近日從吉林省科技廳了解到，由長春光機所承擔的應用基礎研究項目——“高精度納米分辨率線位移測量技術研究”
，日ri前qian在zai長chang春chun通tong過guo專zhuan家jia鑒jian定ding。鑒jian定ding委wei員yuan會hui專zhuan家jia一yi致zhi認ren為wei，該gai項xiang研yan究jiu所suo製zhi成cheng的de高gao精jing度du納na米mi測ce量liang傳chuan感gan器qi樣yang機ji達da到dao四si倍bei光guang學xue倍bei頻pin
，技ji術shu指zhi標biao達da到dao國guo際ji先xian進jin水shui平ping。 

   據介紹，線位移尺寸測量是精密加工製造業的基礎之一。隨著被加工對象加工精度的提高，位移測量儀器必須具有高精度、高分辨率、大量程、體積小
、重量輕等特點。市場上的光柵尺、感應同步器、磁柵等傳感器生產廠家眾多，這些廠家生產的傳感器結構簡單、價格低，但分辨率僅在1mm~0.5mm，yuanbunengmanzuyaoqiu。ciwai
，shaoshujiagongzhongxinshiyongdeshuangpinjiguanggansheyiduoshijinkouhuojinyoushaoshuguoneikeyandanweidanjianyanzhi，suiranqijingdugao
，fenbianlvkeda0.01mm，但也有結構複雜、體積龐大
、價格高、對環境要求苛刻、穩定性較差等缺點。 

   據ju悉xi
，本ben項xiang目mu研yan究jiu了le應ying用yong衍yan射she光guang幹gan涉she原yuan理li進jin行xing線xian位wei移yi測ce量liang的de理li論lun計ji算suan及ji光guang路lu設she計ji等deng各ge種zhong技ji術shu問wen題ti，采cai用yong衍yan射she光guang幹gan涉she原yuan理li實shi現xian了le高gao密mi度du光guang柵zha的de位wei移yi信xin號hao提ti取qu；實現了光學四細分，使光柵原始信號分辨率達到0.6μm
；采(cai)用(yong)光(guang)學(xue)偏(pian)振(zhen)器(qi)件(jian)對(dui)光(guang)幹(gan)涉(she)條(tiao)紋(wen)進(jin)行(xing)空(kong)間(jian)移(yi)相(xiang)，得(de)到(dao)具(ju)有(you)穩(wen)定(ding)位(wei)相(xiang)差(cha)的(de)四(si)路(lu)光(guang)電(dian)信(xin)號(hao)，差(cha)分(fen)處(chu)理(li)抑(yi)製(zhi)光(guang)電(dian)信(xin)號(hao)的(de)直(zhi)流(liu)電(dian)平(ping)漂(piao)移(yi)，增(zeng)大(da)了(le)信(xin)號(hao)幅(fu)值(zhi)，提(ti)高(gao)了(le)測(ce)量(liang)穩(wen)定(ding)性(xing)。