微機電係統
，Micro-Electro-Mechanical-SySTems
，簡稱MEMS
，基於MEMS技術的加速度傳感器已有30多年的發展曆史，但因為存在技術和成本等客觀發展因素的限製，未能像電子消費產品一樣進入市場。

目前，由於MEMS加速度傳感器技術的進步，如今低功耗

、高性能的MEMS加速度傳感器已經改變了市場新的傳感器市場發展趨勢。 mems加速度傳感器特點 由於傳統的基於機電工藝製成的傳感器和執行器在體型、價位和產能上不能融入工業
、消費電子等領域的需求
，MEMS逐漸快速發展起來。

與傳統的傳感器相比較，MEMS傳感器在規格

、性能、自動化等層麵都具有非常明顯的優勢。比如說
，在陀螺儀及麥克風層麵
，MEMS技術的應用領域為之技術升級帶來較大跨躍。

比較1：陀(tuo)螺(luo)儀(yi)。傳(chuan)統(tong)的(de)光(guang)纖(xian)陀(tuo)螺(luo)儀(yi)，體(ti)型(xing)雖(sui)然(ran)越(yue)來(lai)越(yue)小(xiao)

，但(dan)針(zhen)對(dui)放(fang)入(ru)一(yi)些(xie)電(dian)子(zi)產(chan)品(pin)而(er)言(yan)是(shi)不(bu)可(ke)能(neng)完(wan)成(cheng)的(de)。而(er)且(qie)為(wei)了(le)確(que)保(bao)性(xing)能(neng)
，這(zhe)樣(yang)一(yi)個(ge)陀(tuo)螺(luo)儀(yi)的(de)產(chan)量(liang)之(zhi)低(di)和(he)價(jia)位(wei)之(zhi)高(gao)也(ye)是(shi)顯(xian)而(er)易(yi)見(jian)。 而我們現在智能手機上選用的陀螺儀則是MEMS陀螺儀，其體積小
、功耗低、易於數字化和自動化，特別是成本低，易於批量生產，非常適合手機、汽車牽引控製係統
、醫療器械這些需要大規模生產的設備。