近日，國家工業和信息化部下發意見函，中國工程院組織遴選的MEMS傳感器產業化等16個項目，擬作為《中國製造2025》2017年重大標誌性項目。其中
，由清華大學與淄博高新區合作建設的MEMS傳感器產業化項目位列其中，這是山東省唯一入選的項目。

MEMS傳感器產業化項目是國高(淄博)微係統科技有限公司、淄博高新技術產業開發區MEMS研究院等單位共同建立的國內一流的MEMS代工線。MEMS代工線是國內首家專業化的中試代工平台，也是山東省第一家批量生產微型傳感器的專業化平台。MEMS技術是特征尺度跨越微米和納米兩個鄰接微小領域的高新技術，也是信息化、智能化的關鍵核心技術，MEMS傳感器技術具有微型化、低成本
、低功耗、高可靠、高性能等諸多優勢
，是當今世界製造業的趨勢和熱點。

據MEMS傳感器產業化項目負責人介紹，國高(淄博)微係統公司擁有先進的代工模式
，從自主知識產權
、生產控製等方麵全方位入手，以智能製造設備應用、裝置自動化方案為基礎，在實現各項生產經營管理工作信息化的同時
，有效打通了企業智能製造的數據通道。

MEMS孵化器已建成10萬平方米

，形成穩定的45個單項工藝和17個產品工藝流程。國家高新區MEMS研究院成立了國內MEMS領域15名頂尖專家組成的專家委員會，負責高精度陀螺儀、MEMS繼電器和加速度計等器件研發
，引領平台的發展方向及工藝評審。去年9月份
，清華大學
、同方股份、淄博高新區三方達成戰略合作協議，研究院建設、平台發展、基金設立
、項目落地
、產業園區建設等協議內容的各項工作正在快速推進。高新區將在現有加工設備條件和環境下，開展MEMS製(zhi)造(zao)技(ji)術(shu)封(feng)裝(zhuang)與(yu)裝(zhuang)配(pei)過(guo)程(cheng)中(zhong)關(guan)鍵(jian)技(ji)術(shu)的(de)研(yan)究(jiu)和(he)開(kai)發(fa)，真(zhen)正(zheng)解(jie)決(jue)其(qi)關(guan)鍵(jian)技(ji)術(shu)形(xing)成(cheng)核(he)心(xin)發(fa)明(ming)專(zhuan)利(li)，為(wei)進(jin)一(yi)步(bu)的(de)產(chan)業(ye)化(hua)奠(dian)定(ding)良(liang)好(hao)的(de)知(zhi)識(shi)產(chan)權(quan)基(ji)礎(chu)。