智能潔淨室技術為IC製造保駕護航

　　——訪中電四公司市場管理中心總經理張琪

　　隨著市場環境的優化升級和國家政策的有利驅動，新能源汽車、智能駕駛
、智能終端和5G等(deng)下(xia)遊(you)行(xing)業(ye)對(dui)集(ji)成(cheng)電(dian)路(lu)的(de)需(xu)求(qiu)激(ji)增(zeng)。而(er)作(zuo)為(wei)典(dian)型(xing)的(de)高(gao)精(jing)尖(jian)產(chan)業(ye)

，集(ji)成(cheng)電(dian)路(lu)的(de)製(zhi)造(zao)對(dui)生(sheng)產(chan)環(huan)境(jing)和(he)工(gong)藝(yi)的(de)要(yao)求(qiu)極(ji)為(wei)苛(ke)刻(ke)。其(qi)中(zhong)，潔(jie)淨(jing)室(shi)的(de)建(jian)設(she)是(shi)集(ji)成(cheng)電(dian)路(lu)製(zhi)造(zao)中(zhong)的(de)關(guan)鍵(jian)環(huan)節(jie)，對(dui)最(zui)終(zhong)產(chan)品(pin)的(de)性(xing)能(neng)具(ju)有(you)至(zhi)關(guan)重(zhong)要(yao)的(de)影(ying)響(xiang)。

　　作為我國最早專業從事潔淨室機電設備安裝的工程公司之一，中國電子係統工程第四建設有限公司（以下簡稱“中電四公司”）可為集成電路製造企業提供設計、采購
、項目管理、施工

、設施管理、潔淨室配套產品製造等一體化“交鑰匙”工程服務。

　　2021年，在為北京集電控股有限公司（以下簡稱“北京集電”）建jian設she集ji成cheng電dian路lu車che間jian潔jie淨jing室shi項xiang目mu中zhong，中zhong電dian四si公gong司si為wei滿man足zu客ke戶hu對dui環huan境jing監jian測ce的de高gao精jing度du和he高gao穩wen定ding性xing要yao求qiu，選xuan擇ze與yu維wei薩sa拉la合he作zuo，將jiang工gong業ye用yong溫wen濕shi度du變bian送song器qiHMT330、本質安全型溫濕度變送器HMT370EX和溫濕度變送器HMT120等係列產品，成功應用於北京集電廠房潔淨室。自應用以來，相關儀表和變送器運行穩定，測量準確。

　　纖毫必顯 打造高標準的潔淨車間

　　穿(chuan)戴(dai)嚴(yan)密(mi)封(feng)閉(bi)的(de)特(te)製(zhi)防(fang)護(hu)服(fu)和(he)鞋(xie)套(tao)
，經(jing)過(guo)嚴(yan)格(ge)的(de)車(che)間(jian)消(xiao)殺(sha)流(liu)程(cheng)，再(zai)通(tong)過(guo)數(shu)道(dao)相(xiang)互(hu)獨(du)立(li)隔(ge)離(li)的(de)車(che)間(jian)閘(zha)門(men)
，操(cao)作(zuo)員(yuan)方(fang)能(neng)進(jin)入(ru)標(biao)準(zhun)嚴(yan)苛(ke)的(de)集(ji)成(cheng)電(dian)路(lu)廠(chang)房(fang)潔(jie)淨(jing)室(shi)。不(bu)同(tong)於(yu)一(yi)般(ban)工(gong)業(ye)品(pin)，集(ji)成(cheng)電(dian)路(lu)從(cong)單(dan)晶(jing)矽(gui)片(pian)製(zhi)造(zao)到(dao)IC製造再到IC封裝的重要步驟，均需在潔淨室中完成。無論是微小的粉塵和碎屑，還是無形的環境溫度和濕度等
，都將對製造過程產生重大影響。

　　“集成電路的製造對生產環境的要求非常高，需要對溫度

、濕度等參數進行極為精確
、穩定的測量，從而確保生產環境的穩定可靠。”中電四公司市場管理中心總經理張琪表示
，“2020nian，zaozaibeijingjidianjiejingshixiangmudetoubiaojieduan，womenzhidaoweisaladexiangguanchanpinkewanquanmanzukehuduiwenshiduceliangdekekexuqiu。yushi
，womenjuedingcaiyongweisalachanpinzuoweiceliangyibiaojinxingtoubiao，youciyekaiqileyuweisalayixiliedeshenduhezuo。”

　　隨(sui)著(zhe)我(wo)國(guo)集(ji)成(cheng)電(dian)路(lu)製(zhi)造(zao)工(gong)藝(yi)的(de)升(sheng)級(ji)，其(qi)製(zhi)造(zao)過(guo)程(cheng)需(xu)要(yao)的(de)潔(jie)淨(jing)程(cheng)度(du)也(ye)水(shui)漲(zhang)船(chuan)高(gao)



，這(zhe)對(dui)於(yu)潔(jie)淨(jing)室(shi)的(de)建(jian)設(she)提(ti)出(chu)了(le)越(yue)來(lai)越(yue)高(gao)的(de)要(yao)求(qiu)。據(ju)介(jie)紹(shao)，北(bei)京(jing)集(ji)電(dian)所(suo)製(zhi)造(zao)的(de)集(ji)成(cheng)電(dian)路(lu)工(gong)藝(yi)目(mu)前(qian)已(yi)突(tu)破(po)28納米，對應的潔淨室環境溫度誤差為±0.3°C，濕度誤差為±3%。一旦溫度和濕度突破限定誤差
，將顯著影響產品的良品率、使用性能和可靠性。

　　針對上述應用環境，維薩拉的多款產品如HMT330、HMT120和HMT370EX在其中扮演重要角色。其中
，HMT330可在惡劣環境中和苛刻需求下實現精準測量，還可針對不同的應用環境實現定製

，從而滿足多樣的客戶需求。HMT120則是一款專為潔淨室等環境打造的溫濕度變送器
，智能測量探頭可現場更換
，輕鬆實現測量的可追溯性。

　　值得一提的是具有“本質安全”功能的溫濕度變送器HMT370EX。即(ji)使(shi)在(zai)誤(wu)操(cao)作(zuo)或(huo)發(fa)生(sheng)故(gu)障(zhang)的(de)情(qing)況(kuang)下(xia)，這(zhe)款(kuan)產(chan)品(pin)也(ye)不(bu)會(hui)造(zao)成(cheng)事(shi)故(gu)或(huo)設(she)備(bei)損(sun)壞(huai)。截(jie)至(zhi)目(mu)前(qian)
，該(gai)產(chan)品(pin)已(yi)獲(huo)得(de)多(duo)項(xiang)本(ben)質(zhi)安(an)全(quan)認(ren)證(zheng)。除(chu)測(ce)量(liang)相(xiang)對(dui)濕(shi)度(du)和(he)溫(wen)度(du)外(wai)，HMT370EX還支持輸出其他濕度參數，如露點溫度
、濕球溫度、絕對濕度、混合比、水濃度、水質量分數、水汽壓和焓值。

　　“維薩拉產品的測量精度不僅完全滿足了潔淨室的設計標準

，更大幅壓縮了標準誤差的範圍：將其降低至標杆誤差的三分之一
，達到了濕度±1%、溫度±0.1°C，充分保障了潔淨室的可靠運行。”張琪補充道，“出於項目整體精度和穩定性的考慮，維薩拉的測量儀表成為我們這個項目的理想選擇。”

　　MAU係統中的 HMT330

　　擊破阻隔 跨越重洋的迅疾響應

　　對dui於yu高gao精jing尖jian的de工gong程cheng建jian設she而er言yan，時shi效xiao的de重zhong要yao性xing不bu言yan而er喻yu。項xiang目mu所suo需xu的de各ge項xiang產chan品pin和he材cai料liao往wang往wang有you著zhe嚴yan格ge的de供gong貨huo周zhou期qi
，某mou項xiang關guan鍵jian材cai料liao的de缺que失shi
，將jiang直zhi接jie影ying響xiang項xiang目mu的de進jin度du。而er全quan球qiu疫yi情qing的de起qi伏fu不bu定ding，給gei產chan品pin的de供gong貨huo時shi效xiao增zeng添tian了le一yi抹mo不bu確que定ding性xing。

　　“國際物流需提前預定，疊加疫情影響
，一些稀缺的材料和產品需要提前半年甚至更久預定。”張琪表示
，“然而北京集電的項目周期非常緊張，高質量的測量產品對項目的完成意義重大，我們一度非常擔心維薩拉的產品能否及時到貨。”

　　事急從權。在產品供貨緊張的背景下，維薩拉及其代理商積極配合，在與中電四公司達成初步購買意向、尚未簽署正式購買合同時
，提前鎖定了項目所需的產品，並充分協調內外部資源
，將產品如期送抵客戶手中。

　　具有“本質安全”功能的溫濕度變送器HMT370EX

　　“beijingjidiandexiangmuruqijungong，gexiangzhibiaojundadaoleyuqishuiping。jiezhimuqian，xiangguanxiangmushebeiyunxingwending，kehuweifankuirenheshouhouxuqiu。ermeiyoushouhouxuqiu，yeshiduiwomenchanpinzhiliangdegaodurenke。”談及雙方的合作過程，張琪感觸良多

，“weilewomendexiangmu，weisaladeduijietongshikefulehenduokunnan，geiyulezuidadezhichi。zhezengjinlewomenshuangfangdexinren
，rangwomenhengandong，yeweihouxudehezuodiandinglelianghaodejichu。”

　　每年
，像潔淨室建設之類的專業承包約占中電四公司總工程量的50%。特別是在超大麵積潔淨室、超淨潔淨室
、超高空間潔淨室、超精度潔淨室的建設方麵，中電四公司有著豐富的工程經驗和相關工程技術。

　　與此同時，維薩拉也憑借著穩定可靠的產品性能
、過(guo)硬(ying)的(de)產(chan)品(pin)和(he)快(kuai)速(su)響(xiang)應(ying)的(de)服(fu)務(wu)，贏(ying)得(de)了(le)中(zhong)電(dian)四(si)公(gong)司(si)的(de)青(qing)睞(lai)與(yu)信(xin)任(ren)。相(xiang)信(xin)在(zai)不(bu)遠(yuan)的(de)未(wei)來(lai)
，維(wei)薩(sa)拉(la)將(jiang)與(yu)中(zhong)電(dian)四(si)公(gong)司(si)開(kai)展(zhan)更(geng)為(wei)深(shen)入(ru)的(de)戰(zhan)略(lve)合(he)作(zuo)，助(zhu)力(li)雙(shuang)方(fang)的(de)品(pin)牌(pai)出(chu)現(xian)在(zai)更(geng)多(duo)高(gao)精(jing)尖(jian)產(chan)品(pin)的(de)打(da)造(zao)和(he)應(ying)用(yong)場(chang)景(jing)之(zhi)中(zhong)。

　　溫濕度變送器 HMT120