智能潔淨室技術為IC製造保駕護航

　　——訪中電四公司市場管理中心總經理張琪

　　隨著市場環境的優化升級和國家政策的有利驅動，新能源汽車
、智能駕駛、智能終端和5G等deng下xia遊you行xing業ye對dui集ji成cheng電dian路lu的de需xu求qiu激ji增zeng。而er作zuo為wei典dian型xing的de高gao精jing尖jian產chan業ye，集ji成cheng電dian路lu的de製zhi造zao對dui生sheng產chan環huan境jing和he工gong藝yi的de要yao求qiu極ji為wei苛ke刻ke。其qi中zhong，潔jie淨jing室shi的de建jian設she是shi集ji成cheng電dian路lu製zhi造zao中zhong的de關guan鍵jian環huan節jie，對dui最zui終zhong產chan品pin的de性xing能neng具ju有you至zhi關guan重zhong要yao的de影ying響xiang。

　　作為我國最早專業從事潔淨室機電設備安裝的工程公司之一，中國電子係統工程第四建設有限公司（以下簡稱“中電四公司”）可為集成電路製造企業提供設計、采購、項目管理、施工
、設施管理、潔淨室配套產品製造等一體化“交鑰匙”工程服務。

　　2021年，在為北京集電控股有限公司（以下簡稱“北京集電”）建(jian)設(she)集(ji)成(cheng)電(dian)路(lu)車(che)間(jian)潔(jie)淨(jing)室(shi)項(xiang)目(mu)中(zhong)
，中(zhong)電(dian)四(si)公(gong)司(si)為(wei)滿(man)足(zu)客(ke)戶(hu)對(dui)環(huan)境(jing)監(jian)測(ce)的(de)高(gao)精(jing)度(du)和(he)高(gao)穩(wen)定(ding)性(xing)要(yao)求(qiu)
，選(xuan)擇(ze)與(yu)維(wei)薩(sa)拉(la)合(he)作(zuo)

，將(jiang)工(gong)業(ye)用(yong)溫(wen)濕(shi)度(du)變(bian)送(song)器(qi)HMT330、本質安全型溫濕度變送器HMT370EX和溫濕度變送器HMT120等係列產品，成功應用於北京集電廠房潔淨室。自應用以來
，相關儀表和變送器運行穩定
，測量準確。

　　纖毫必顯 打造高標準的潔淨車間

　　穿(chuan)戴(dai)嚴(yan)密(mi)封(feng)閉(bi)的(de)特(te)製(zhi)防(fang)護(hu)服(fu)和(he)鞋(xie)套(tao)，經(jing)過(guo)嚴(yan)格(ge)的(de)車(che)間(jian)消(xiao)殺(sha)流(liu)程(cheng)，再(zai)通(tong)過(guo)數(shu)道(dao)相(xiang)互(hu)獨(du)立(li)隔(ge)離(li)的(de)車(che)間(jian)閘(zha)門(men)
，操(cao)作(zuo)員(yuan)方(fang)能(neng)進(jin)入(ru)標(biao)準(zhun)嚴(yan)苛(ke)的(de)集(ji)成(cheng)電(dian)路(lu)廠(chang)房(fang)潔(jie)淨(jing)室(shi)。不(bu)同(tong)於(yu)一(yi)般(ban)工(gong)業(ye)品(pin)，集(ji)成(cheng)電(dian)路(lu)從(cong)單(dan)晶(jing)矽(gui)片(pian)製(zhi)造(zao)到(dao)IC製造再到IC封裝的重要步驟，均需在潔淨室中完成。無論是微小的粉塵和碎屑，還是無形的環境溫度和濕度等，都將對製造過程產生重大影響。

　　“集成電路的製造對生產環境的要求非常高，需要對溫度
、濕度等參數進行極為精確、穩定的測量，從而確保生產環境的穩定可靠。”中電四公司市場管理中心總經理張琪表示，“2020年nian，早zao在zai北bei京jing集ji電dian潔jie淨jing室shi項xiang目mu的de投tou標biao階jie段duan
，我wo們men知zhi道dao維wei薩sa拉la的de相xiang關guan產chan品pin可ke完wan全quan滿man足zu客ke戶hu對dui溫wen濕shi度du測ce量liang的de苛ke刻ke需xu求qiu。於yu是shi
，我wo們men決jue定ding采cai用yong維wei薩sa拉la產chan品pin作zuo為wei測ce量liang儀yi表biao進jin行xing投tou標biao
，由you此ci也ye開kai啟qi了le與yu維wei薩sa拉la一yi係xi列lie的de深shen度du合he作zuo。”

　　隨sui著zhe我wo國guo集ji成cheng電dian路lu製zhi造zao工gong藝yi的de升sheng級ji，其qi製zhi造zao過guo程cheng需xu要yao的de潔jie淨jing程cheng度du也ye水shui漲zhang船chuan高gao

，這zhe對dui於yu潔jie淨jing室shi的de建jian設she提ti出chu了le越yue來lai越yue高gao的de要yao求qiu。據ju介jie紹shao，北bei京jing集ji電dian所suo製zhi造zao的de集ji成cheng電dian路lu工gong藝yi目mu前qian已yi突tu破po28納米，對應的潔淨室環境溫度誤差為±0.3°C，濕度誤差為±3%。一旦溫度和濕度突破限定誤差，將顯著影響產品的良品率、使用性能和可靠性。

　　針對上述應用環境，維薩拉的多款產品如HMT330、HMT120和HMT370EX在其中扮演重要角色。其中，HMT330可在惡劣環境中和苛刻需求下實現精準測量

，還可針對不同的應用環境實現定製，從而滿足多樣的客戶需求。HMT120則是一款專為潔淨室等環境打造的溫濕度變送器
，智能測量探頭可現場更換，輕鬆實現測量的可追溯性。

　　值得一提的是具有“本質安全”功能的溫濕度變送器HMT370EX。即(ji)使(shi)在(zai)誤(wu)操(cao)作(zuo)或(huo)發(fa)生(sheng)故(gu)障(zhang)的(de)情(qing)況(kuang)下(xia)，這(zhe)款(kuan)產(chan)品(pin)也(ye)不(bu)會(hui)造(zao)成(cheng)事(shi)故(gu)或(huo)設(she)備(bei)損(sun)壞(huai)。截(jie)至(zhi)目(mu)前(qian)，該(gai)產(chan)品(pin)已(yi)獲(huo)得(de)多(duo)項(xiang)本(ben)質(zhi)安(an)全(quan)認(ren)證(zheng)。除(chu)測(ce)量(liang)相(xiang)對(dui)濕(shi)度(du)和(he)溫(wen)度(du)外(wai)，HMT370EX還支持輸出其他濕度參數，如露點溫度、濕球溫度、絕對濕度、混合比、水濃度、水質量分數、水汽壓和焓值。

　　“維薩拉產品的測量精度不僅完全滿足了潔淨室的設計標準，更大幅壓縮了標準誤差的範圍：將其降低至標杆誤差的三分之一，達到了濕度±1%
、溫度±0.1°C，充分保障了潔淨室的可靠運行。”張琪補充道，“出於項目整體精度和穩定性的考慮，維薩拉的測量儀表成為我們這個項目的理想選擇。”

　　MAU係統中的 HMT330

　　擊破阻隔 跨越重洋的迅疾響應

　　對dui於yu高gao精jing尖jian的de工gong程cheng建jian設she而er言yan
，時shi效xiao的de重zhong要yao性xing不bu言yan而er喻yu。項xiang目mu所suo需xu的de各ge項xiang產chan品pin和he材cai料liao往wang往wang有you著zhe嚴yan格ge的de供gong貨huo周zhou期qi，某mou項xiang關guan鍵jian材cai料liao的de缺que失shi，將jiang直zhi接jie影ying響xiang項xiang目mu的de進jin度du。而er全quan球qiu疫yi情qing的de起qi伏fu不bu定ding，給gei產chan品pin的de供gong貨huo時shi效xiao增zeng添tian了le一yi抹mo不bu確que定ding性xing。

　　“國際物流需提前預定
，疊加疫情影響
，一些稀缺的材料和產品需要提前半年甚至更久預定。”張琪表示，“然而北京集電的項目周期非常緊張，高質量的測量產品對項目的完成意義重大，我們一度非常擔心維薩拉的產品能否及時到貨。”

　　事急從權。在產品供貨緊張的背景下，維薩拉及其代理商積極配合
，在與中電四公司達成初步購買意向


、尚未簽署正式購買合同時
，提前鎖定了項目所需的產品，並充分協調內外部資源，將產品如期送抵客戶手中。

　　具有“本質安全”功能的溫濕度變送器HMT370EX

　　“北(bei)京(jing)集(ji)電(dian)的(de)項(xiang)目(mu)如(ru)期(qi)竣(jun)工(gong)，各(ge)項(xiang)指(zhi)標(biao)均(jun)達(da)到(dao)了(le)預(yu)期(qi)水(shui)平(ping)。截(jie)至(zhi)目(mu)前(qian)，相(xiang)關(guan)項(xiang)目(mu)設(she)備(bei)運(yun)行(xing)穩(wen)定(ding)，客(ke)戶(hu)未(wei)反(fan)饋(kui)任(ren)何(he)售(shou)後(hou)需(xu)求(qiu)。而(er)沒(mei)有(you)售(shou)後(hou)需(xu)求(qiu)
，也(ye)是(shi)對(dui)我(wo)們(men)產(chan)品(pin)質(zhi)量(liang)的(de)高(gao)度(du)認(ren)可(ke)。”談及雙方的合作過程，張琪感觸良多，“為wei了le我wo們men的de項xiang目mu
，維wei薩sa拉la的de對dui接jie同tong事shi克ke服fu了le很hen多duo困kun難nan，給gei予yu了le最zui大da的de支zhi持chi。這zhe增zeng進jin了le我wo們men雙shuang方fang的de信xin任ren

，讓rang我wo們men很hen感gan動dong，也ye為wei後hou續xu的de合he作zuo奠dian定ding了le良liang好hao的de基ji礎chu。”

　　每年，像潔淨室建設之類的專業承包約占中電四公司總工程量的50%。特別是在超大麵積潔淨室、超淨潔淨室、超高空間潔淨室、超精度潔淨室的建設方麵
，中電四公司有著豐富的工程經驗和相關工程技術。

　　與此同時，維薩拉也憑借著穩定可靠的產品性能、過(guo)硬(ying)的(de)產(chan)品(pin)和(he)快(kuai)速(su)響(xiang)應(ying)的(de)服(fu)務(wu)，贏(ying)得(de)了(le)中(zhong)電(dian)四(si)公(gong)司(si)的(de)青(qing)睞(lai)與(yu)信(xin)任(ren)。相(xiang)信(xin)在(zai)不(bu)遠(yuan)的(de)未(wei)來(lai)，維(wei)薩(sa)拉(la)將(jiang)與(yu)中(zhong)電(dian)四(si)公(gong)司(si)開(kai)展(zhan)更(geng)為(wei)深(shen)入(ru)的(de)戰(zhan)略(lve)合(he)作(zuo)，助(zhu)力(li)雙(shuang)方(fang)的(de)品(pin)牌(pai)出(chu)現(xian)在(zai)更(geng)多(duo)高(gao)精(jing)尖(jian)產(chan)品(pin)的(de)打(da)造(zao)和(he)應(ying)用(yong)場(chang)景(jing)之(zhi)中(zhong)。

　　溫濕度變送器 HMT120