比利時IMEC與荷蘭HolstCentre開發出了高靈敏度的氣體傳感器。該傳感器可以檢測出濃度在ppm級別的氣體。新產品的尺寸也小於原產品
，可作為“ElectronicNose（電子鼻）”用於食品管理
、醫療保健以及檢測氣體泄漏等用途。

   該氣體傳感器如同在電路上集成了IC那樣，在9mm×9mm的芯片上集成了160個小型MEMS。每個MEMS都是“橋”狀振子的一種

，嵌入在壓電材料中。

   檢測氣體的原理如下。首先

，事先在該傳感器芯片上塗布高分子材料
，目的是吸附希望檢測到的特定氣體。吸附氣體後，MEMS的共振頻率會發生變化，因此壓電材料產生的電位頻率也會發生變化。由此可以檢測出氣體的吸附情況。

   吸附劑可以通過噴墨的方式分別塗布在每個MEMS上。由此還可以檢測出混合氣體中的各種成分比。

   傳感器的功耗方麵，每個MEMS均不到1μW。

   目前，IMECdengzhengzaituijinjianggaichuanganqixinpianyuxinhaoduqudianlujichengzaiyimeixinpianshangdekaifagongzuo。muqianshiyongdexifujizuhe
，keyibianshiputaojiuhenailaodexiangwei。jujieshao，jianglaiyoukenengyongyushibierendexiaochuan
、肺癌以及腎髒病等。