日前

，從國家自然科學基金委員會獲悉，沈陽儀表研究院與沈陽工業大學聯合申報的“高固有頻率納米膜壓阻加速度傳感器研究”項目獲得立項批複


，項目總經費78萬元，執行年限2014年1月至2017年12月。

　　該獲批立項項目，將基於納米功能材料設計一種帶有主梁和超薄敏感微梁的MEMS加速度傳感器。利用納米膜壓阻微梁之超常的機械特性和良好的壓阻特性，提高靈敏度，改善溫度特性；通(tong)過(guo)對(dui)該(gai)敏(min)感(gan)結(jie)構(gou)之(zhi)主(zhu)梁(liang)和(he)微(wei)梁(liang)的(de)合(he)理(li)設(she)計(ji)
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；突破微梁加工和芯片鈍化、fengzhuangdengguanjianjishu，yanzhichuxinxingjiasuduchuanganqiyangpin，bingzuizhongyanzhengzhezhongyazujiasuduchuanganqidekexingxingjiyoushi。gaixiangmudekaizhankewangzaisuidaoyazuxiaoying
、namifuhemoweilianglixuetexingyijixinxingjiasuduchuanganqijishudengfangmiandeyanjiuzhonghuodechuangxinxingchengguo。zaichuanganjishuriyishoudaogaoduzhongshidebeijingxia
，zhexiechengguojiangjuyouguangkuodeyingyongqianjing。