http://www.kadhoai.com.cn 2026-04-07 23:57:20 來源:Advanced Energy
這款 Ascent® SMS AP 電源配備性能更高的電弧管理功能,另外還內置製程工藝特性分析功能,因此可以通過配置優化產量和生產良率
Advanced Energy (Nasdaq: AEIS) 一直致力於開發各種先進的高精度電源轉換、測量和控製係統等解決方案,這方麵的技術更一直領先全球。該公司宣布推出等離子電源係列的另一款新產品,這款全新的10kW脈衝直流電源不但配備領先業界的電源和控製功能,而且還預裝了 PowerInsight by Advanced Energy™ 這套嵌入式製程工藝優化程序。這款 Ascent® SMS AP (先進脈衝) 電dian源yuan配pei備bei已yi注zhu冊ce專zhuan利li的de脈mai衝chong技ji術shu,成cheng功gong將jiang優you化hua的de電dian弧hu管guan理li和he精jing確que的de等deng離li子zi電dian源yuan控kong製zhi功gong能neng引yin進jin到dao技ji術shu要yao求qiu極ji為wei嚴yan格ge的de薄bo膜mo沉chen積ji應ying用yong之zhi中zhong,其qi中zhong包bao括kuo半ban導dao體ti以yi至zhi太tai陽yang能neng光guang伏fu電dian池chi生sheng產chan等deng方fang麵mian的de應ying用yong。

這款10kW Ascent SMS AP 電源的外型小巧,但其安全工作區(SOA)範圍極為寬廣,例如峰值電壓高達1200V,而頻率則介於0.5至150kHz之間。這款電源的漸進式電弧管理係統共有4個(ge)不(bu)同(tong)的(de)單(dan)元(yuan),而(er)且(qie)可(ke)支(zhi)持(chi)全(quan)範(fan)圍(wei)反(fan)向(xiang)電(dian)壓(ya)操(cao)作(zuo),是(shi)目(mu)前(qian)業(ye)界(jie)極(ji)為(wei)先(xian)進(jin)的(de)電(dian)源(yuan)解(jie)決(jue)方(fang)案(an),所(suo)存(cun)儲(chu)的(de)電(dian)弧(hu)能(neng)量(liang)最(zui)少(shao),而(er)且(qie)所(suo)提(ti)供(gong)的(de)電(dian)弧(hu)參(can)數(shu)均(jun)可(ke)自(zi)我(wo)調(tiao)節(jie),讓(rang)有(you)關(guan)參(can)數(shu)可(ke)以(yi)按(an)照(zhao)製(zhi)程(cheng)工(gong)藝(yi)步(bu)伐(fa)靈(ling)活(huo)調(tiao)節(jie)。其(qi)中(zhong)輸(shu)出(chu)的(de)先(xian)進(jin)脈(mai)衝(chong)(AP)波形可以支持升壓、反向電壓控製以及先進脈衝整形等功能,以便因應薄膜型態和要求的薄膜特性實現波形的微調。
Advanced Energy 等離子電源產品高級市場營銷總監 Dhaval Dhayatkar 表示:「Advanced Energy 將jiang會hui繼ji續xu致zhi力li於yu提ti升sheng脈mai衝chong直zhi流liu電dian源yuan的de性xing能neng,確que保bao這zhe係xi列lie產chan品pin適shi用yong於yu單dan靶ba磁ci控kong濺jian射she方fang麵mian的de應ying用yong,而er且qie還hai有you舊jiu式shi產chan品pin所suo無wu的de適shi應ying能neng力li。這zhe款kuan全quan新xin的de10kW Ascent SMS AP 電源充分利用 Advanced Energy 的許多尖端技術,其中包括可高度配置的波形、漸進式電弧管理、優於同級產品的安全工作區(SOA)範圍、寬廣的頻率範圍、以及我們公司的 PowerInsight 製程工藝優化軟件,讓我們的客戶可將先進半導體製程工藝技術的精準度、可重複性和生產良率提升至最高的水平。」
這款全新的電源產品是 Advanced Energy 首款預裝了 PowerInsight 製程工藝特性分析應用程序和相關優化軟件的電源。這套PowerInsight軟件可搜集、分fen析xi和he轉zhuan譯yi來lai自zi關guan鍵jian饋kui電dian係xi統tong的de資zi料liao,讓rang用yong戶hu可ke利li用yong這zhe些xie極ji為wei實shi用yong的de資zi料liao優you化hua製zhi程cheng工gong藝yi,以yi提ti升sheng產chan量liang和he生sheng產chan良liang率lv,以yi及ji減jian少shao無wu法fa預yu測ce的de製zhi程cheng工gong藝yi設she備bei故gu障zhang停ting機ji時shi間jian。由you於yu Advanced Energy 這係列脈衝直流電源內置 PowerInsight 軟件,因此可減少出現電弧的次數,並可提高沉積率,改善薄膜層的形態和特性。