在電動汽車、人ren工gong智zhi能neng和he通tong信xin技ji術shu飛fei速su發fa展zhan的de今jin天tian
，半ban導dao體ti芯xin片pian已yi成cheng為wei高gao科ke技ji產chan業ye的de核he心xin驅qu動dong力li，而er半ban導dao體ti設she備bei作zuo為wei芯xin片pian製zhi造zao的de基ji石shi，正zheng成cheng為wei全quan球qiu科ke技ji競jing爭zheng的de戰zhan略lve製zhi高gao點dian。作zuo為wei信xin息xi技ji術shu產chan業ye的de基ji礎chu支zhi柱zhu，半導體設備不僅決定著芯片製造的工藝水平，更直接關係到國家科技競爭力與產業鏈安全。在這一背景下，倍福基於 PC 的(de)控(kong)製(zhi)技(ji)術(shu)為(wei)半(ban)導(dao)體(ti)設(she)備(bei)行(xing)業(ye)中(zhong)的(de)整(zheng)個(ge)產(chan)業(ye)鏈(lian)提(ti)供(gong)了(le)完(wan)整(zheng)的(de)控(kong)製(zhi)解(jie)決(jue)方(fang)案(an)，這(zhe)一(yi)方(fang)案(an)全(quan)麵(mian)涵(han)蓋(gai)了(le)從(cong)前(qian)端(duan)晶(jing)圓(yuan)加(jia)工(gong)到(dao)後(hou)道(dao)工(gong)藝(yi)芯(xin)片(pian)封(feng)裝(zhuang)的(de)各(ge)個(ge)環(huan)節(jie)，助(zhu)力(li)中(zhong)國(guo)半(ban)導(dao)體(ti)設(she)備(bei)行(xing)業(ye)實(shi)現(xian)新(xin)一(yi)輪(lun)的(de)產(chan)業(ye)變(bian)革(ge)。

半導體行業困局

•如何在摩爾定律持續演進的情況下，對設備精度和性能提出更高要求？

•如何滿足半導體設備技術突破路徑呈現出多元化和差異化特征？

•如何助力半導體設備企業從單機台突破創新到平台式創新的轉變？

倍福為您破局

01  EtherCAT

快速、開放
、享譽全球

EtherCAT 是倍福的超高速工業以太網技術。自 2003 年以來，它在速度和同步精度方麵樹立了新的標準，如今已被認為半導體行業的全球標準。

✓ 超高速、可靠的通信標準

✓ 保持技術的永久兼容性

✓ 專為極端嚴苛應用環境量身打造的創新解決方案

02  XPlanar 平麵磁懸浮輸送係統

高度靈活的晶圓輸送

有了 XPlanar

，您的生產部件可以在一個工具內以及在幾台設備間以自由懸浮的方式輸送：它具有高動態性
，且無抖動，同時提供最高精度和前所未有的移動靈活性。

✓ 自由懸浮的動子，能夠以最大 2 m/s 的速度無抖動地輸送零件

✓ 平麵模塊可以自由拚接成任意幾何形狀的傳輸平麵

✓ 實現靈活的零件輸送，擺脫固定工位序列的束縛

03  EtherCAT 插拔式模塊及測量模塊

降低成本

倍福產品係列全方位滿足半導體行業的所有型號采集需求：從每秒測量一次到每秒測量數千次
，從電壓和電流測量到溫度和壓力測量。而倍福的 I/O 專業技術可以更高效地幫助您打造出適用於批量生產的自動化係統。

✓  EJ 係列 EtherCAT 模塊 | 插拔式設計便捷高效，緊湊、取代了複雜、專用的 I/O 信號板，並且消除了錯誤接線的風險

✓  ELM 係列 | 高端測量模塊被集成到 EtherCAT I/O 係統中，在記錄過程關鍵測量通道數據時也表現出極高的可靠性。

✓  TwinCAT Scope | 能夠以圖形化方式精確顯示個位數微秒範圍內的測量信號

04  TwinSAFE 全集成安全解決方案

為 EtherCAT 係統量身定製的安全解決方案

倍福的 TwinSAFE 為半導體設備行業量身定製的安全解決方案
，打破了控製技術領域長期存在的“安全功能”和“非安全功能”分離局麵，在實施過程中表現出高度靈活性和可擴展性。有了 TwinSAFE，jiunenggougenjubutongdeyingyongxuqiuyushishifangshi，jianggezhongsuoxudeanquangongnenglinghuodijichengdaorenhekongzhijiagouzhizhong。zuihoukeyigenjunindejutixuqiuliangshendingzhiwanzhengdeanquanjiejuefangan。

✓ 為實施定製化安全應用提供全麵的軟件支持

✓ Safety over EtherCAT  助力實現開放性和靈活性

✓ 適用於所有應用領域的 TwinSAFE 邏輯的組件

05  針對半導體行業的中央控製解決方案

實現高度模塊化設計以及多功能性

基於 PC 的控製技術使用可滿足各種性能等級需求的工業 PC 完成所有控製任務。包括過程控製、HMI 集成
、運動控製以及機器人技術、安全和測量技術以及視覺和物聯網集成領域的所有控製任務。結合模塊化且具備實時能力的 TwinCAT 軟件平台以及 EtherCAT 超高通信係統，基於 PC 的控製技術可為您的晶圓廠打造出一種既強大又具備前瞻性的自動化解決方案。

✓  開放式架構可實現最大的設計自由度和定製化解決方案

✓  強大的實時環境，可自動執行所有控製任務

✓  通過自由選擇和集成高性能的工業 PC，可以根據具體的應用需求輕鬆進行擴展

總結

從打破半導體技術瓶頸到引領半導體設備技術突破路徑，從單點設備突破到全產鏈智能化重構
，倍福正以開放架構、精準控製與創新產品
，完成半導體設備企業實現高可靠性，高速度，高精度的設備需求
，共赴半導體智能製造新征程。

想了解更多如何通過倍福集成式自動化解決方案為半導體行業高效生產？歡迎訪問倍福官網一探究竟：半導體行業 | 倍福 中國

　　關於德國倍福

　　倍福（Beckhoff）是一家專注於自動化新技術的德資企業
，創立於1980年nian，總zong部bu位wei於yu德de國guo威wei爾er市shi。作zuo為wei全quan球qiu自zi動dong化hua技ji術shu的de驅qu動dong者zhe，倍bei福fu定ding義yi了le自zi動dong化hua領ling域yu的de許xu多duo標biao準zhun，是shi國guo際ji標biao準zhun的de製zhi定ding者zhe和he推tui動dong者zhe。公gong司si所suo生sheng產chan的de工gong業ye PC、I/O 和現場總線組件
、驅動技術、自動化軟件、wukongzhiguijiejuefanganyijigongyetuxiangjiejuefanganjikezuoweidulidezujianshiyong，yekejiangtamenjichengdaoyigewanzhengdekongzhixitongzhong
，shiyongyugegexingyelingyu。jingguo40多年的發展和努力，倍福已在世界各地設立40家分支機構，加上全球的合作夥伴
，業務遍及75個國家和地區。

　　倍福於1997年進入中國市場，中國區總部落戶於上海市北高新產業園區，現有員工350人
，辦事處遍及國內30座大中城市。創新產品和解決方案廣泛應用於半導體

、光伏太陽能、風力發電、鋰電池製造、電子製造、汽車製造、機器人、數控機床、包裝機械、煙草機械、塑料加工、物流輸送、流程工業以及智能建築等眾多領域。

　　公司傾力推廣的 EtherCAT 實時工業以太網於2014年成為中國國家推薦性標準
，並已入編工信部的《國家智能製造標準體係建設指南》。作為一家技術驅動型公司

，倍福一直注重在技術上尋求突破創新，在業內享有“創新引擎”的美譽。倍福基於PC的控製技術具有良好的開放性，它支持所有主流的工業通信協議，將IT技術、互聯網和自動化技術完美融合在一起，為實現工業 4.0 和智能製造奠定了堅實的技術基礎。

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