|
項目簡介 ----某集成電路製造(上海)有限公司是中國最大的半導體生產廠家之一。生產200mm (8 inch)的芯片,可達到密集程度0.25 μm 以下的工藝技能以滿足中國市場的巨大需求。 ----zuoweizhuanyedequanjichengzidonghuajiejuefangandetigongzhe,womenpingzheqiangdadejishushiliyufengfudegongchengjingyanzaijiliedejingzhengzhongyingdelecigongsijiejingshizikongxitonggongchengdeheyue,tigonglecongshebeidaogongchengdeyixiliefuwu,baokuotigongjiyufensanguochengkongzhixitongdePCS7xitong,kongzhifangandexuanzehekongzhigongnengdesheji,xitongbiancheng,zutai,anzhuang,kaichetiaoshi,gongyicanshuyouhua,yijixiangguancaozuoweihushoucebianxie,peixun。xitongzongI/O點數超過2000點。項目於2001.3啟動,2001.12竣工。
係統結構 ----PCS7作為一個富有競爭力的過程控製係統,被用於此公司的淨化室項目中,兩個獨立的加工廠 (FAB1和FAB3B) 分別配備了一套PCS7係統。考慮到芯片加工廠連續生產的特性,我們采用了AS控製器冗餘技術。分布式I/O模塊的應用,滿足了安裝及接線靈活性的需要。分布式I/O模塊由靈活的底板總線驅動,可帶電插拔。為了確保其的可靠性,同時也配備了Profibus的冗餘通訊。UPS的應用解決了斷電問題。
控製策略 ----芯xin片pian與yu生sheng產chan設she備bei本ben身shen對dui空kong氣qi的de溫wen濕shi度du非fei常chang敏min感gan。為wei了le維wei持chi潔jie淨jing室shi穩wen定ding的de環huan境jing,控kong製zhi係xi統tong必bi須xu能neng自zi動dong識shi別bie變bian化hua。通tong過guo新xin風feng機ji低di中zhong效xiao的de過guo濾lv以yi及ji風feng扇shan過guo濾lv單dan元yuan高gao效xiao過guo濾lv,可ke以yi實shi現xian對dui淨jing室shi潔jie淨jing度du的de控kong製zhi。利li用yong變bian速su風feng機ji可ke以yi進jin行xing壓ya力li控kong製zhi,潔jie淨jing室shi中zhong穩wen定ding的de正zheng壓ya是shi新xin風feng機ji和he排pai氣qi係xi統tong共gong同tong作zuo用yong的de結jie果guo。 ----weilegengjingquedikongzhishidu,womencaiyonglechuanjikongzhi,congerkefulezhihouxianxiang。zhuhuankongzhijingshidexiangduishidu,erfuhuanzhuyaokongzhisongfengxitongdeyixieraodong,baokuogongyongbufendeyixiebuwendingyinsu。zaimouyiwenduxia,weilebaochikongqizhongyidingdeshidu,bixuzhuyibugeiyibaochikongqidejueduishidu。
項目突出點 ----為wei盡jin快kuai建jian立li芯xin片pian生sheng產chan線xian,所suo有you的de工gong作zuo都dou幾ji乎hu在zai同tong時shi進jin行xing,那na就jiu意yi味wei著zhe需xu要yao一yi支zhi有you經jing驗yan的de專zhuan業ye化hua工gong程cheng隊dui伍wu。同tong時shi,由you於yu半ban導dao體ti製zhi造zao設she備bei的de巨ju大da投tou資zi,以yi及ji生sheng產chan線xian工gong人ren24小時不間斷的生產作業,這些都要求控製係統必須有高度的可靠性。
係統優勢 ----考慮到半導體工業的特性與產品周期,西門子工業自動化有限公司為其配置了西門子具有高度靈活性,可靠性與一體化的PCS7過程控製係統,實現集成數據管理,集成編程,組態,集成通訊。 ----采用的AS 414H/417H 是冗餘的自動化係統,由兩個獨立的中央處理單元組成,同步跟蹤被控對象,並通過CPU之間的數據線進行快速,直接的內部數據交換。這兩個獨立的中央處理單元可以以冗餘的方式接入工業以太網,並有冗餘的PROFIBUS-DP 接口連接I/O。一旦異常情況發生,故障搜索裝置啟動,受影響的單元停止,自動切入後備單元。
|