日本精工針對從事FPD等麵板搬運的真空機器人用途，開發出了在超高真空環境下耐久性更高的角接觸球軸承“真空機器人用固體潤滑角接觸球軸承”。此(ci)次(ci)通(tong)過(guo)重(zhong)新(xin)開(kai)發(fa)保(bao)持(chi)架(jia)的(de)機(ji)械(xie)裝(zhuang)置(zhi)，成(cheng)功(gong)實(shi)現(xian)了(le)角(jiao)接(jie)觸(chu)球(qiu)軸(zhou)承(cheng)的(de)固(gu)體(ti)潤(run)滑(hua)。由(you)此(ci)
，不(bu)僅(jin)提(ti)高(gao)了(le)耐(nai)久(jiu)性(xing)，還(hai)可(ke)滿(man)足(zu)日(ri)益(yi)大(da)型(xing)化(hua)的(de)真(zhen)空(kong)機(ji)器(qi)人(ren)負(fu)荷(he)容(rong)量(liang)增(zeng)加(jia)的(de)要(yao)求(qiu)。耐(nai)久(jiu)性(xing)達(da)到(dao)以(yi)往(wang)固(gu)體(ti)潤(run)滑(hua)軸(zhou)承(cheng)的(de)5倍。 
　　在新的機械裝置中，襯套可相對於滾珠及滾動麵進行滑動。另外，通過將油兜配置在接觸角(滾珠受力的作用線方向)位置

，提高了軸承潤滑的效率。 
　　作為固體潤滑劑

，采用了二硫化鎢類燒結合金，其脫氣量(從材料釋放出的分子的量
，Outgas)僅為以往真空用潤滑脂的1/5～1/10以下。可在溫度為100℃(固體潤滑劑為350℃)、壓力最大為10-6Pa的超高真空環境下使用。