men)的(de)性(xing)能(neng)和(he)計(ji)量(liang)方(fang)式(shi)完(wan)全(quan)一(yi)樣(yang)。
而(er)普(pu)渡(du)大(da)學(xue)開(kai)發(fa)的(de)這(zhe)項(xiang)被(bei)稱(cheng)為(wei)微(wei)電(dian)計(ji)量(liang)的(de)新(xin)技(ji)術(shu),可(ke)幫(bang)助(zhu)工(gong)程(cheng)師(shi)確(que)定(ding)施(shi)加(jia)於(yu)微(wei)機(ji)電(dian)係(xi)統(tong)器(qi)件(jian)上(shang)的(de)力(li)的(de)大(da)小(xiao)。微(wei)電(dian)計(ji)量(liang)技(ji)術(shu)通(tong)過(guo)測(ce)量(liang)微(wei)機(ji)電(dian)係(xi)統(tong)的(de)電(dian)子(zi)特(te)性(xing)來(lai)定(ding)義(yi)其(qi)機(ji)械(xie)特(te)性(xing),因(yin)為(wei)在(zai)這(zhe)樣(yang)的(de)微(wei)觀(guan)尺(chi)度(du)上(shang),電(dian)子(zi)特(te)性(xing)比(bi)物(wu)理(li)力(li)更(geng)易(yi)測(ce)量(liang)。一(yi)旦(dan)獲(huo)得(de)了(le)微(wei)機(ji)電(dian)係(xi)統(tong)器(qi)件(jian)的(de)電(dian)容(rong)數(shu)據(ju),研(yan)究(jiu)人(ren)員(yuan)就(jiu)能(neng)精(jing)確(que)計(ji)算(suan)出(chu)其(qi)形(xing)狀(zhuang)、硬度和受力大小。
更準確地說,可自我校準的微機電係統意味著性能更優、更geng便bian宜yi的de原yuan子zi力li顯xian微wei鏡jing,能neng夠gou開kai展zhan更geng有you效xiao的de生sheng物wu技ji術shu和he納na米mi技ji術shu研yan究jiu的de高gao功gong率lv實shi驗yan室shi工gong具ju,可ke嗅xiu探tan出chu化hua學xue威wei脅xie的de超chao靈ling敏min傳chuan感gan器qi,甚shen至zhi可ke用yong於yu追zhui蹤zong或huo確que定ding犯fan罪zui嫌xian疑yi人ren的de超chao靈ling敏min“芯片鼻”。